Semicera دىكى Solid SiC فوكۇس ھالقىسى ئىلغار يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساشنىڭ ئېھتىياجىنى قاندۇرۇش ئۈچۈن لايىھەلەنگەن ئالدىنقى قاتاردىكى زاپچاس. يۇقىرى ساپلىقتىن ياسالغانكىرىمنىي كاربون (SiC)، بۇ فوكۇس ھالقىسى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ كەسپىدىكى كەڭ قوللىنىشچان پروگراممىلارغا ماس كېلىدۇ ، بولۇپمۇCVD SiC جەريانلىرى, plasma etching, andICPRIE (ئىندۇكسىيە قوشۇلغان پلازما رېئاكتىپ Ion Etching). ئالاھىدە ئۇپراشقا چىدامچانلىقى ، يۇقىرى ئىسسىقلىق مۇقىملىقى ۋە ساپلىقى بىلەن داڭلىق ، ئۇ يۇقىرى بېسىملىق مۇھىتتا ئۇزۇن مۇددەت ئۈنۈمگە كاپالەتلىك قىلىدۇ.
يېرىم ئۆتكۈزگۈچتەwaferپىششىقلاپ ئىشلەش ، قاتتىق SiC فوكۇس ھالقىسى قۇرۇق قىرىش ۋە ۋافېر قىرىش پروگراممىلىرىدا ئېنىق قىرىشنى ساقلاشتا ئىنتايىن مۇھىم. SiC فوكۇس ھالقىسى پلازما كېسىش ماشىنىسى مەشغۇلاتى قاتارلىق جەريانلاردا پلازماسنى فوكۇس توغرىلاشقا ياردەم بېرىدۇ ، ئۇ كرېمنىيلىق ۋافېرنى قىرىشتا كەم بولسا بولمايدۇ. قاتتىق SiC ماتېرىيالى پارچىلىنىشقا تەڭداشسىز قارشىلىق بىلەن تەمىنلەيدۇ ، ئۈسكۈنىلىرىڭىزنىڭ ئۇزۇن ئۆمۈر كۆرۈشىگە كاپالەتلىك قىلىدۇ ھەمدە چۈشۈش ۋاقتىنى ئەڭ تۆۋەن چەككە چۈشۈرىدۇ ، بۇ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ توقۇلمىلارنىڭ يۇقىرى ئېقىمىنى ساقلاشتا ئىنتايىن مۇھىم.
Semicera دىن كەلگەن قاتتىق SiC فوكۇس ھالقىسى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ كەسپىدە كۆپ ئۇچرايدىغان پەۋقۇلئاددە تېمپېراتۇرا ۋە تاجاۋۇزچى خىمىيىلىك ماددىلارغا تاقابىل تۇرۇش ئۈچۈن ياسالغان. ئۇ يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى ۋەزىپىلەردە ئىشلىتىش ئۈچۈن ئالاھىدە ياسالغانCVD SiC سىرلىرى، بۇ يەردە ساپلىق ۋە چىداملىق ھەممىدىن مۇھىم. ئىسسىقلىق سوقۇشىغا قارشى تۇرۇش ئىقتىدارى ناھايىتى ياخشى بولغان بۇ مەھسۇلات ئەڭ ناچار شارائىتتا ئىزچىل ۋە مۇقىم ئىقتىدارغا كاپالەتلىك قىلىدۇ ، جۈملىدىن يۇقىرى تېمپېراتۇرىنىڭ تەسىرىگە ئۇچرايدۇ.waferetching جەريانلىرى.
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ قوللىنىشچان پروگراممىلاردا ئېنىقلىق ۋە ئىشەنچلىك بولۇش ئاچقۇچ بولغان قاتتىق دېتال SiC فوكۇس ھالقىسى قىرىش جەريانىنىڭ ئومۇمىي ئۈنۈمىنى ئاشۇرۇشتا تۈرتكىلىك رول ئوينايدۇ. ئۇنىڭ پۇختا ، يۇقىرى ئىقتىدارلىق لايىھىلىنىشى ئۇنى پەۋقۇلئاددە شارائىتتا ئىجرا قىلىدىغان يۇقىرى ساپلىق زاپچاسلىرىنى تەلەپ قىلىدىغان كەسىپلەرنىڭ ئەڭ ياخشى تاللىشىغا ئايلاندۇردى. ئىشلىتىلگەنمۇCVD SiC ئۈزۈكقوللىنىشچان پروگراممىلار ياكى پلازما كېسىش جەريانىنىڭ بىر قىسمى سۈپىتىدە ، Semicera نىڭ قاتتىق SiC فوكۇس ھالقىسى ئۈسكۈنىلىرىڭىزنىڭ ئىقتىدارىنى ئەلالاشتۇرۇشقا ياردەم بېرىدۇ ، سىزنىڭ ئىشلەپچىقىرىش جەريانىڭىزغا بولغان ئۇزۇن ئۆمۈر ۋە ئىشەنچلىكلىكىنى تەمىنلەيدۇ.
ئاساسلىق ئالاھىدىلىكى:
• ئۇپراشقا چىداملىق ۋە يۇقىرى ئىسسىقلىق مۇقىملىقى
• ئۇزۇن ئۆمۈر كۆرۈش ئۈچۈن يۇقىرى ساپلىقتىكى قاتتىق SiC ماتېرىيالى
• پلازما قېتىش ، ICP RIE ۋە قۇرۇق قىرىش پروگراممىلىرىغا ماس كېلىدۇ
• ۋافېر كېسىشكە ماس كېلىدۇ ، بولۇپمۇ CVD SiC جەريانلىرىدا
• ئىنتايىن ناچار مۇھىت ۋە يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا ئىشەنچلىك ئىقتىدار
• كرېمنىيلىق ۋافېرنى ئېتىشنىڭ ئېنىقلىقى ۋە ئۈنۈمىگە كاپالەتلىك قىلىدۇ
قوللىنىشچان پروگراممىلار:
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساشتىكى CVD SiC جەريانلىرى
• پلازما يېيىش ۋە ICP RIE سىستېمىسى
• قۇرۇتۇش ۋە ۋافېر يېيىش جەريانى
• پلازما قېتىش ماشىنىسىدا قىچىشىش ۋە چۆكۈش
• ۋافېر ھالقىسى ۋە CVD SiC ھالقىسىنىڭ ئېنىق زاپچاسلىرى
CVD SiC يۈزىنىڭ مىكروسكوپ مورفولوگىيىسى
CVD SiC كېسىشمىسىنىڭ مىكروسكوپ مورفولوگىيىسى
