قاتتىق SiC فوكۇس ھالقىسى

Semicera دىن كەلگەن Solid SiC فوكۇس ھالقىسى ئىلغار يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساش ئېھتىياجىنى قاندۇرۇش ئۈچۈن لايىھەلەنگەن ئالدىنقى قاتاردىكى زاپچاس. يۇقىرى ساپلىقتىن ياسالغانكىرىمنىي كاربون (SiC)، بۇ فوكۇس ھالقىسى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ كەسپىدىكى كەڭ قوللىنىشچان پروگراممىلارغا ماس كېلىدۇ ، بولۇپمۇCVD SiC جەريانلىرى, plasma etching, andICPRIE (ئىندۇكسىيە قوشۇلغان پلازما رېئاكتىپ Ion Etching). ئالاھىدە ئۇپراشقا چىدامچانلىقى ، يۇقىرى ئىسسىقلىق مۇقىملىقى ۋە ساپلىقى بىلەن داڭلىق ، ئۇ يۇقىرى بېسىملىق مۇھىتتا ئۇزۇن مۇددەت ئۈنۈمگە كاپالەتلىك قىلىدۇ.

يېرىم ئۆتكۈزگۈچتەwaferپىششىقلاپ ئىشلەش ، قاتتىق SiC فوكۇس ھالقىسى قۇرۇق قىرىش ۋە ۋافېر قىرىش پروگراممىلىرىدا ئېنىق قىرىشنى ساقلاشتا ئىنتايىن مۇھىم. SiC فوكۇس ھالقىسى پلازما كېسىش ماشىنىسى مەشغۇلاتى قاتارلىق جەريانلاردا پلازماسنى فوكۇس توغرىلاشقا ياردەم بېرىدۇ ، ئۇ كرېمنىيلىق ۋافېرنى قىرىشتا كەم بولسا بولمايدۇ. قاتتىق SiC ماتېرىيالى پارچىلىنىشقا تەڭداشسىز قارشىلىق بىلەن تەمىنلەيدۇ ، ئۈسكۈنىلىرىڭىزنىڭ ئۇزۇن ئۆمۈر كۆرۈشىگە كاپالەتلىك قىلىدۇ ھەمدە چۈشۈش ۋاقتىنى ئەڭ تۆۋەن چەككە چۈشۈرىدۇ ، بۇ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ توقۇلمىلارنىڭ يۇقىرى ئېقىمىنى ساقلاشتا ئىنتايىن مۇھىم.

Semicera دىن كەلگەن قاتتىق SiC فوكۇس ھالقىسى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ كەسپىدە كۆپ ئۇچرايدىغان پەۋقۇلئاددە تېمپېراتۇرا ۋە تاجاۋۇزچى خىمىيىلىك ماددىلارغا تاقابىل تۇرۇش ئۈچۈن ياسالغان. ئۇ يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى ۋەزىپىلەردە ئىشلىتىش ئۈچۈن ئالاھىدە ياسالغانCVD SiC سىرلىرى، بۇ يەردە ساپلىق ۋە چىداملىق ھەممىدىن مۇھىم. ئىسسىقلىق سوقۇشىغا قارشى تۇرۇش ئىقتىدارى ناھايىتى ياخشى بولغان بۇ مەھسۇلات ئەڭ ناچار شارائىتتا ئىزچىل ۋە مۇقىم ئىقتىدارغا كاپالەتلىك قىلىدۇ ، جۈملىدىن يۇقىرى تېمپېراتۇرىنىڭ تەسىرىگە ئۇچرايدۇ.waferetching جەريانلىرى.