Wafer باغلاش تېخنىكىسى

MEMS بىر تەرەپ قىلىش - باغلىنىش: يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتى ، Semicera خاسلاشتۇرۇلغان مۇلازىمەتتىكى قوللىنىش ۋە ئىقتىدار

 

مىكرو ئېلېكترون ۋە يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتىدە ، MEMS (مىكرو ئېلېكتىرو مېخانىكا سىستېمىسى) تېخنىكىسى يېڭىلىق يارىتىش ۋە يۇقىرى ئىقتىدارلىق ئۈسكۈنىلەرنى ئىلگىرى سۈرىدىغان يادرولۇق تېخنىكىنىڭ بىرىگە ئايلاندى. پەن-تېخنىكىنىڭ تەرەققىي قىلىشىغا ئەگىشىپ ، MEMS تېخنىكىسى سېنزور ، ھەرىكەتلەندۈرگۈچ كۈچ ، ئوپتىكىلىق ئۈسكۈنىلەر ، داۋالاش ئۈسكۈنىلىرى ، ماشىنا ئېلېكترون مەھسۇلاتلىرى ۋە باشقا ساھەلەردە كەڭ قوللىنىلىپ ، بارا-بارا زامانىۋى تېخنىكىنىڭ كەم بولسا بولمايدىغان بىر قىسمىغا ئايلاندى. بۇ ساھەلەردە ، باغلىنىش جەريانى (Bonding) MEMS بىر تەرەپ قىلىشتىكى ئاچقۇچلۇق قەدەم سۈپىتىدە ، ئۈسكۈنىنىڭ ئىقتىدارى ۋە ئىشەنچلىكلىكىدە ئىنتايىن مۇھىم رول ئوينايدۇ.

 

باغلاش تېخنىكىسى ئىككى ياكى ئۇنىڭدىن ئارتۇق ماتېرىيالنى فىزىكىلىق ياكى خىمىيىلىك ۋاسىتىلەر بىلەن مۇستەھكەم بىرلەشتۈرگەن تېخنىكا. ئادەتتە ، قۇرۇلما مۇكەممەللىكى ۋە ئىقتىدارنىڭ ئەمەلگە ئېشىشىنى قولغا كەلتۈرۈش ئۈچۈن ، ئوخشىمىغان ماتېرىيال قەۋىتىنى MEMS ئۈسكۈنىلىرىگە باغلاش ئارقىلىق ئۇلاش كېرەك. MEMS ئۈسكۈنىلىرىنىڭ ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدا ، باغلىنىش ئۇلىنىش جەريانى بولۇپلا قالماستىن ، يەنە ئۈسكۈنىنىڭ ئىسسىقلىق مۇقىملىقى ، مېخانىك كۈچى ، ئېلېكتر ئىقتىدارى ۋە باشقا تەرەپلىرىگە بىۋاسىتە تەسىر كۆرسىتىدۇ.

 

يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى MEMS بىر تەرەپ قىلىشتا ، باغلاش تېخنىكىسى ئۈسكۈنىنىڭ ئىقتىدارىغا تەسىر يەتكۈزىدىغان نۇقسانلاردىن ساقلىنىش بىلەن بىر ۋاقىتتا ، ماتېرىياللارنىڭ قويۇق باغلىنىشىغا كاپالەتلىك قىلىشى كېرەك. شۇڭلاشقا ، باغلىنىش جەريانى ۋە يۇقىرى سۈپەتلىك زايوم ماتېرىياللىرىنى ئېنىق كونترول قىلىش ئاخىرقى مەھسۇلاتنىڭ كەسىپ ئۆلچىمىگە يېتىشىگە كاپالەتلىك قىلىدىغان مۇھىم ئامىل.

