Semicera'sWafer Cassetteيېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدىكى ھالقىلىق تەركىب ، نازۇك يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋافېرنى بىخەتەر ساقلاش ۋە توشۇش ئۈچۈن لايىھەلەنگەن. TheWafer Cassetteئالاھىدە قوغداش بىلەن تەمىنلەيدۇ ، بىر تەرەپ قىلىش ، ساقلاش ۋە توشۇش جەريانىدا ھەر بىر ۋافېرنىڭ بۇلغىنىش ۋە جىسمانىي زىياندىن ساقلىنىشىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ.
يېرىم ساپلىق ، خىمىيىلىك چىداملىق ماتېرىياللار بىلەن ياسالغانWafer Cassetteئەڭ يۇقىرى دەرىجىدىكى پاكىزلىق ۋە چىدامچانلىققا كاپالەتلىك قىلىدۇ ، ئىشلەپچىقىرىشنىڭ ھەر بىر باسقۇچىدا ۋافېرلارنىڭ مۇكەممەللىكىنى ساقلاشتا كەم بولسا بولمايدۇ. بۇ كاسساتلارنىڭ ئىنچىكە قۇرۇلۇشى ئاپتوماتىك بىر تەرەپ قىلىش سىستېمىسى بىلەن يوچۇقسىز بىرلەشتۈرۈلۈپ ، بۇلغىنىش ۋە مېخانىكىلىق بۇزۇلۇش خەۋىپىنى ئەڭ تۆۋەن چەككە چۈشۈرەلەيدۇ.
The design of theWafer Cassetteئەڭ ياخشى ھاۋا ئېقىمى ۋە تېمپېراتۇرىنى كونترول قىلىشنى قوللايدۇ ، بۇ ئالاھىدە مۇھىت شارائىتىنى تەلەپ قىلىدىغان جەريانلار ئۈچۈن ئىنتايىن مۇھىم. مەيلى تازىلىق ئۆيىدە ياكى ئىسسىقلىق بىر تەرەپ قىلىش جەريانىدا بولسۇن ، SemiceraWafer Cassetteيېرىم ئۆتكۈزگۈچ كەسپىنىڭ قاتتىق تەلىپىنى قاندۇرۇش ئۈچۈن لايىھەلەنگەن بولۇپ ، ئىشلەپچىقىرىش ئۈنۈمى ۋە مەھسۇلات سۈپىتىنى يۇقىرى كۆتۈرۈش ئۈچۈن ئىشەنچلىك ۋە ئىزچىل ئىقتىدار بىلەن تەمىنلەيدۇ.
| تۈرلەر | ئىشلەپچىقىرىش | تەتقىقات | Dummy |
| خىرۇستال پارامېتىرلار | |||
| Polytype | 4H | ||
| Surface يۆنىلىش خاتالىقى | <11-20> 4 ± 0.15 ° | ||
| ئېلېكتر پارامېتىرلىرى | |||
| Dopant | n تىپلىق ئازوت | ||
| قارشىلىق | 0.015-0.025ohm · cm | ||
| مېخانىكىلىق پارامېتىرلار | |||
| دىئامېتىرى | 150.0 ± 0.2mm | ||
| قېلىنلىق | 350 ± 25 mm | ||
| دەسلەپكى تەكشى يۆنىلىش | [1-100] ± 5 ° | ||
| دەسلەپكى تەكشى ئۇزۇنلۇق | 47.5 ± 1.5mm | ||
| ئىككىلەمچى تەكشى | ياق | ||
| TTV | ≤5 mm | ≤10 mm | ≤15 mm |
| LTV | ≤3 μm (5mm * 5mm) | ≤5 mm (5mm * 5mm) | ≤10 mm (5mm * 5mm) |
| Bow | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 mm | ≤55 mm |
| ئالدى (Si-face) يىرىكلىكى (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm * 5μm) | ||
| قۇرۇلمىسى | |||
| مىكروپنىڭ زىچلىقى | <1 ea / cm2 | <10 ea / cm2 | <15 ea / cm2 |
| مېتال بۇلغانمىلار | ≤5E10atoms / cm2 | NA | |
| BPD | 001500 ea / cm2 | 0003000 ea / cm2 | NA |
| TSD | 00500 ea / cm2 | 0001000 ea / cm2 | NA |
| ئالدى سۈپەت | |||
| ئالدى | Si | ||
| Surface تامام | Si-face CMP | ||
| Particles | ≤60ea / wafer (size≥0.3μm) | NA | |
| سىزىلغان | ≤5ea / mm. جۇغلانما ئۇزۇنلۇقى ≤ دىئامېتىرى | جۇغلانما ئۇزۇنلۇقى≤2 * دىئامېتىرى | NA |
| ئاپېلسىن پوستى / ئورەك / داغ / داغ / يېرىق / بۇلغىنىش | ياق | NA | |
| قىرلىق ئۆزەك / كۆرسەتكۈچ / سۇنۇق / ئالتە تەرەپلىك تەخسە | ياق | ||
| كۆپ قۇتۇپلۇق رايونلار | ياق | جۇغلانما رايونى% 20 | جۇغلانما رايونى% 30 |
| ئالدى لازېر بەلگىسى | ياق | ||
| ئارقا سۈپەت | |||
| قايتىش | C-face CMP | ||
| سىزىلغان | ≤5ea / mm ، جۇغلانما ئۇزۇنلۇقى ≤2 * دىئامېتىرى | NA | |
| ئارقا كەمتۈكلۈك (قىرلىق ئۆزەك / كۆرسەتكۈچ) | ياق | ||
| ئارقا قوپاللىق | Ra≤0.2nm (5μm * 5μm) | ||
| ئارقا لازېر بەلگىسى | 1 مىللىمېتىر (ئۈستى قىردىن) | ||
| Edge | |||
| Edge | Chamfer | ||
| ئورالما | |||
| ئورالما | ۋاكۇئۇم ئورالمىسى بىلەن Epi تەييار كۆپ ۋافېرلىق قەغەز ئورالمىسى | ||
| * ئىزاھات NA «NA» تەلەپ قىلىنمىغان تۈرلەرنىڭ SEMI-STD نى كۆرسىتىدۇ. | |||
