Semicera بۇ ساھەدە ئالدىنقى قاتاردا تۇرىدۇWafer Carriers، ئىنژېنېرلىق قىلىپ ئىشلەپچىقىرىشنىڭ ھەر قايسى باسقۇچلىرىدىكى نازۇك يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋافېرلارنى تېخىمۇ يۇقىرى قوغداش ۋە يوچۇقسىز توشۇش بىلەن تەمىنلەيدۇ. بىزنىڭWafer Carriersزامانىۋى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساشنىڭ قاتتىق تەلىپىنى قاندۇرۇش ئۈچۈن ئىنچىكە لايىھەلەنگەن بولۇپ ، ۋافېرلىرىڭىزنىڭ مۇكەممەللىكى ۋە سۈپىتىنىڭ ھەر ۋاقىت ساقلىنىشىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ.
ئاساسلىق ئالاھىدىلىكى:
• ئەلا سۈپەتلىك قۇرۇلۇش:چىدامچانلىقى ۋە ئۇزۇن ئۆمۈر كۆرۈشىگە كاپالەتلىك قىلىدىغان ئەلا سۈپەتلىك ، بۇلغىنىشقا چىداملىق ماتېرىياللاردىن ياسالغان بولۇپ ، تازىلىق ئۆيى مۇھىتىغا ماس كېلىدۇ.
•ئېنىق لايىھىلەش:ئورۇننى توغرىلاش ۋە بىخەتەر تۇتۇش مېخانىزمى ئالاھىدىلىكى بىر تەرەپ قىلىش ۋە توشۇش جەريانىدا ۋافېرنىڭ تېيىلىپ كېتىشى ۋە بۇزۇلۇشىنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ.
•كۆپ خىل ماسلىشىشچانلىقى:كەڭ دائىرىلىك كەڭلىك ۋە قېلىنلىقنى ماسلاشتۇرىدۇ ، ھەر خىل يېرىم ئۆتكۈزگۈچ قوللىنىشچان پروگراممىلارنى جانلىقلىق بىلەن تەمىنلەيدۇ.
•Ergonomic Handling:يېنىك ۋە ئىشلەتكۈچىلەرگە قۇلايلىق لايىھىلەش ئاسان قاچىلاش ۋە چۈشۈرۈشكە قولايلىق يارىتىپ ، مەشغۇلات ئۈنۈمىنى ئۆستۈرۈپ ، بىر تەرەپ قىلىش ۋاقتىنى قىسقارتىدۇ.
•خاسلاشتۇرغىلى بولىدىغان تاللاشلار:ئەلالاشتۇرۇلغان خىزمەت ئېقىمىنى بىرلەشتۈرۈش ئۈچۈن ماتېرىيال تاللاش ، چوڭ-كىچىكلىك تەڭشەش ۋە بەلگە قاتارلىق كونكرېت تەلەپلەرنى قاندۇرۇش ئۈچۈن خاسلاشتۇرۇش بىلەن تەمىنلەيدۇ.
Semicera نىڭ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش جەريانىنى كۈچەيتىڭWafer Carriers، ۋافېرلىرىڭىزنى بۇلغىنىش ۋە مېخانىكىلىق بۇزۇلۇشتىن ساقلاشنىڭ ئەڭ ياخشى چارىسى. سۈپەت ۋە يېڭىلىق يارىتىشتىكى ۋەدىمىزگە ئىشىنىپ ، مەھسۇلات ئۆلچىمىگە توشۇپلا قالماي ، كەسىپ ئۆلچىمىدىن ئېشىپ كېتىپ ، مەشغۇلاتىڭىزنىڭ ئوڭۇشلۇق ۋە ئۈنۈملۈك ئېلىپ بېرىلىشىغا كاپالەتلىك قىلىڭ.
| تۈرلەر | ئىشلەپچىقىرىش | تەتقىقات | Dummy |
| خىرۇستال پارامېتىرلار | |||
| Polytype | 4H | ||
| Surface يۆنىلىش خاتالىقى | <11-20> 4 ± 0.15 ° | ||
| ئېلېكتر پارامېتىرلىرى | |||
| Dopant | n تىپلىق ئازوت | ||
| قارشىلىق | 0.015-0.025ohm · cm | ||
| مېخانىكىلىق پارامېتىرلار | |||
| دىئامېتىرى | 150.0 ± 0.2mm | ||
| قېلىنلىق | 350 ± 25 mm | ||
| دەسلەپكى تەكشى يۆنىلىش | [1-100] ± 5 ° | ||
| دەسلەپكى تەكشى ئۇزۇنلۇق | 47.5 ± 1.5mm | ||
| ئىككىلەمچى تەكشى | ياق | ||
| TTV | ≤5 mm | ≤10 mm | ≤15 mm |
| LTV | ≤3 μm (5mm * 5mm) | ≤5 mm (5mm * 5mm) | ≤10 mm (5mm * 5mm) |
| Bow | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 mm | ≤55 mm |
| ئالدى (Si-face) يىرىكلىكى (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm * 5μm) | ||
| قۇرۇلمىسى | |||
| مىكروپنىڭ زىچلىقى | <1 ea / cm2 | <10 ea / cm2 | <15 ea / cm2 |
| مېتال بۇلغانمىلار | ≤5E10atoms / cm2 | NA | |
| BPD | 001500 ea / cm2 | 0003000 ea / cm2 | NA |
| TSD | 00500 ea / cm2 | 0001000 ea / cm2 | NA |
| ئالدى سۈپەت | |||
| ئالدى | Si | ||
| Surface تامام | Si-face CMP | ||
| Particles | ≤60ea / wafer (size≥0.3μm) | NA | |
| سىزىلغان | ≤5ea / mm. جۇغلانما ئۇزۇنلۇقى ≤ دىئامېتىرى | جۇغلانما ئۇزۇنلۇقى≤2 * دىئامېتىرى | NA |
| ئاپېلسىن پوستى / ئورەك / داغ / داغ / يېرىق / بۇلغىنىش | ياق | NA | |
| قىرلىق ئۆزەك / كۆرسەتكۈچ / سۇنۇق / ئالتە تەرەپلىك تەخسە | ياق | ||
| كۆپ قۇتۇپلۇق رايونلار | ياق | جۇغلانما رايونى% 20 | جۇغلانما رايونى% 30 |
| ئالدى لازېر بەلگىسى | ياق | ||
| ئارقا سۈپەت | |||
| قايتىش | C-face CMP | ||
| سىزىلغان | ≤5ea / mm ، جۇغلانما ئۇزۇنلۇقى ≤2 * دىئامېتىرى | NA | |
| ئارقا كەمتۈكلۈك (قىرلىق ئۆزەك / كۆرسەتكۈچ) | ياق | ||
| ئارقا قوپاللىق | Ra≤0.2nm (5μm * 5μm) | ||
| ئارقا لازېر بەلگىسى | 1 مىللىمېتىر (ئۈستى قىردىن) | ||
| Edge | |||
| Edge | Chamfer | ||
| ئورالما | |||
| ئورالما | ۋاكۇئۇم ئورالمىسى بىلەن Epi تەييار كۆپ ۋافېرلىق قەغەز ئورالمىسى | ||
| * ئىزاھات NA «NA» تەلەپ قىلىنمىغان تۈرلەرنىڭ SEMI-STD نى كۆرسىتىدۇ. | |||