 

1-210H11H51U40 

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ كەسپىدىكى MEMS باغلاش قوللىنىشچان پروگراممىلىرى

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ كەسپىدە MEMS تېخنىكىسى سېنزور ، تېزلەتكۈچ ، بېسىم سېنزورى ۋە گىروسكوپ قاتارلىق مىكرو ئۈسكۈنىلەرنى ئىشلەپچىقىرىشتا كەڭ قوللىنىلىدۇ. كىچىكلىتىلگەن ، توپلاشتۇرۇلغان ۋە ئەقلىي ئىقتىدارلىق مەھسۇلاتلارغا بولغان ئېھتىياجنىڭ ئېشىشىغا ئەگىشىپ ، MEMS ئۈسكۈنىلىرىنىڭ توغرىلىقى ۋە ئىقتىدار تەلىپىمۇ كۈنسېرى ئاشماقتا. بۇ قوللىنىشچان پروگراممىلاردا ، كرېمنىيلىق ۋافېر ، ئەينەك ، مېتال ۋە پولىمېر قاتارلىق ئوخشىمىغان ماتېرىياللارنى ئۇلاپ ، ئۈنۈملۈك ۋە مۇقىم ئىقتىدارغا ئېرىشىدۇ.

 

1. بېسىم سېنزورى ۋە تېزلەتكۈچ
ماشىنا ، ئالەم قاتنىشى ، ئىستېمال ئېلېكترون قاتارلىق ساھەلەردە MEMS بېسىم سېنزورى ۋە تېزلەتكۈچ ئۆلچەش ۋە كونترول سىستېمىسىدا كەڭ قوللىنىلىدۇ. باغلىنىش جەريانى كرېمنىي ئۆزىكى ۋە سېنزور ئېلېمېنتلىرىنى تۇتاشتۇرۇشقا ئىشلىتىلىدۇ ، يۇقىرى سەزگۈرلۈك ۋە توغرىلىققا كاپالەتلىك قىلىدۇ. بۇ سېنزورلار چوقۇم پەۋقۇلئاددە مۇھىت شارائىتىغا بەرداشلىق بېرەلەيدىغان بولۇشى كېرەك ، ئەلا سۈپەتلىك باغلىنىش جەريانى تېمپېراتۇرىنىڭ ئۆزگىرىشى سەۋەبىدىن ماتېرىياللارنىڭ ئاجرىلىپ چىقىشى ياكى كاشىلا قىلىشىنىڭ ئۈنۈملۈك ئالدىنى ئالالايدۇ.

 

2. مىكرو ئوپتىكىلىق ئۈسكۈنىلەر ۋە MEMS ئوپتىكىلىق ئالماشتۇرغۇچ
ئوپتىكىلىق خەۋەرلىشىش ۋە لازېر ئۈسكۈنىلىرى ساھەسىدە ، MEMS ئوپتىكىلىق ئۈسكۈنىلەر ۋە ئوپتىكىلىق ئالماشتۇرغۇچ مۇھىم رول ئوينايدۇ. باغلاش تېخنىكىسى كرېمنىينى ئاساس قىلغان MEMS ئۈسكۈنىلىرى بىلەن ئوپتىك تالا ۋە ئەينەك قاتارلىق ماتېرىياللار ئوتتۇرىسىدا ئېنىق باغلىنىشنى ئىشقا ئاشۇرۇش ئۈچۈن ئىشلىتىلىدۇ ، ئوپتىكىلىق سىگنال يەتكۈزۈشنىڭ ئۈنۈمى ۋە مۇقىملىقىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ. بولۇپمۇ يۇقىرى چاستوتىلىق ، كەڭ بەلۋاغ كەڭلىكى ۋە يىراق مۇساپىلىك يەتكۈزۈش قوللىنىشچان پروگراممىلاردا يۇقىرى ئىقتىدارلىق باغلىنىش تېخنىكىسى ئىنتايىن مۇھىم.

 

3. MEMS گىروسكوپ ۋە ئىنېرتسىيىلىك سېنزور
MEMS گىرىسكوپى ۋە ئىنېرتسىيىلىك سېنزور ئاپتوماتىك ھەيدەش ، ماشىنا ئادەم ۋە ئالەم قاتنىشى قاتارلىق ئالىي دەرىجىلىك كەسىپلەردە ئېنىق يول باشلاش ۋە ئورۇن بەلگىلەشتە كەڭ قوللىنىلىدۇ. يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى باغلىنىش جەريانى ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئىشەنچلىكلىكىگە كاپالەتلىك قىلالايدۇ ھەمدە ئۇزۇن مۇددەتلىك مەشغۇلات ياكى يۇقىرى چاستوتىلىق مەشغۇلات جەريانىدا ئىقتىدارنىڭ تۆۋەنلىشى ياكى مەغلۇپ بولۇشىدىن ساقلىنالايدۇ.

