Semiceraتەمىنلىگەنلىكىدىن خۇشالPFA Cassetteخىمىيىلىك قارشىلىق ۋە چىداملىق ھەممىدىن مۇھىم بولغان مۇھىتتا ۋافېر بىر تەرەپ قىلىشتىكى ئالىي تاللاش. يۇقىرى ساپلىقتىكى Perfluoroalkoxy (PFA) ماتېرىيالىدىن ياسالغان بۇ قەغەز يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساشتىكى ئەڭ تەلەپچان شارائىتقا تاقابىل تۇرۇش ئۈچۈن لايىھەلەنگەن بولۇپ ، ۋافېرلىرىڭىزنىڭ بىخەتەرلىكى ۋە مۇكەممەللىكىگە كاپالەتلىك قىلىدۇ.
تەڭداشسىز خىمىيىلىك قارشىلىقThePFA Cassetteئۇ كۆپ خىل خىمىيىلىك ماددىلارغا تېخىمۇ يۇقىرى قارشىلىق بىلەن تەمىنلەش ئۈچۈن ياسالغان بولۇپ ، تاجاۋۇزچىلىق كىسلاتاسى ، ئېرىتكۈچى ۋە باشقا قاتتىق خىمىيىلىك ماددىلارنى ئۆز ئىچىگە ئالغان جەريانلارنىڭ ئەڭ ياخشى تاللىشى ھېسابلىنىدۇ. بۇ كۈچلۈك خىمىيىلىك قارشىلىق ئەڭ ناچار مۇھىتتىمۇ كاساتنىڭ مۇكەممەل ۋە ئىقتىدارلىق بولۇشىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ ، بۇ ئارقىلىق ئۇنىڭ ئۆمرى ئۇزارتىلىدۇ ۋە دائىم ئالماشتۇرۇش ئېھتىياجى تۆۋەنلەيدۇ.
يۇقىرى ساپلىق قۇرۇلۇشىSemicera'sPFA Cassetteدەرىجىدىن تاشقىرى ساپ PFA ماتېرىيالىدىن ئىشلەنگەن بولۇپ ، ۋافېر پىششىقلاپ ئىشلەش جەريانىدا بۇلغىنىشنىڭ ئالدىنى ئېلىشتا ئىنتايىن مۇھىم. بۇ يۇقىرى ساپلىقتىكى قۇرۇلۇش زەررىچە ھاسىل قىلىش ۋە خىمىيىلىك ماددىلارنىڭ ئېقىپ كېتىش خەۋپىنى ئەڭ تۆۋەن چەككە چۈشۈرۈپ ، ۋافېرلىرىڭىزنىڭ سۈپىتىگە زىيان يەتكۈزىدىغان بۇلغانمىلاردىن ساقلىنىشىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ.
چىدامچانلىقى ۋە ئىقتىدارى كۈچەيتىلگەنچىدامچانلىقى ئۈچۈن لايىھەلەنگەنPFA Cassetteپەۋقۇلئاددە تېمپېراتۇرا ۋە قاتتىق پىششىقلاپ ئىشلەش شارائىتىدا قۇرۇلما پۈتۈنلۈكىنى ساقلايدۇ. مەيلى يۇقىرى تېمپېراتۇرىنىڭ تەسىرىگە ئۇچرىغان ياكى قايتا-قايتا بىر تەرەپ قىلىنسۇن ، بۇ كاسسات شەكلى ۋە ئىقتىدارىنى ساقلاپ ، تەلەپچان ئىشلەپچىقىرىش مۇھىتىدا ئۇزۇن مۇددەتلىك ئىشەنچلىكلىك بىلەن تەمىنلەيدۇ.
بىخەتەر بىر تەرەپ قىلىش ئۈچۈن ئىنچىكە قۇرۇلۇشTheSemicera PFA Cassetteبىخەتەر ۋە مۇقىم ۋافېر بىر تەرەپ قىلىشقا كاپالەتلىك قىلىدىغان ئېنىق قۇرۇلۇش ئىقتىدارلىرى. ھەر بىر ئورۇن ئېھتىياتچانلىق بىلەن لايىھەلەنگەن بولۇپ ، ۋافېرنى بىخەتەر جايىدا ساقلاپ ، زىيان كەلتۈرۈپ چىقىرىدىغان ھەر قانداق ھەرىكەت ياكى يۆتكىلىشنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ. بۇ ئىنچىكە قۇرۇلۇش ئىزچىل ۋە توغرا بولغان ۋافېر ئورۇنلاشتۇرۇشنى قوللايدۇ ، ئومۇمىي جەريان ئۈنۈمىگە تۆھپە قوشىدۇ.
كۆپ خىل قوللىنىشچان پروگراممىلارئۇنىڭ ئەۋزەل ماتېرىيال خۇسۇسىيىتىگە رەھمەتPFA Cassetteيېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساشنىڭ ھەر قايسى باسقۇچلىرىدا ئىشلىتىشكە يېتەرلىك. ئۇ ھۆل يېقىش ، خىمىيىلىك ھور چۆكۈش (CVD) ۋە قاتتىق خىمىيىلىك مۇھىتقا چېتىشلىق باشقا جەريانلارغا ئالاھىدە ماس كېلىدۇ. ئۇنىڭ ماسلىشىشچانلىقى ئۇنى جەرياننىڭ مۇكەممەللىكى ۋە تېخىمۇ سۈپەتلىك سۈپىتىنى ساقلاشتىكى موھىم قورالغا ئايلاندۇرىدۇ.
سۈپەت ۋە يېