Semicera نىڭ كرېمنىي فىلىمى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ كەسپىنىڭ قاتتىق تەلىپىگە ماسلىشىش ئۈچۈن لايىھەلەنگەن يۇقىرى سۈپەتلىك ، ئىنچىكە ئىنژېنېرلىق ماتېرىيال. ساپ كرېمنىيدىن ئىشلەنگەن بۇ نېپىز پەردە ئېرىتمىسى ئېسىل بىردەكلىك ، ساپلىق ۋە ئالاھىدە ئېلېكتر ۋە ئىسسىقلىق خۇسۇسىيىتى بىلەن تەمىنلەيدۇ. ئۇ Si Wafer ، SiC Substrate ، SOI Wafer ، SiN Substrate ۋە Epi-Wafer قاتارلىق ھەرخىل يېرىم ئۆتكۈزگۈچ قوللىنىشچان پروگراممىلاردا ئىشلىتىشكە ماس كېلىدۇ. Semicera نىڭ كرېمنىي فىلىمى ئىشەنچلىك ۋە ئىزچىل ئىقتىدارغا كاپالەتلىك قىلىپ ، ئۇنى ئىلغار مىكرو ئېلېكترون مەھسۇلاتلىرى ئۈچۈن كەم بولسا بولمايدىغان ماتېرىيالغا ئايلاندۇردى.
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشنىڭ ئەۋزەللىكى ۋە ئىقتىدارى
Semicera نىڭ كرېمنىي فىلىمى ئالاھىدە مېخانىكىلىق كۈچلۈكلىكى ، يۇقىرى ئىسسىقلىق مۇقىملىقى ۋە كەمتۈكلۈك نىسبىتى بىلەن داڭلىق ، بۇلارنىڭ ھەممىسى يۇقىرى ئىقتىدارلىق يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساشتا ئىنتايىن مۇھىم. مەيلى گاللىي ئوكسىد (Ga2O3) ئۈسكۈنىلىرى ، AlN Wafer ياكى Epi-Wafers ئىشلەپچىقىرىشتا ئىشلىتىلىشىدىن قەتئىينەزەر ، بۇ فىلىم نېپىز پەردە چۆكۈش ۋە يەر تەۋرەشنىڭ ئۆسۈشىنى كۈچلۈك ئاساس بىلەن تەمىنلەيدۇ. ئۇنىڭ SiC Substrate ۋە SOI Wafers غا ئوخشاش باشقا يېرىم ئۆتكۈزگۈچ تارماق زاپچاسلىرى بىلەن ماسلىشىشچانلىقى ھازىرقى ئىشلەپچىقىرىش جەريانىغا بىر گەۋدىلەشتۈرۈلۈپ ، يۇقىرى مەھسۇلات ۋە ئىزچىل مەھسۇلات سۈپىتىنى ساقلاشقا ياردەم بېرىدۇ.
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ كەسپىدىكى قوللىنىشچان پروگراممىلار
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ كەسپىدە ، Semicera نىڭ كرېمنىي فىلىمى Si Wafer ۋە SOI Wafer نىڭ ئىشلەپچىقىرىلىشىدىن تارتىپ ، SiN Substrate ۋە Epi-Wafer ئىجادىيىتى قاتارلىق تېخىمۇ كۆپ قوللىنىشچان پروگراممىلاردا ئىشلىتىلىدۇ. بۇ فىلىمنىڭ ساپلىقى ۋە ئېنىقلىقى مىكرو بىر تەرەپ قىلغۇچ ۋە توپلاشتۇرۇلغان توك يولىدىن تارتىپ ئېلېكتر ئۈسكۈنىلىرىگىچە بولغان ھەممە ئىشتا ئىشلىتىلىدىغان ئىلغار زاپچاسلارنى ئىشلەپچىقىرىشتا موھىم رول ئوينايدۇ.
كرېمنىي فىلىمى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ جەرياندا ئېپىتاكسىيىلىك ئۆسۈش ، ۋافېر باغلىنىشى ۋە نېپىز پەردە چۆكۈش قاتارلىق ھالقىلىق رول ئوينايدۇ. ئۇنىڭ ئىشەنچلىك خۇسۇسىيىتى ئالاھىدە كونترول قىلىنىدىغان مۇھىتقا ئېھتىياجلىق كەسىپلەر ئۈچۈن ئىنتايىن قىممەتلىك ، مەسىلەن يېرىم ئۆتكۈزگۈچ فابرىكىدىكى تازىلىق ئۆيى. بۇنىڭدىن باشقا ، كىرىمنىي فىلىمى ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدا ئۈنۈملۈك ۋافېر بىر تەرەپ قىلىش ۋە توشۇش ئۈچۈن كاسسات سىستېمىسىغا بىرلەشتۈرۈلسە بولىدۇ.
ئۇزۇن مۇددەتلىك ئىشەنچلىك ۋە ئىزچىللىق
Semicera نىڭ كرېمنىي فىلىمىنى ئىشلىتىشنىڭ مۇھىم پايدىسى ئۇنىڭ ئۇزۇن مۇددەتلىك ئىشەنچلىكلىكى. ئەلا چىدامچانلىقى ۋە ئىزچىل سۈپىتى بىلەن بۇ فىلىم يۇقىرى ھەجىملىك ئىشلەپچىقىرىش مۇھىتىنى ئىشەنچلىك ھەل قىلىش چارىسى بىلەن تەمىنلەيدۇ. مەيلى يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلەردە ياكى ئىلغار ئېلېكترونلۇق قوللىنىشچان پروگراممىلاردا ئىشلىتىلىشىدىن قەتئىينەزەر ، Semicera نىڭ كرېمنىي فىلىمى ئىشلەپچىقارغۇچىلارنىڭ كۆپ خىل مەھسۇلاتلاردا يۇقىرى ئىقتىدار ۋە ئىشەنچلىكلىكىنى قولغا كەلتۈرۈشىگە كاپالەتلىك قىلىدۇ.
