Semicera نىڭ SiN ساپال بۇيۇملىرى تۈزلەڭلىكى ھەر خىل ئېلېكترونلۇق ۋە سانائەت قوللىنىشچان پروگراممىلىرىنى يۇقىرى ئۈنۈملۈك ھەل قىلىش چارىسى بىلەن تەمىنلەيدۇ. ئېسىل ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى ۋە مېخانىك كۈچى بىلەن داڭلىق بۇ تارماق ئېلېمېنتلار تەلەپچان مۇھىتتا ئىشەنچلىك مەشغۇلات قىلىشقا كاپالەتلىك قىلىدۇ.
بىزنىڭ SiN (كرېمنىي نىترىد) ساپال بۇيۇملىرىمىز پەۋقۇلئاددە تېمپېراتۇرا ۋە يۇقىرى بېسىملىق شارائىتنى بىر تەرەپ قىلىش ئۈچۈن لايىھەلەنگەن بولۇپ ، ئۇلارنى يۇقىرى قۇۋۋەتلىك ئېلېكترون ۋە ئىلغار يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرىگە ماسلاشتۇرىدۇ. ئۇلارنىڭ چىدامچانلىقى ۋە ئىسسىقلىق سوقۇشىغا قارشى تۇرۇش كۈچى ئىشەنچلىك ۋە ئىقتىدار ئىنتايىن مۇھىم بولغان قوللىنىشچان پروگراممىلاردا ئىشلىتىشكە ماس كېلىدۇ.
Semicera نىڭ ئىنچىكە ئىشلەپچىقىرىش جەريانى ھەر بىر ئاددىي تارماقنىڭ قاتتىق سۈپەت ئۆلچىمىگە يېتىشىگە كاپالەتلىك قىلىدۇ. بۇ ئىزچىل قېلىنلىق ۋە يەر يۈزى سۈپىتىنىڭ ئاستى قىسمىنى ھاسىل قىلىدۇ ، بۇ ئېلېكترونلۇق قۇراشتۇرۇش ۋە سىستېمىلاردا ئەڭ ياخشى ئۈنۈمگە ئېرىشىشتە ئىنتايىن مۇھىم.
ئۇلارنىڭ ئىسسىقلىق ۋە مېخانىكىلىق ئەۋزەللىكىدىن باشقا ، SiN ساپال ساپال تۈزلەڭلىكى ئېسىل ئېلېكتر ئىزولياتورلۇق خۇسۇسىيىتى بىلەن تەمىنلەيدۇ. بۇ ئېلېكترنىڭ ئەڭ ئاز ئارىلىشىشىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ ھەمدە ئېلېكترونلۇق زاپچاسلارنىڭ ئومۇمىي مۇقىملىقى ۋە ئۈنۈمىگە تۆھپە قوشىدۇ ، ئۇلارنىڭ مەشغۇلات ئۆمرىنى ئۆستۈرىدۇ.
Semicera نىڭ SiN ساپال ساپال تۈزلەڭلىكىنى تاللاش ئارقىلىق ، ئىلغار ماتېرىيال ئىلمى بىلەن ئالدىنقى قاتاردىكى ياسىمىچىلىق بىرلەشتۈرۈلگەن مەھسۇلاتنى تاللايسىز. بىزنىڭ سۈپەت ۋە يېڭىلىق يارىتىشتىكى ۋەدىمىز سىزنىڭ ئەڭ يۇقىرى كەسىپ ئۆلچىمىگە ماس كېلىدىغان ۋە ئىلغار تېخنىكا تۈرلىرىڭىزنىڭ مۇۋەپپەقىيىتىنى قوللايدىغان تارماق ئېلېمېنتلارنى قوبۇل قىلىشىڭىزغا كاپالەتلىك قىلىدۇ.
| تۈرلەر | ئىشلەپچىقىرىش | تەتقىقات | Dummy |
| خىرۇستال پارامېتىرلار | |||
| Polytype | 4H | ||
| Surface يۆنىلىش خاتالىقى | <11-20> 4 ± 0.15 ° | ||
| ئېلېكتر پارامېتىرلىرى | |||
| Dopant | n تىپلىق ئازوت | ||
| قارشىلىق | 0.015-0.025ohm · cm | ||
| مېخانىكىلىق پارامېتىرلار | |||
| دىئامېتىرى | 150.0 ± 0.2mm | ||
| قېلىنلىق | 350 ± 25 mm | ||
| دەسلەپكى تەكشى يۆنىلىش | [1-100] ± 5 ° | ||
| دەسلەپكى تەكشى ئۇزۇنلۇق | 47.5 ± 1.5mm | ||
| ئىككىلەمچى تەكشى | ياق | ||
| TTV | ≤5 mm | ≤10 mm | ≤15 mm |
| LTV | ≤3 μm (5mm * 5mm) | ≤5 mm (5mm * 5mm) | ≤10 mm (5mm * 5mm) |
| Bow | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 mm | ≤55 mm |
| ئالدى (Si-face) يىرىكلىكى (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm * 5μm) | ||
| قۇرۇلمىسى | |||
| مىكروپنىڭ زىچلىقى | <1 ea / cm2 | <10 ea / cm2 | <15 ea / cm2 |
| مېتال بۇلغانمىلار | ≤5E10atoms / cm2 | NA | |
| BPD | 001500 ea / cm2 | 0003000 ea / cm2 | NA |
| TSD | 00500 ea / cm2 | 0001000 ea / cm2 | NA |
| ئالدى سۈپەت | |||
| ئالدى | Si | ||
| Surface تامام | Si-face CMP | ||
| Particles | ≤60ea / wafer (size≥0.3μm) | NA | |
| سىزىلغان | ≤5ea / mm. جۇغلانما ئۇزۇنلۇقى ≤ دىئامېتىرى | جۇغلانما ئۇزۇنلۇقى≤2 * دىئامېتىرى | NA |
| ئاپېلسىن پوستى / ئورەك / داغ / داغ / يېرىق / بۇلغىنىش | ياق | NA | |
| قىرلىق ئۆزەك / كۆرسەتكۈچ / سۇنۇق / ئالتە تەرەپلىك تەخسە | ياق | ||
| كۆپ قۇتۇپلۇق رايونلار | ياق | جۇغلانما رايونى% 20 | جۇغلانما رايونى% 30 |
| ئالدى لازېر بەلگىسى | ياق | ||
| ئارقا سۈپەت | |||
| قايتىش | C-face CMP | ||
| سىزىلغان | ≤5ea / mm ، جۇغلانما ئۇزۇنلۇقى ≤2 * دىئامېتىرى | NA | |
| ئارقا كەمتۈكلۈك (قىرلىق ئۆزەك / كۆرسەتكۈچ) | ياق | ||
| ئارقا قوپاللىق | Ra≤0.2nm (5μm * 5μm) | ||
| ئارقا لازېر بەلگىسى | 1 مىللىمېتىر (ئۈستى قىردىن) | ||
| Edge | |||
| Edge | Chamfer | ||
| ئورالما | |||
| ئورالما | ۋاكۇئۇم ئورالمىسى بىلەن Epi تەييار كۆپ ۋافېرلىق قەغەز ئورالمىسى | ||
| * ئىزاھات NA «NA» تەلەپ قىلىنمىغان تۈرلەرنىڭ SEMI-STD نى كۆرسىتىدۇ. | |||
