The SemiceraSiC Cantilever Wafer Paddleزامانىۋى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساش ئېھتىياجىنى قاندۇرۇش ئۈچۈن لايىھەلەنگەن. بۇwafer paddleئەلا مېخانىكىلىق كۈچ ۋە ئىسسىقلىق قارشىلىقى بىلەن تەمىنلەيدۇ ، بۇ يۇقىرى تېمپېراتۇرا مۇھىتىدا ۋافېرنى بىر تەرەپ قىلىشتا ئىنتايىن مۇھىم.
SiC مۈشۈكئېيىق لايىھىسى ئېنىق ۋافېر ئورۇنلاشتۇرۇشنى يولغا قويۇپ ، بىر تەرەپ قىلىش جەريانىدا بۇزۇلۇش خەۋپىنى تۆۋەنلىتىدۇ. ئۇنىڭ يۇقىرى ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى پەۋقۇلئاددە شارائىتتىمۇ ۋافېرنىڭ تۇراقلىق بولۇشىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ ، بۇ ئىشلەپچىقىرىش ئۈنۈمىنى ساقلاشتا ئىنتايىن مۇھىم.
Semicera نىڭ قۇرۇلما ئەۋزەللىكىدىن باشقاSiC Cantilever Wafer Paddleئېغىرلىق ۋە چىداملىق بولۇشتەك ئەۋزەللىكلەرنىمۇ تەمىنلەيدۇ. يىنىك قۇرۇلۇش ھازىرقى سىستېمىلارنى بىر تەرەپ قىلىش ۋە بىرلەشتۈرۈشنى ئاسانلاشتۇرىدۇ ، يۇقىرى زىچلىقتىكى SiC ماتېرىيالى تەلەپچان شارائىتتا ئۇزۇن مۇددەتلىك چىدامچانلىققا كاپالەتلىك قىلىدۇ.
| قايتا ياسالغان كرېمنىي كاربدنىڭ فىزىكىلىق خۇسۇسىيىتى | |
| مۈلۈك | تىپىك قىممەت |
| خىزمەت تېمپېراتۇرىسى (° C) | 1600 ° C (ئوكسىگېن بىلەن) ، 1700 ° C (مۇھىتنى ئازايتىش) |
| SiC مەزمۇنى | > 99.96% |
| ھەقسىز Si مەزمۇنى | <0.1% |
| توپ زىچلىقى | 2.60-2.70 g / cm3 |
| قارىماققا جاراڭلىق | <16% |
| پىرىسلاش كۈچى | > 600 MPa |
| سوغۇق ئېگىلىش كۈچى | 80-90 MPa (20 ° C) |
| قىزىق ئېگىلىش كۈچى | 90-100 MPa (1400 ° C) |
| ئىسسىقلىق كېڭىيىشى @ 1500 ° C. | 4.70 10-6/ ° C. |
| ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى @ 1200 ° C. | 23 W / m • K. |
| ئېلاستىك مودۇل | 240 GPa |
| ئىسسىقلىق زەربىسىگە چىداملىق | بەك ياخشى |