نېمىشقا Semicera نىڭ كرېمنىي فىلىمىنى تاللايسىز؟
Semicera دىكى كرېمنىي فىلىمى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ كەسپىدىكى ئالدىنقى قاتاردىكى قوللىنىشچان ماتېرىيال. ئۇنىڭ يۇقىرى ئىقتىدارلىق خۇسۇسىيىتى ، جۈملىدىن ئېسىل ئىسسىقلىق مۇقىملىقى ، ساپلىقى ۋە مېخانىك كۈچى قاتارلىقلارنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ ، ئۇ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشتا ئەڭ يۇقىرى ئۆلچەمگە يەتمەكچى بولغان ئىشلەپچىقارغۇچىلارنىڭ كۆڭۈلدىكىدەك تاللىشىغا ئايلىنىدۇ. Si Wafer ۋە SiC Substrate دىن Gallium Oxide Ga2O3 ئۈسكۈنىلىرىنى ئىشلەپچىقىرىشقىچە ، بۇ فىلىم تەڭداشسىز سۈپەت ۋە ئىقتىدار بىلەن تەمىنلەيدۇ.
Semicera نىڭ كىرىمنىي فىلىمى ئارقىلىق ، زامانىۋى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش ئېھتىياجىنى قاندۇرىدىغان مەھسۇلاتقا ئىشەنچ قىلالايسىز ، كېيىنكى ئەۋلاد ئېلېكترون مەھسۇلاتلىرىنى ئىشەنچلىك ئاساس بىلەن تەمىنلىيەلەيسىز.
تۈرلەر | ئىشلەپچىقىرىش | تەتقىقات | Dummy |
خىرۇستال پارامېتىرلار | |||
Polytype | 4H | ||
Surface يۆنىلىش خاتالىقى | <11-20> 4 ± 0.15 ° | ||
ئېلېكتر پارامېتىرلىرى | |||
Dopant | n تىپلىق ئازوت | ||
قارشىلىق | 0.015-0.025ohm · cm | ||
مېخانىكىلىق پارامېتىرلار | |||
دىئامېتىرى | 150.0 ± 0.2mm | ||
قېلىنلىق | 350 ± 25 mm | ||
دەسلەپكى تەكشى يۆنىلىش | [1-100] ± 5 ° | ||
دەسلەپكى تەكشى ئۇزۇنلۇق | 47.5 ± 1.5mm | ||
ئىككىلەمچى تەكشى | ياق | ||
TTV | ≤5 mm | ≤10 mm | ≤15 mm |
LTV | ≤3 μm (5mm * 5mm) | ≤5 mm (5mm * 5mm) | ≤10 mm (5mm * 5mm) |
Bow | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
Warp | ≤35 μm | ≤45 mm | ≤55 mm |
ئالدى (Si-face) يىرىكلىكى (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm * 5μm) | ||
قۇرۇلمىسى | |||
مىكروپنىڭ زىچلىقى | <1 ea / cm2 | <10 ea / cm2 | <15 ea / cm2 |
مېتال بۇلغانمىلار | ≤5E10atoms / cm2 | NA | |
BPD | 001500 ea / cm2 | 0003000 ea / cm2 | NA |
TSD | 00500 ea / cm2 | 0001000 ea / cm2 | NA |
ئالدى سۈپەت | |||
ئالدى | Si | ||
Surface تامام | Si-face CMP | ||
Particles | ≤60ea / wafer (size≥0.3μm) | NA | |
سىزىلغان | ≤5ea / mm. جۇغلانما ئۇزۇنلۇقى ≤ دىئامېتىرى | جۇغلانما ئۇزۇنلۇقى≤2 * دىئامېتىرى | NA |
ئاپېلسىن پوستى / ئورەك / داغ / داغ / يېرىق / بۇلغىنىش | ياق | NA | |
قىرلىق ئۆزەك / كۆرسەتكۈچ / سۇنۇق / ئالتە تەرەپلىك تەخسە | ياق | ||
كۆپ قۇتۇپلۇق رايونلار | ياق | جۇغلانما رايونى% 20 | جۇغلانما رايونى% 30 |
ئالدى لازېر بەلگىسى | ياق | ||
ئارقا سۈپەت | |||
قايتىش | C-face CMP | ||
سىزىلغان | ≤5ea / mm ، جۇغلانما ئۇزۇنلۇقى ≤2 * دىئامېتىرى | NA | |
ئارقا كەمتۈكلۈك (قىرلىق ئۆزەك / كۆرسەتكۈچ) | ياق | ||
ئارقا قوپاللىق | Ra≤0.2nm (5μm * 5μm) | ||
ئارقا لازېر بەلگىسى | 1 مىللىمېتىر (ئۈستى قىردىن) | ||
Edge | |||
Edge | Chamfer | ||
ئورالما | |||
ئورالما | ۋاكۇئۇم ئورالمىسى بىلەن Epi تەييار كۆپ ۋافېرلىق قەغەز ئورالمىسى | ||
* ئىزاھات NA «NA» تەلەپ قىلىنمىغان تۈرلەرنىڭ SEMI-STD نى كۆرسىتىدۇ. |