CVD TaC سىرنى تونۇشتۇرۇش:
CVD TaC قاپلاش تېخنىكىسى خىمىيىلىك ھور چۆكمىسىدىن پايدىلىنىپ ، تانتال كاربون (TaC) سىرنى يەر ئاستى يۈزىگە قويىدۇ. تانتال كاربون يۇقىرى مېخانىكىلىق ۋە خىمىيىلىك خۇسۇسىيەتكە ئىگە يۇقىرى ئىقتىدارلىق ساپال ماتېرىيال. CVD جەريانى گاز رېئاكسىيەسى ئارقىلىق يەر ئاستى يۈزىدە بىر تۇتاش TaC پىلاستىنكىسى ھاسىل قىلىدۇ.
ئاساسلىق ئىقتىدارلىرى:
ئېسىل قاتتىقلىق ۋە تاقاشقا چىداملىق: تانتال كاربىدنىڭ قاتتىقلىق دەرىجىسى ئىنتايىن يۇقىرى ، CVD TaC يېپىشقاق ماددىسىنىڭ ئۇپراشقا قارشى تۇرۇش ئىقتىدارىنى كۆرۈنەرلىك يۇقىرى كۆتۈرەلەيدۇ. بۇ چاپلاش قوراللىرى ۋە قېلىپ قاتارلىق يۇقىرى كىيىملىك مۇھىتتىكى قوللىنىشچان پروگراممىلارغا ماس كېلىدۇ.
يۇقىرى تېمپېراتۇرا مۇقىملىقى: TaC سىرلىرى 2200 سېلسىيە گرادۇسقىچە بولغان تېمپېراتۇرىدا ھالقىلىق ئوچاق ۋە رېئاكتور زاپچاسلىرىنى قوغدايدۇ ، ياخشى مۇقىملىقنى نامايان قىلىدۇ. ئۇ پەۋقۇلئاددە تېمپېراتۇرا شارائىتىدا خىمىيىلىك ۋە مېخانىكىلىق مۇقىملىقنى ساقلاپ ، يۇقىرى تېمپېراتۇرىلىق مۇھىتتا يۇقىرى تېمپېراتۇرىنى بىر تەرەپ قىلىشقا ۋە قوللىنىشقا ماس كېلىدۇ.
خىمىيىلىك مۇقىملىق: تانتال كاربون كۆپىنچە كىسلاتا ۋە ئىشقارلىققا چىرىشكە قارشى تۇرۇش ئىقتىدارىغا ئىگە ، CVD TaC سىرلاش چىرىتىش مۇھىتىدىكى يەر ئاستى سۈيىنىڭ بۇزۇلۇشىنىڭ ئۈنۈملۈك ئالدىنى ئالىدۇ.
يۇقىرى ئېرىتىش نۇقتىسى: تانتال كاربىدنىڭ يۇقىرى ئېرىتىش نۇقتىسى (تەخمىنەن 3880 سېلسىيە گرادۇس) بولۇپ ، CVD TaC سىرنىڭ يۇقىرى تېمپېراتۇرا شارائىتىدا ئېرىپ ياكى تۆۋەنلىمەي ئىشلىتىشىگە يول قويىدۇ.
مۇنەۋۋەر ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى: TaC سىرنىڭ يۇقىرى ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى بار ، ئۇ يۇقىرى تېمپېراتۇرا جەريانىدىكى ئىسسىقلىقنى ئۈنۈملۈك تارقىتىپ ، يەرلىكنىڭ ئىسسىپ كېتىشىنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ.
يوشۇرۇن قوللىنىشچان پروگراممىلار:
گاللىي نىترىد (GaN) ۋە كرېمنىي كاربىد ئېپىتاكسىيىلىك CVD رېئاكتور زاپچاسلىرى ، ۋافېر توشۇغۇچى ، سۈنئىي ھەمراھ تاماقلىرى ، مۇنچا ، تورۇس ۋە سۈمۈرگۈچ قاتارلىقلارنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ.
كرېمنىي كاربون ، گاللىي نىترىد ۋە ئاليۇمىن نىترىد (AlN) كىرىستال ئۆسۈش زاپچاسلىرى ، كرېست ، ئۇرۇق تۇتقۇچى ، يېتەكچى ھالقا ۋە سۈزگۈچ قاتارلىقلارنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ.
• قارشىلىق بىلەن ئىسسىتىش ئېلېمېنتى ، ئوكۇل ئوكۇلى ، نىقابلىق ئۈزۈك ۋە تورمۇز چىرىغى قاتارلىق سانائەت زاپچاسلىرى
قوللىنىشچان ئىقتىدارلىرى:
تېمپېراتۇرا ° C 2000 تىن يۇقىرى بولۇپ ، ئىنتايىن يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا مەشغۇلات قىلىشقا بولىدۇ
ھىدروگېن (Hz) ، ئاممىياك (NH3) ، مونوسىلان (SiH4) ۋە كرېمنىي (Si) غا چىداملىق بولۇپ ، ناچار خىمىيىلىك مۇھىتتا قوغداش بىلەن تەمىنلەيدۇ.
ئۇنىڭ ئىسسىقلىق سوقۇشىغا قارشى تۇرۇش ئىقتىدارى تېخىمۇ تېز مەشغۇلات دەۋرىيلىكىنى قوزغىتىدۇ
• گرافتنىڭ كۈچلۈك يېپىشقاقلىقى بار بولۇپ ، ئۇزۇن ئۆمۈر كۆرۈشكە كاپالەتلىك قىلىدۇ ھەمدە سىرنى ئايرىشقا بولمايدۇ.
• دەرىجىدىن تاشقىرى يۇقىرى ساپلىق ، كېرەكسىز بۇلغانمىلارنى ياكى بۇلغىمىلارنى يوقىتىدۇ
• قاتتىق ئۆلچەملىك بەرداشلىق بېرىش ئۈچۈن ماسلاشتۇرۇلغان قاپلاش
تېخنىكىلىق ئۆلچەم:
CVD تەرىپىدىن قويۇق تانتال كاربون يېپىنچىسى تەييارلاش:
يۇقىرى كىرىستاللىق ۋە ئېسىل بىردەكلىك بىلەن TAC سىرلاش :
CVD TAC قاپلاش تېخنىكىلىق پارامېتىرلىرى_سېمىرا:
TaC سىرنىڭ فىزىكىلىق خۇسۇسىيىتى | |
زىچلىقى | 14.3 (g / cm³) |
توپ قويۇقلۇقى | 8 x 1015/ cm |
كونكرېت ھېسسىيات | 0.3 |
ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى | 6.3 10-6/K |
قاتتىقلىق (HK) | 2000 HK |
توپنىڭ قارشىلىق كۈچى | 4.5 ohm-cm |
قارشىلىق | 1x10-5Ohm * cm |
ئىسسىقلىق مۇقىملىقى | <2500 ℃ |
ھەرىكەتچانلىقى | 237 cm2/ Vs |
گرافىكنىڭ چوڭ-كىچىكلىكى ئۆزگىرىدۇ | -10 ~ -20um |
قېلىن قېلىن | ≥20um تىپىك قىممىتى (35um + 10um) |
يۇقىرىقىلار تىپىك قىممەتلەر.