 

MEMS بىر تەرەپ قىلىشتىكى باغلىنىش تېخنىكىسىنىڭ ئاساسلىق ئىقتىدار تەلىپى

MEMS بىر تەرەپ قىلىشتا ، باغلىنىش جەريانىنىڭ سۈپىتى ئۈسكۈنىنىڭ ئىقتىدارى ، ئۆمرى ۋە مۇقىملىقىنى بىۋاسىتە بەلگىلەيدۇ. MEMS ئۈسكۈنىلىرىنىڭ ھەر خىل قوللىنىشچان پروگراممىلاردا ئۇزۇن مۇددەت ئىشەنچلىك ئىشلىشىگە كاپالەتلىك قىلىش ئۈچۈن ، باغلىنىش تېخنىكىسىنىڭ تۆۋەندىكىدەك مۇھىم ئىقتىدارلىرى بولۇشى كېرەك:

1. يۇقىرى ئىسسىقلىق مۇقىملىقى
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ كەسپىدىكى نۇرغۇن قوللىنىشچان مۇھىتتا يۇقىرى تېمپېراتۇرا شارائىتى بار ، بولۇپمۇ ماشىنا ، ئالەم قاتنىشى قاتارلىق ساھەلەردە باغلىنىش ماتېرىيالىنىڭ ئىسسىقلىق مۇقىملىقى ئىنتايىن مۇھىم بولۇپ ، تېمپېراتۇرا ئۆزگىرىشىگە بۇزغۇنچىلىق ۋە مەغلۇبىيەتكە بەرداشلىق بېرەلەيدۇ.

 

2. يۇقىرى ئۇپراشقا چىداملىق
MEMS ئۈسكۈنىلىرى ئادەتتە مىكرو مېخانىكىلىق قۇرۇلمىلارنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ ، ئۇزۇن مۇددەت سۈركىلىش ۋە ھەرىكەت ئۇلىنىش زاپچاسلىرىنىڭ ئۇپرىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىشى مۇمكىن. باغلاش ماتېرىيالى ئۈسكۈنىنىڭ ئۇزۇن مۇددەت ئىشلىتىشتىكى مۇقىملىقى ۋە ئۈنۈمىگە كاپالەتلىك قىلىش ئۈچۈن ئېسىل ئۇپراشقا قارشى تۇرۇش ئىقتىدارىغا ئىگە بولۇشى كېرەك.

 

3. يۇقىرى ساپلىق

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتىنىڭ ماددى ساپلىقىغا ئىنتايىن قاتتىق تەلىپى بار. ھەر قانداق كىچىك بۇلغىنىش ئۈسكۈنىنىڭ كاشىلا ياكى ئىقتىدارنىڭ ناچارلىشىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىشى مۇمكىن. شۇڭلاشقا ، باغلىنىش جەريانىدا ئىشلىتىلگەن ماتېرىياللارنىڭ ساپلىقى ئىنتايىن يۇقىرى بولۇشى ، ئۈسكۈنىنىڭ مەشغۇلات جەريانىدا سىرتقى بۇلغىنىشنىڭ تەسىرىگە ئۇچرىماسلىقىغا كاپالەتلىك قىلىشى كېرەك.

 

4. ئېنىق باغلىنىشنىڭ توغرىلىقى
MEMS ئۈسكۈنىلىرى ھەمىشە مىكرو سەۋىيىلىك ، ھەتتا نانومېتىرلىق بىر تەرەپ قىلىش توغرىلىقىنى تەلەپ قىلىدۇ. باغلىنىش جەريانى چوقۇم ھەر بىر قەۋەت ماتېرىيالنىڭ ئېنىق ئۇلىنىشىغا كاپالەتلىك قىلىپ ، ئۈسكۈنىنىڭ ئىقتىدارى ۋە ئىقتىدارىنىڭ تەسىرگە ئۇچرىماسلىقىغا كاپالەتلىك قىلىشى كېرەك.

