Semicera ھەرخىل زاپچاسلار ۋە توشۇغۇچىلار ئۈچۈن مەخسۇس تانتال كاربون (TaC) سىر بىلەن تەمىنلەيدۇ.Semicera ئالدىنقى قاتاردىكى سىرلاش جەريانى تانتال كاربون (TaC) سىرلىرىنى يۇقىرى ساپلىق ، يۇقىرى تېمپېراتۇرا مۇقىملىقى ۋە خىمىيىلىك چىدامچانلىقىنى ئىشقا ئاشۇرۇپ ، SIC / GAN كىرىستاللىرى ۋە EPI قەۋىتىنىڭ مەھسۇلات سۈپىتىنى ئۆستۈرىدۇ.گرافىك قاپلانغان TaC سۈمۈرگۈچ) ، ۋە ئاساسلىق رېئاكتور زاپچاسلىرىنىڭ ئۆمرىنى ئۇزارتىدۇ. تانتال كاربون TaC سىرنى ئىشلىتىش قىرغاق مەسىلىسىنى ھەل قىلىش ۋە خرۇستالنىڭ ئۆسۈش سۈپىتىنى يۇقىرى كۆتۈرۈش بولۇپ ، Semicera بۆسۈش خاراكتېرلىك تانتال كاربون سىرلاش تېخنىكىسى (CVD) نى ھەل قىلىپ ، خەلقئارا ئىلغار سەۋىيىگە يەتتى.
كرېمنىي كاربون (SiC) ئۈچىنچى ئەۋلاد يېرىم ئۆتكۈزگۈچتىكى مۇھىم ماتېرىيال ، ئەمما ئۇنىڭ مەھسۇلات نىسبىتى سانائەتنىڭ ئېشىشىنى چەكلەيدىغان ئامىل بولۇپ كەلدى. Semicera نىڭ تەجرىبىخانىسىدا كەڭ كۆلەمدە سىناق قىلىنغاندىن كېيىن ، پۈركۈپ پۈركۈلگەن TaC نىڭ زۆرۈر ساپلىقى ۋە بىردەكلىكى يوقلىقى بايقالدى. بۇنىڭغا سېلىشتۇرغاندا ، CVD جەريانى 5 PPM نىڭ ساپلىق دەرىجىسى ۋە ئېسىل بىردەكلىكىگە كاپالەتلىك قىلىدۇ. CVD TaC نى ئىشلىتىش كرېمنىي كاربون ۋافېرنىڭ مەھسۇلات نىسبىتىنى كۆرۈنەرلىك ئۆستۈرىدۇ. مۇزاكىرىلەرنى قارشى ئالىمىزTantalum Carbide CVD قاپلاش يېتەكچىسى ئۈزۈكى SiC ۋافېرلىرىنىڭ تەننەرخىنى تېخىمۇ تۆۋەنلىتىش.
كۆپ يىللىق تەرەققىياتتىن كېيىن ، Semicera تېخنىكىسىنى بويسۇندۇردىCVD TaCتەتقىق قىلىپ ئېچىش بۆلۈمىنىڭ ئورتاق تىرىشچانلىقى بىلەن. SiC ۋافېرنىڭ ئۆسۈپ يېتىلىش جەريانىدا كەمتۈكلۈك ئاسان ، ئەمما ئىشلىتىپ بولغاندىن كېيىنTaC، پەرقى ناھايىتى مۇھىم. تۆۋەندە WaC بىلەن TaC يوق ، شۇنداقلا Simicera نىڭ يەككە خرۇستال ئۆسۈپ يېتىلىش زاپچاسلىرى سېلىشتۇرۇلدى.
بىلەن ۋە TaC يوق
TaC نى ئىشلەتكەندىن كېيىن (ئوڭدا)
ئۇنىڭ ئۈستىگە ، Semicera'sTaC سىرلانغان مەھسۇلاتلاربۇنىڭغا سېلىشتۇرغاندا ئۇزۇن ئۆمۈر كۆرۈش ۋە يۇقىرى تېمپېراتۇرىغا قارشى تۇرۇش ئىقتىدارىنى نامايان قىلىڭSiC چاپلاش.تەجرىبىخانا ئۆلچەش بىزنىڭTaC چاپلاشئۇدا 2300 سېلسىيە گرادۇسقىچە بولغان تېمپېراتۇرىدا ئۇدا ئىجرا قىلالايدۇ. تۆۋەندىكى مىساللىرىمىزنىڭ بىر قانچە مىسالى:
