Semicera نىڭ كرېمنىي نىترىد ساپال بويۇملىرى ئىلغار ماتېرىيال تېخنىكىسىنىڭ يۇقىرى پەللىسىگە ۋەكىللىك قىلىدۇ ، ئالاھىدە ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى ۋە كۈچلۈك مېخانىكىلىق خۇسۇسىيەت بىلەن تەمىنلەيدۇ. يۇقىرى ئىقتىدارلىق قوللىنىشچان پروگراممىلارغا ئىنژېنېر بولغان ، بۇ تارماق بالا ئىشەنچلىك ئىسسىقلىق باشقۇرۇش ۋە قۇرۇلما پۈتۈنلۈكىنى تەلەپ قىلىدىغان مۇھىتتا قالتىس.
بىزنىڭ كرېمنىي نىترىد ساپال بويۇملىرىمىز ئىنتايىن يۇقىرى تېمپېراتۇرا ۋە ناچار شارائىتقا تاقابىل تۇرۇش ئۈچۈن لايىھەلەنگەن بولۇپ ، يۇقىرى قۇۋۋەتلىك ۋە يۇقىرى چاستوتىلىق ئېلېكترونلۇق ئۈسكۈنىلەرگە ماس كېلىدۇ. ئۇلارنىڭ ئەۋزەل ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى ئىسسىقلىقنىڭ ئۈنۈملۈك تارقىلىشىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ ، بۇ ئېلېكترونلۇق زاپچاسلارنىڭ ئىقتىدارى ۋە ئۇزۇن ئۆمۈر كۆرۈشىدە ئىنتايىن مۇھىم.
Semicera نىڭ سۈپەتكە بولغان ۋەدىسى بىز ئىشلەپچىقارغان ھەر بىر كىرىمنىي نىترىد ساپال ساپاللىقىدا ئېنىق. ھەر بىر تارماق بالا زامانىۋى جەريانلاردىن پايدىلىنىپ ياسالغان بولۇپ ، ئىزچىل ئىقتىدار ۋە كەمتۈكلۈكلەرگە كاپالەتلىك قىلىدۇ. بۇ يۇقىرى ئېنىقلىق دەرىجىسى ماشىنا ، ئالەم قاتنىشى ، تېلېگراف قاتارلىق كەسىپلەرنىڭ قاتتىق تەلىپىنى قوللايدۇ.
بىزنىڭ ئىسسىقلىق ۋە مېخانىكىلىق پايدىمىزدىن باشقا ، بىزنىڭ تارماق سىستېمىلىرىمىز ئېسىل ئېلېكترونلۇق ئىزولياتسىيىلىك خۇسۇسىيەت بىلەن تەمىنلەيدۇ ، بۇ ئېلېكترونلۇق ئۈسكۈنىلىرىڭىزنىڭ ئىشەنچلىكلىكىگە تۆھپە قوشىدۇ. ئېلېكترنىڭ ئارىلىشىشىنى ئازايتىش ۋە زاپچاسلارنىڭ مۇقىملىقىنى ئاشۇرۇش ئارقىلىق ، Semicera نىڭ كرېمنىي نىترىد ساپال بويۇملىرى ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئىقتىدارىنى ئەلالاشتۇرۇشتا ھەل قىلغۇچ رول ئوينايدۇ.
Semicera نىڭ كرېمنىي نىترىد ساپال ساپال يولىنى تاللاش دېگىنىمىز ، ھەم يۇقىرى ئىقتىدار ۋە چىداملىق مەھسۇلاتقا مەبلەغ سېلىشنى كۆرسىتىدۇ. بىزنىڭ تارماق پروگراممىلىرىمىز ئىلغار ئېلېكترونلۇق قوللىنىشچان پروگراممىلارنىڭ ئېھتىياجىنى قاندۇرۇش ئۈچۈن لايىھەلەنگەن بولۇپ ، ئۈسكۈنىلىرىڭىزنىڭ ئالدىنقى قاتاردىكى ماتېرىيال تېخنىكىسى ۋە ئالاھىدە ئىشەنچلىك بولۇشىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ.
تۈرلەر | ئىشلەپچىقىرىش | تەتقىقات | Dummy |
خىرۇستال پارامېتىرلار | |||
Polytype | 4H | ||
Surface يۆنىلىش خاتالىقى | <11-20> 4 ± 0.15 ° | ||
ئېلېكتر پارامېتىرلىرى | |||
Dopant | n تىپلىق ئازوت | ||
قارشىلىق | 0.015-0.025ohm · cm | ||
مېخانىكىلىق پارامېتىرلار | |||
دىئامېتىرى | 150.0 ± 0.2mm | ||
قېلىنلىق | 350 ± 25 mm | ||
دەسلەپكى تەكشى يۆنىلىش | [1-100] ± 5 ° | ||
دەسلەپكى تەكشى ئۇزۇنلۇق | 47.5 ± 1.5mm | ||
ئىككىلەمچى تەكشى | ياق | ||
TTV | ≤5 mm | ≤10 mm | ≤15 mm |
LTV | ≤3 μm (5mm * 5mm) | ≤5 mm (5mm * 5mm) | ≤10 mm (5mm * 5mm) |
Bow | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
Warp | ≤35 μm | ≤45 mm | ≤55 mm |
ئالدى (Si-face) يىرىكلىكى (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm * 5μm) | ||
قۇرۇلمىسى | |||
مىكروپنىڭ زىچلىقى | <1 ea / cm2 | <10 ea / cm2 | <15 ea / cm2 |
مېتال بۇلغانمىلار | ≤5E10atoms / cm2 | NA | |
BPD | 001500 ea / cm2 | 0003000 ea / cm2 | NA |
TSD | 00500 ea / cm2 | 0001000 ea / cm2 | NA |
ئالدى سۈپەت | |||
ئالدى | Si | ||
Surface تامام | Si-face CMP | ||
Particles | ≤60ea / wafer (size≥0.3μm) | NA | |
سىزىلغان | ≤5ea / mm. جۇغلانما ئۇزۇنلۇقى ≤ دىئامېتىرى | جۇغلانما ئۇزۇنلۇقى≤2 * دىئامېتىرى | NA |
ئاپېلسىن پوستى / ئورەك / داغ / داغ / يېرىق / بۇلغىنىش | ياق | NA | |
قىرلىق ئۆزەك / كۆرسەتكۈچ / سۇنۇق / ئالتە تەرەپلىك تەخسە | ياق | ||
كۆپ قۇتۇپلۇق رايونلار | ياق | جۇغلانما رايونى% 20 | جۇغلانما رايونى% 30 |
ئالدى لازېر بەلگىسى | ياق | ||
ئارقا سۈپەت | |||
قايتىش | C-face CMP | ||
سىزىلغان | ≤5ea / mm ، جۇغلانما ئۇزۇنلۇقى ≤2 * دىئامېتىرى | NA | |
ئارقا كەمتۈكلۈك (قىرلىق ئۆزەك / كۆرسەتكۈچ) | ياق | ||
ئارقا قوپاللىق | Ra≤0.2nm (5μm * 5μm) | ||
ئارقا لازېر بەلگىسى | 1 مىللىمېتىر (ئۈستى قىردىن) | ||
Edge | |||
Edge | Chamfer | ||
ئورالما | |||
ئورالما | ۋاكۇئۇم ئورالمىسى بىلەن Epi تەييار كۆپ ۋافېرلىق قەغەز ئورالمىسى | ||
* ئىزاھات NA «NA» تەلەپ قىلىنمىغان تۈرلەرنىڭ SEMI-STD نى كۆرسىتىدۇ. |