كرېمنىي كاربون (SiC) يەككە خرۇستال ماتېرىيالنىڭ كەڭ بەلۋاغ كەڭلىكى (~ Si 3 قېتىم) ، يۇقىرى ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى (~ Si 3.3 قېتىم ياكى GaAs 10 قېتىم) ، ئېلېكتروننىڭ تويۇنۇش نىسبىتى يۇقىرى (~ Si 2.5 ھەسسە) ، يۇقىرى پارچىلىنىش ئېلېكتر مەيدان (~ Si 10 قېتىم ياكى GaAs 5 قېتىم) ۋە باشقا كۆرۈنەرلىك ئالاھىدىلىكلەر.
SiC ئۈسكۈنىلىرىنىڭ يۇقىرى تېمپېراتۇرا ، يۇقىرى بېسىم ، يۇقىرى چاستوتىلىق ، يۇقىرى قۇۋۋەتلىك ئېلېكترونلۇق ئۈسكۈنىلەر ۋە ئالەم قاتنىشى ، ھەربىي ، يادرو ئېنېرگىيىسى قاتارلىق ھەددىدىن زىيادە مۇھىت ئاسراش ساھەسىدە ئورنىنى تولدۇرغىلى بولمايدىغان ئەۋزەللىكى بار ، ئەنئەنىۋى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ماتېرىيال ئۈسكۈنىلىرىنىڭ كەمچىلىكىنى ئەمەلىي تولۇقلايدۇ. قوللىنىشچان پروگراممىلار ۋە بارا-بارا ئېلېكتر يېرىم ئۆتكۈزگۈچنىڭ ئاساسىي ئېقىمىغا ئايلىنىۋاتىدۇ.
4H-SiC كرېمنىي كاربون كاربوننىڭ ئاستى ئۆلچىمى
Item 项目 | ئۆلچىمى 参数 | |
Polytype | 4H -SiC | 6H- SiC |
دىئامېتىرى | 2 دىيۇم | 3 دىيۇم | 4 دىيۇم | 6inch | 2 دىيۇم | 3 دىيۇم | 4 دىيۇم | 6inch |
قېلىنلىق | 330 mm ~ 350 mm | 330 mm ~ 350 mm |
ئۆتكۈزۈشچانلىقى | N - تىپ / يېرىم ئىزولياتورلۇق | N - تىپ / يېرىم ئىزولياتورلۇق |
Dopant | N2 (ئازوت) V (Vanadium) | N2 (ئازوت) V (Vanadium) |
يۆنىلىش | ئوقتا <0001> | ئوقتا <0001> |
قارشىلىق | 0.015 ~ 0.03 ohm-cm | 0.02 ~ 0.1 ohm-cm |
Micropipe Density (MPD) | ≤10 / cm2 ~ ≤1 / cm2 | ≤10 / cm2 ~ ≤1 / cm2 |
TTV | ≤ 15 mm | ≤ 15 mm |
Bow / Warp | ≤25 mm | ≤25 mm |
Surface | DSP / SSP | DSP / SSP |
Grade | ئىشلەپچىقىرىش / تەتقىقات دەرىجىسى | ئىشلەپچىقىرىش / تەتقىقات دەرىجىسى |
خرۇستال تىزىش تەرتىپى | ABCB | ABCABC |
رېشاتكا پارامېتىرى | a = 3.076A, c = 10.053A | a = 3.073A, c = 15.117A |
Eg / eV (Band-gap) | 3.27 eV | 3.02 eV |
ε (Dielectric Constant) | 9.6 | 9.66 |
سۇندۇرۇش كۆرسەتكۈچى | n0 = 2.719 ne = 2.777 | n0 = 2.707, ne = 2.755 |
6H-SiC كرېمنىي كاربدنىڭ تارماق زاپچاس ئۆلچىمى
Item 项目 | ئۆلچىمى 参数 |
Polytype | 6H-SiC |
دىئامېتىرى | 4 دىيۇم | 6inch |
قېلىنلىق | 350μm ~ 450μm |
ئۆتكۈزۈشچانلىقى | N - تىپ / يېرىم ئىزولياتورلۇق |
Dopant | N2 (ئازوت) |
يۆنىلىش | <0001> 4 ° ± 0.5 ° |
قارشىلىق | 0.02 ~ 0.1 ohm-cm |
Micropipe Density (MPD) | ≤ 10 / cm2 |
TTV | ≤ 15 mm |
Bow / Warp | ≤25 mm |
Surface | سى يۈزى: CMP ، Epi-Ready |
Grade | تەتقىقات دەرىجىسى |