 

1-210H11H304549 1-210GFZ0050-L

Anodic bonding

Anodic bonding:
Sil كرېمنىيلىق ۋافېر بىلەن ئەينەك ، مېتال ۋە ئەينەك ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋە قېتىشما ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋە ئەينەك ئوتتۇرىسىدىكى باغلىنىشقا ماس كېلىدۇ
Eutectoid باغلىنىشى:
P PbSn ، AuSn ، CuSn ۋە AuSi قاتارلىق ماتېرىياللارغا ماس كېلىدۇ

يېلىم باغلاش:
Z ئالاھىدە باغلاش يېلىمى ئىشلىتىڭ ، AZ4620 ۋە SU8 قاتارلىق ئالاھىدە باغلىنىش يېلىملىرىغا ماس كېلىدۇ
4 4 دىيۇم ۋە 6 دىيۇملۇققا ماس كېلىدۇ

 

Semicera Custom Bonding Service

Semicera MEMS بىر تەرەپ قىلىش ھەل قىلىش لايىھىسىنىڭ كەسىپ يېتەكچىسى بولۇش سۈپىتى بىلەن خېرىدارلارنى يۇقىرى ئېنىقلىق ، يۇقىرى مۇقىملىق خاسلاشتۇرۇلغان زايوم مۇلازىمىتى بىلەن تەمىنلەشكە ۋەدە بېرىدۇ. بىزنىڭ باغلىنىش تېخنىكىمىز كرېمنىي ، ئەينەك ، مېتال ، ساپال بۇيۇملار قاتارلىق ئوخشىمىغان ماتېرىياللارنىڭ ئۇلىنىشىدا كەڭ قوللىنىلىپ ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋە MEMS ساھەسىدىكى ئالىي دەرىجىلىك قوللىنىشچان پروگراممىلارنى يېڭىلىق يارىتىش بىلەن تەمىنلەيدۇ.

 

Semicera نىڭ ئىلغار ئىشلەپچىقىرىش ئۈسكۈنىلىرى ۋە تېخنىكىلىق گۇرۇپپىلىرى بار ، ئۇ خېرىدارلارنىڭ كونكرېت ئېھتىياجىغا ئاساسەن خاسلاشتۇرۇلغان باغلىنىش ھەل قىلىش چارىسى بىلەن تەمىنلەيدۇ. مەيلى يۇقىرى تېمپېراتۇرا ۋە يۇقىرى بېسىملىق مۇھىتتا ئىشەنچلىك باغلىنىش بولسۇن ياكى ئېنىق مىكرو ئۈسكۈنىلەرنى باغلاش بولسۇن ، Semicera ھەر خىل مۇرەككەپ جەريان تەلەپلىرىنى قاندۇرۇپ ، ھەر بىر مەھسۇلاتنىڭ ئەڭ يۇقىرى سۈپەت ئۆلچىمىگە يېتىشىگە كاپالەتلىك قىلالايدۇ.

 

بىزنىڭ ئىختىيارىي باغلاش مۇلازىمىتىمىز ئادەتتىكى باغلىنىش جەريانى بىلەنلا چەكلىنىپ قالماستىن ، يەنە مېتال باغلاش ، ئىسسىقلىق بىلەن پىرىسلاش ، يېپىشتۇرۇش ۋە باشقا جەريانلارنىمۇ ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ ، بۇلار ئوخشىمىغان ماتېرىيال ، قۇرۇلما ۋە قوللىنىش تەلىپىگە كەسپىي تېخنىكا جەھەتتىن ياردەم بېرەلەيدۇ. ئۇنىڭدىن باشقا ، Semicera يەنە خېرىدارلارنى ئەسلى تىپ ئېچىشتىن تۈركۈملەپ ئىشلەپچىقىرىشقىچە تولۇق مۇلازىمەت بىلەن تەمىنلەپ ، خېرىدارلارنىڭ ھەر بىر تېخنىكىلىق تەلىپىنى توغرا ئەمەلگە ئاشۇرۇشقا كاپالەتلىك قىلالايدۇ.