TaC قاپلانغان قاپارتما توشۇغۇچىئادەتتە يۇقىرى ئىقتىدارلىق ئوپتىكىلىق ئېلېكتر ئۈسكۈنىلىرى ، ئېلېكتر ئۈسكۈنىلىرى ، سېنزور ۋە باشقا ساھەلەرنى تەييارلاشتا ئىشلىتىلىدۇ. بۇepitaxial wafer توشۇغۇچىئامانەت قويۇشنى كۆرسىتىدۇTaCخرۇستال ئۆسۈش جەريانىدا ئاستىرتتىن نېپىز پەردە بولۇپ ، كېيىنكى ئۈسكۈنىلەرنى تەييارلاشتا ئالاھىدە قۇرۇلما ۋە ئىقتىدارغا ئىگە ۋافېر ھاسىل قىلىدۇ.
خىمىيىلىك ھور چۆكۈش (CVD) تېخنىكىسى ئادەتتە تەييارلاشقا ئىشلىتىلىدۇTaC قاپلانغان قاپارتما توشۇغۇچى. مېتال ئورگانىك ئالدىنئالا ۋە كاربون مەنبەلىك گازلارنى يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا رېئاكسىيە قىلىش ئارقىلىق ، خىرۇستال يەر ئاستى يۈزىگە TaC پىلاستىنكىسى قويغىلى بولىدۇ. بۇ فىلىم ئېسىل ئېلېكتر ، ئوپتىكىلىق ۋە مېخانىكىلىق خۇسۇسىيەتكە ئىگە بولۇپ ، ھەرخىل يۇقىرى ئىقتىدارلىق ئۈسكۈنىلەرنى تەييارلاشقا ماس كېلىدۇ.
Semicera ھەرخىل زاپچاسلار ۋە توشۇغۇچىلار ئۈچۈن مەخسۇس تانتال كاربون (TaC) سىر بىلەن تەمىنلەيدۇ.Semicera ئالدىنقى قاتاردىكى سىرلاش جەريانى تانتال كاربون (TaC) سىرلىرىنى يۇقىرى ساپلىق ، يۇقىرى تېمپېراتۇرا مۇقىملىقى ۋە خىمىيىلىك چىدامچانلىقىنى ئىشقا ئاشۇرۇپ ، SIC / GAN كىرىستاللىرى ۋە EPI قەۋىتىنىڭ مەھسۇلات سۈپىتىنى ئۆستۈرىدۇ.گرافىك قاپلانغان TaC سۈمۈرگۈچ) ، ۋە ئاساسلىق رېئاكتور زاپچاسلىرىنىڭ ئۆمرىنى ئۇزارتىدۇ. تانتال كاربون TaC سىرنى ئىشلىتىش قىرغاق مەسىلىسىنى ھەل قىلىش ۋە خرۇستالنىڭ ئۆسۈش سۈپىتىنى يۇقىرى كۆتۈرۈش بولۇپ ، Semicera بۆسۈش خاراكتېرلىك تانتال كاربون سىرلاش تېخنىكىسى (CVD) نى ھەل قىلىپ ، خەلقئارا ئىلغار سەۋىيىگە يەتتى.
كۆپ يىللىق تەرەققىياتتىن كېيىن ، Semicera تېخنىكىسىنى بويسۇندۇردىCVD TaCتەتقىق قىلىپ ئېچىش بۆلۈمىنىڭ ئورتاق تىرىشچانلىقى بىلەن. SiC ۋافېرنىڭ ئۆسۈپ يېتىلىش جەريانىدا كەمتۈكلۈك ئاسان ، ئەمما ئىشلىتىپ بولغاندىن كېيىنTaC، پەرقى ناھايىتى مۇھىم. تۆۋەندە WaC بىلەن TaC نىڭ سېلىشتۇرمىسى ، شۇنداقلا Simicera نىڭ يەككە خرۇستال ئۆسۈپ يېتىلىش زاپچاسلىرى سېلىشتۇرۇلدى.
بىلەن ۋە TaC يوق
TaC نى ئىشلەتكەندىن كېيىن (ئوڭدا)
ئۇنىڭ ئۈستىگە ، Semicera'sTaC سىرلانغان مەھسۇلاتلاربۇنىڭغا سېلىشتۇرغاندا ئۇزۇن ئۆمۈر كۆرۈش ۋە يۇقىرى تېمپېراتۇرىغا قارشى تۇرۇش ئىقتىدارىنى نامايان قىلىڭSiC چاپلاش.تەجرىبىخانا ئۆلچەش بىزنىڭTaC چاپلاشئۇدا 2300 سېلسىيە گرادۇسقىچە بولغان تېمپېراتۇرىدا ئۇدا ئىجرا قىلالايدۇ. تۆۋەندىكى مىساللىرىمىزنىڭ بىر قانچە مىسالى:
