CVD توپ كرېمنىي كاربون (SiC)
ئومۇمىي چۈشەنچە:CVDكۆپ مىقداردىكى كرېمنىي كاربون (SiC)پلازما قېتىش ئۈسكۈنىسى ، تېز ئىسسىقلىق بىر تەرەپ قىلىش (RTP) قوللىنىشچان پروگراممىلىرى ۋە باشقا يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدىكى كىشىلەر ئەڭ ياقتۇرىدىغان ماتېرىيال. ئۇنىڭ ئالاھىدە مېخانىك ، خىمىيىلىك ۋە ئىسسىقلىق خۇسۇسىيىتى ئۇنى يۇقىرى ئېنىقلىق ۋە چىداملىق تەلەپ قىلىدىغان ئىلغار تېخنىكا قوللىنىشلىرى ئۈچۈن كۆڭۈلدىكىدەك ماتېرىيالغا ئايلاندۇرىدۇ.
CVD Bulk SiC نىڭ قوللىنىشچان پروگراممىلىرى:كۆپ مىقداردىكى SiC يېرىم ئۆتكۈزگۈچ كەسپىدە ئىنتايىن مۇھىم ، بولۇپمۇ پلازما ئېتىش سىستېمىسىدا ، فوكۇس ھالقىسى ، گاز مۇنچا ، گىرۋەك ھالقىسى ۋە تەخسە قاتارلىق زاپچاسلار SiC نىڭ كۆرۈنەرلىك چىرىتىشكە قارشى تۇرۇش كۈچى ۋە ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقىدىن مەنپەئەتلىنىدۇ. ئۇنىڭ ئىشلىتىلىشى كېڭەيدىRTPSiC نىڭ كۆرۈنەرلىك تۆۋەنلەش بولماي تۇرۇپ تېز تېمپېراتۇرىنىڭ داۋالغۇشىغا تاقابىل تۇرۇش ئىقتىدارى سەۋەبىدىن.
قىستۇرما ئۈسكۈنىلەردىن باشقا ، CVDتوپ SiCتارقىلىشچان ئوچاق ۋە خرۇستال ئۆسۈش جەريانىدا ياخشى كۆرىلىدۇ ، بۇ يەردە يۇقىرى ئىسسىقلىق مۇقىملىقى ۋە ناچار خىمىيىلىك مۇھىتقا قارشى تۇرۇش تەلەپ قىلىنىدۇ. بۇ خۇسۇسىيەتلەر SiC نى يۇقىرى تېمپېراتۇرا ۋە چىرىتكۈچى گازغا ئوخشاش يۇقىرى تەلەپتىكى قوللىنىشچان پروگراممىلارنىڭ تاللاش ماتېرىيالىغا ئايلاندۇرىدۇ ، مەسىلەن خلور ۋە فتور بار.
CVD Bulk SiC زاپچاسلىرىنىڭ ئەۋزەللىكى:
•يۇقىرى زىچلىق:زىچلىقى 3.2 g / cm³ ،CVD توپ SiCزاپچاسلار ئۇپراش ۋە مېخانىك تەسىرگە چىداملىق.
•دەرىجىدىن تاشقىرى ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى:300 W / m · K ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى بىلەن تەمىنلەپ ، كۆپ مىقداردىكى SiC ئىسسىقلىقنى ئۈنۈملۈك باشقۇرىدۇ ، بۇ ئىنتايىن ئىسسىقلىق دەۋرىيلىكىنىڭ تەسىرىگە ئۇچرىغان زاپچاسلارغا ماس كېلىدۇ.
•ئالاھىدە خىمىيىلىك قارشىلىق:SiC نىڭ خلور ۋە فتورنى ئاساس قىلغان خىمىيىلىك ماددىلارنى ئۆز ئىچىگە ئالغان يېپىشقاق گازى بىلەن تۆۋەن ئاكتىپچانلىقى تەركىبلەرنىڭ ئۇزۇن ئۆمۈر كۆرۈشىگە كاپالەتلىك قىلىدۇ.
•تەڭشىگىلى بولىدىغان قارشىلىق كۈچى: CVD توپ SiC نىڭقارشىلىق كۈچى 10⁻² - 10⁴ cm cm ئارىلىقىدا خاسلاشتۇرۇلۇپ ، ئۇنى ئالاھىدە ئېتىش ۋە يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش ئېھتىياجىغا ماسلاشتۇرغىلى بولىدۇ.
•ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى:ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى 4.8 x 10⁻⁶ / ° C (25-1000 سېلسىيە گرادۇس) ، CVD توپ SiC ئىسسىقلىق زەربىسىگە قارشى تۇرىدۇ ، ھەتتا تېز قىزىتىش ۋە سوۋۇتۇش دەۋرىدىمۇ ئۆلچەملىك مۇقىملىقنى ساقلايدۇ.
•پلازمادىكى چىدامچانلىقى:يېرىم ئۆتكۈزگۈچ جەرياندا پلازما ۋە رېئاكتىپ گازلارنىڭ تەسىرى مۇقەررەر ، ئەمماCVD توپ SiCچىرىش ۋە بۇزۇلۇشقا قارشى تۇرۇش ئىقتىدارى بىلەن تەمىنلەيدۇ ، ئالماشتۇرۇش چاستوتىسى ۋە ئومۇمىي ئاسراش تەننەرخىنى تۆۋەنلىتىدۇ.
تېخنىكىلىق ئۆلچىمى:
•دىئامېتىرى:305 مىللىمېتىردىن چوڭ
•قارشىلىق كۈچى:10⁻² - 10⁴ cm cm ئارىلىقىدا تەڭشىگىلى بولىدۇ
•زىچلىقى:3.2 g / cm³
•ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى:300 W / m · K.
•ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى:4.8 x 10⁻⁶ / ° C (25-1000 ° C)
خاسلاشتۇرۇش ۋە جانلىقلىق:Atيېرىم ئۆتكۈزگۈچ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ، بىز ھەر يېرىم ئۆتكۈزگۈچ قوللىنىشچان پروگراممىنىڭ ئوخشىمىغان ئۆلچەملەرنى تەلەپ قىلىدىغانلىقىنى چۈشىنىمىز. شۇڭلاشقا بىزنىڭ CVD توپ SiC زاپچاسلىرىمىزنى تولۇق خاسلاشتۇرغىلى بولىدىغان بولۇپ ، تەڭشىلىشچانلىقى ۋە تەڭشىلىشچانلىقى ئۈسكۈنىلىرىڭىزنىڭ ئېھتىياجىغا ماس كېلىدۇ. مەيلى پلازما يېيىش سىستېمىڭىزنى ئەلالاشتۇرۇڭ ياكى RTP ياكى تارقىلىش جەريانىدا چىداملىق زاپچاسلارنى ئىزدەڭ ، بىزنىڭ CVD توپ SiC تەڭداشسىز ئىقتىدار بىلەن تەمىنلەيدۇ.
