كرېمنىي كاربون ۋافېر ئىشلەپچىقىرىش جەريانى

كرېمنىي كاربون ۋافېرخام ئەشيا سۈپىتىدە يۇقىرى ساپلىق كرېمنىي پاراشوكى ۋە ساپلىقى يۇقىرى كاربون پاراشوكىدىن ياسالغان ، كرېمنىي كاربون كىرىستال فىزىكىلىق ھور يۆتكەش ئۇسۇلى (PVT) ئارقىلىق ئۆستۈرۈلۈپ ، پىششىقلاپ ئىشلەنگەنكرېمنىي كاربون ۋافېر.

خام ماتېرىيال بىرىكمىسى. يۇقىرى ساپلىق كرېمنىي پاراشوكى ۋە يۇقىرى ساپلىقتىكى كاربون پاراشوكى مەلۇم نىسبەت بويىچە ئارىلاشتۇرۇلدى ، كرېمنىي كاربون زەررىچىلىرى 2000 above تىن يۇقىرى يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا بىرىكتۈرۈلدى. ئېزىش ، تازىلاش ۋە باشقا جەريانلاردىن كېيىن ، خرۇستال ئۆسۈش تەلىپىگە ماس كېلىدىغان يۇقىرى ساپلىقتىكى كرېمنىي كاربون تالقىنى خام ئەشياسى تەييارلىنىدۇ.

② خرۇستال ئۆسۈش. يۇقىرى ساپلىقتىكى SIC پاراشوكىنى خام ئەشيا قىلىپ ئىشلىتىپ ، خرۇستال ئۆزلۈكىدىن تەرەققىي قىلغان خرۇستال ئۆسۈش ئوچىقى ئارقىلىق فىزىكىلىق ھور يۆتكەش (PVT) ئۇسۇلى ئارقىلىق ئۆستۈرۈلگەن.

③ ingot processing. ئېرىشىلگەن كرېمنىي كاربون كىرىستال كىرىستال رېنتىگېن نۇرى يەككە خرۇستال يۆنىلىشلىك يۆنىلىشكە توغرىلانغان ، ئاندىن يەر بىلەن دومىلاپ ، ئۆلچەملىك دىئامېتىرى كرېمنىي كاربون كىرىستالغا پىششىقلانغان.

④ خرۇستال كېسىش. كۆپ لىنىيىلىك كېسىش ئۈسكۈنىلىرىنى ئىشلىتىپ ، كرېمنىي كاربون كرىستال قېلىنلىقى 1 مىللىمېتىردىن ئېشىپ كەتمەيدىغان نېپىز ۋاراقلارغا كېسىلىدۇ.

⑤ Chip grinding. ۋافېر ئوخشىمىغان زەررىچە چوڭلۇقتىكى ئالماس ئۇۋىلاش سۇيۇقلۇقى ئارقىلىق كۆزلىگەن تەكشىلىك ۋە يىرىكلىككە تۇتىشىدۇ.

Ip Chip polishing. سىلىقلانغان كرېمنىي كاربون يەر يۈزىگە زىيان يەتكۈزمەي مېخانىكىلىق سىلىقلاش ۋە خىمىيىلىك مېخانىك سىلىقلاش ئارقىلىق قولغا كەلگەن.

Ip Chip detection. ئوپتىكىلىق مىكروسكوپ ، رېنتىگېن نۇرى دىففراكومېتىر ، ئاتوم كۈچى مىكروسكوپ ، ئالاقىسىز قارشىلىق سىنىغۇچى ، يەر يۈزى تەكشىلىكىنى تەكشۈرگۈچى ، يەر يۈزىدىكى كەمتۈكلۈكنى ئومۇميۈزلۈك تەكشۈرگۈچى ۋە باشقا ئەسۋابلار ۋە ئۈسكۈنىلەرنى ئىشلىتىپ ، مىكرو قۇتۇبنىڭ زىچلىقى ، خرۇستال سۈپىتى ، يەر يۈزى يىرىكلىكى ، قارشىلىق كۈچى ، ئۇرۇش ، ئەگرى سىزىق ، قېلىنلىق ئۆزگىرىشى ، يەر يۈزى سىزىش ۋە كرېمنىي كاربون ۋافېرنىڭ باشقا پارامېتىرلىرى. بۇنىڭغا ئاساسەن ئۆزەكنىڭ سۈپەت دەرىجىسى بېكىتىلىدۇ.

⑧ ئۆزەك تازىلاش. كرېمنىيلىق كاربون سىلىقلاش قەغىزى تازىلاش دورىسى ۋە ساپ سۇ بىلەن پاكىزلىنىپ ، سىلىقلاش قەغىزىدىكى قالدۇق سىلىقلاش سۇيۇقلۇقى ۋە باشقا يەر يۈزىدىكى توپا-چاڭلارنى چىقىرىپ تاشلايدۇ ، ئاندىن دەرىجىدىن تاشقىرى يۇقىرى ساپلىقتىكى ئازوت ۋە قۇرۇتۇش ماشىنىسى ئارقىلىق ۋافېرنى ئۇرۇپ قۇرۇتىدۇ. ۋافېر دەرىجىدىن تاشقىرى پاكىز كامېردىكى پاكىز ۋاراق ساندۇقىغا ئورالغان بولۇپ ، تۆۋەن ئېقىندا ئىشلىتىشكە بولىدىغان كرېمنىي كاربون ۋافېر ھاسىل قىلىدۇ.

ئۆزەكنىڭ ھەجىمى قانچە چوڭ بولسا ، ماس كېلىدىغان خرۇستال ئۆسۈش ۋە پىششىقلاپ ئىشلەش تېخنىكىسى شۇنچە قىيىن ، تۆۋەن ئېقىندىكى ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئىشلەپچىقىرىش ئۈنۈمى قانچە يۇقىرى بولسا ، بىرلىك تەننەرخى شۇنچە تۆۋەن بولىدۇ.