TaC سىرئۇ مۇھىم ماتېرىيال سىر بولۇپ ، ئادەتتە مېتال ئورگانىك خىمىيىلىك ھور چۆكمىسى (MOCVD) تېخنىكىسى ئارقىلىق گرافت ئاساسىدا تەييارلىنىدۇ. بۇ سىرنىڭ قاتتىقلىقى ، ئېسىل ئۇپراشقا چىدامچانلىقى ، يۇقىرى تېمپېراتۇرىغا چىدامچانلىقى ۋە خىمىيىلىك مۇقىملىقى قاتارلىق ئېسىل خۇسۇسىيەتلىرى بار بولۇپ ، ھەرخىل يۇقىرى ئېھتىياجلىق قۇرۇلۇشلارغا ماس كېلىدۇ.
MOCVD تېخنىكىسى ئادەتتە ئىشلىتىلىدىغان نېپىز پەردە ئۆسۈش تېخنىكىسى بولۇپ ، يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا رېئاكتىپلىق گاز بىلەن مېتال ئورگانىك ئالدىنئالا رېئاكسىيە قىلىش ئارقىلىق لازىملىق بىرىكمە پىلاستىنكىنى يەر ئاستى يۈزىگە قويىدۇ. تەييارلىق قىلغانداTaC سىرماس كېلىدىغان مېتال ئورگانىك ئالدىنئالا ۋە كاربون مەنبەسىنى تاللاش ، ئىنكاس قايتۇرۇش شارائىتى ۋە چۆكمە پارامېتىرلىرىنى كونترول قىلىش ، بىر تۇتاش ۋە قويۇق TaC پىلاستىنكىسىنى گرافت بازىسىغا قويغىلى بولىدۇ.
Semicera ھەرخىل زاپچاسلار ۋە توشۇغۇچىلار ئۈچۈن مەخسۇس تانتال كاربون (TaC) سىر بىلەن تەمىنلەيدۇ.Semicera ئالدىنقى قاتاردىكى سىرلاش جەريانى تانتال كاربون (TaC) سىرلىرىنى يۇقىرى ساپلىق ، يۇقىرى تېمپېراتۇرا مۇقىملىقى ۋە خىمىيىلىك چىدامچانلىقىنى ئىشقا ئاشۇرۇپ ، SIC / GAN كىرىستاللىرى ۋە EPI قەۋىتىنىڭ مەھسۇلات سۈپىتىنى ئۆستۈرىدۇ.گرافىك قاپلانغان TaC سۈمۈرگۈچ) ، ۋە ئاساسلىق رېئاكتور زاپچاسلىرىنىڭ ئۆمرىنى ئۇزارتىدۇ. تانتال كاربون TaC سىرنى ئىشلىتىش قىرغاق مەسىلىسىنى ھەل قىلىش ۋە خرۇستالنىڭ ئۆسۈش سۈپىتىنى يۇقىرى كۆتۈرۈش بولۇپ ، Semicera بۆسۈش خاراكتېرلىك تانتال كاربون سىرلاش تېخنىكىسى (CVD) نى ھەل قىلىپ ، خەلقئارا ئىلغار سەۋىيىگە يەتتى.
كۆپ يىللىق تەرەققىياتتىن كېيىن ، Semicera تېخنىكىسىنى بويسۇندۇردىCVD TaCتەتقىق قىلىپ ئېچىش بۆلۈمىنىڭ ئورتاق تىرىشچانلىقى بىلەن. SiC ۋافېرنىڭ ئۆسۈپ يېتىلىش جەريانىدا كەمتۈكلۈك ئاسان ، ئەمما ئىشلىتىپ بولغاندىن كېيىنTaC، پەرقى ناھايىتى مۇھىم. تۆۋەندە WaC بىلەن TaC يوق ، شۇنداقلا Simicera نىڭ يەككە خرۇستال ئۆسۈپ يېتىلىش زاپچاسلىرى سېلىشتۇرۇلدى.
بىلەن ۋە TaC يوق
TaC نى ئىشلەتكەندىن كېيىن (ئوڭدا)
ئۇنىڭ ئۈستىگە ، Semicera'sTaC سىرلانغان مەھسۇلاتلاربۇنىڭغا سېلىشتۇرغاندا ئۇزۇن ئۆمۈر كۆرۈش ۋە يۇقىرى تېمپېراتۇرىغا قارشى تۇرۇش ئىقتىدارىنى نامايان قىلىڭSiC چاپلاش.تەجرىبىخانا ئۆلچەش بىزنىڭ شۇنى ئىسپاتلىدىTaC چاپلاشئۇدا 2300 سېلسىيە گرادۇسقىچە بولغان تېمپېراتۇرىدا ئۇدا ئىجرا قىلالايدۇ. تۆۋەندىكى مىساللىرىمىزنىڭ بىر قانچە مىسالى:
