كىرىمنىي كاربون سۇبيېكتى | SiC Wafers

قىسقىچە چۈشەندۈرۈش:

Semicera ئېنېرگىيە تېخنىكا چەكلىك شىركىتى ۋافېر ۋە ئىلغار يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىستېمال بۇيۇملىرى بىلەن شۇغۇللىنىدىغان باشلامچى تەمىنلىگۈچى. بىز يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساش ، يورۇقلۇق ۋولت سانائىتى ۋە باشقا مۇناسىۋەتلىك ساھەلەرنى يۇقىرى سۈپەتلىك ، ئىشەنچلىك ۋە ئىجادچان مەھسۇلاتلار بىلەن تەمىنلەشكە بېغىشلىدۇق.

مەھسۇلات لىنىيىمىز SiC / TaC سىرلانغان گرافت مەھسۇلاتلىرى ۋە ساپال مەھسۇلاتلارنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ ، كرېمنىي كاربون ، كرېمنىي نىترىد ، ئاليۇمىن ئوكسىد قاتارلىق ھەر خىل ماتېرىياللارنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ.

ھازىر بىز% 99.9999 لىك SiC سىر ۋە% 99.9 قايتا ياسالغان كرېمنىي كاربون بىلەن تەمىنلەيدىغان بىردىنبىر ئىشلەپچىقارغۇچىمىز. ئەڭ چوڭ SiC سىرنىڭ ئۇزۇنلۇقى بىز 2640mm قىلالايمىز.

 

مەھسۇلات تەپسىلاتى

مەھسۇلات خەتكۈچلىرى

SiC-Wafer

كرېمنىي كاربون (SiC) يەككە خرۇستال ماتېرىيالنىڭ كەڭ بەلۋاغ كەڭلىكى (~ Si 3 قېتىم) ، يۇقىرى ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى (~ Si 3.3 قېتىم ياكى GaAs 10 قېتىم) ، ئېلېكتروننىڭ تويۇنۇش نىسبىتى يۇقىرى (~ Si 2.5 ھەسسە) ، يۇقىرى پارچىلىنىش ئېلېكتر مەيدان (~ Si 10 قېتىم ياكى GaAs 5 قېتىم) ۋە باشقا كۆرۈنەرلىك ئالاھىدىلىكلەر.

SiC ئۈسكۈنىلىرىنىڭ يۇقىرى تېمپېراتۇرا ، يۇقىرى بېسىم ، يۇقىرى چاستوتىلىق ، يۇقىرى قۇۋۋەتلىك ئېلېكترونلۇق ئۈسكۈنىلەر ۋە ئالەم قاتنىشى ، ھەربىي ، يادرو ئېنېرگىيىسى قاتارلىق ھەددىدىن زىيادە مۇھىت ئاسراش ساھەسىدە ئورنىنى تولدۇرغىلى بولمايدىغان ئەۋزەللىكى بار ، ئەنئەنىۋى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ماتېرىيال ئۈسكۈنىلىرىنىڭ كەمچىلىكىنى ئەمەلىي تولۇقلايدۇ. قوللىنىشچان پروگراممىلار ۋە بارا-بارا ئېلېكتر يېرىم ئۆتكۈزگۈچنىڭ ئاساسىي ئېقىمىغا ئايلىنىۋاتىدۇ.

4H-SiC كرېمنىي كاربون كاربوننىڭ ئاستى ئۆلچىمى

Item 项目

ئۆلچىمى 参数

Polytype
晶型

4H -SiC

6H- SiC

دىئامېتىرى
晶圆直径

2 دىيۇم | 3 دىيۇم | 4 دىيۇم | 6inch

2 دىيۇم | 3 دىيۇم | 4 دىيۇم | 6inch

قېلىنلىق
厚度

330 mm ~ 350 mm

330 mm ~ 350 mm

ئۆتكۈزۈشچانلىقى
导电类型

N - تىپ / يېرىم ئىزولياتورلۇق
N型导电片/ 半绝缘片

N - تىپ / يېرىم ئىزولياتورلۇق
N型导电片/ 半绝缘片

Dopant
掺杂剂

N2 (ئازوت) V (Vanadium)

N2 (ئازوت) V (Vanadium)

يۆنىلىش
晶向

ئوقتا <0001>
Off axis <0001> off 4 °

ئوقتا <0001>
Off axis <0001> off 4 °

قارشىلىق
电阻率

0.015 ~ 0.03 ohm-cm
(4H-N)

0.02 ~ 0.1 ohm-cm
(6H-N)

Micropipe Density (MPD)
微管密度

≤10 / cm2 ~ ≤1 / cm2

≤10 / cm2 ~ ≤1 / cm2

TTV
总厚度变化

≤ 15 mm

≤ 15 mm

Bow / Warp
翘曲度

≤25 mm

≤25 mm

Surface
表面处理

DSP / SSP

DSP / SSP

Grade
产品等级

ئىشلەپچىقىرىش / تەتقىقات دەرىجىسى

ئىشلەپچىقىرىش / تەتقىقات دەرىجىسى

خرۇستال تىزىش تەرتىپى
堆积方式

ABCB

ABCABC

رېشاتكا پارامېتىرى
晶格参数

a = 3.076A, c = 10.053A

a = 3.073A, c = 15.117A

Eg / eV (Band-gap)
禁带宽度

3.27 eV

3.02 eV

ε (Dielectric Constant)
介电常数

9.6

9.66

سۇندۇرۇش كۆرسەتكۈچى
折射率

n0 = 2.719 ne = 2.777

n0 = 2.707, ne = 2.755

6H-SiC كرېمنىي كاربدنىڭ تارماق زاپچاس ئۆلچىمى

Item 项目

ئۆلچىمى 参数

Polytype
晶型

6H-SiC

دىئامېتىرى
晶圆直径

4 دىيۇم | 6inch

قېلىنلىق
厚度

350μm ~ 450μm

ئۆتكۈزۈشچانلىقى
导电类型

N - تىپ / يېرىم ئىزولياتورلۇق
N型导电片/ 半绝缘片

Dopant
掺杂剂

N2 (ئازوت)
V (Vanadium)

يۆنىلىش
晶向

<0001> 4 ° ± 0.5 °

قارشىلىق
电阻率

0.02 ~ 0.1 ohm-cm
(6H-N تىپى)

Micropipe Density (MPD)
微管密度

≤ 10 / cm2

TTV
总厚度变化

≤ 15 mm

Bow / Warp
翘曲度

≤25 mm

Surface
表面处理

سى يۈزى: CMP ، Epi-Ready
C چىراي: ئوپتىكىلىق پولشا

Grade
产品等级

تەتقىقات دەرىجىسى

Semicera خىزمەت ئورنى Semicera خىزمەت ئورنى 2 ئۈسكۈنە CNN پىششىقلاپ ئىشلەش ، خىمىيىلىك تازىلاش ، CVD سىر مۇلازىمىتىمىز


  • ئالدىنقى:
  • كېيىنكى: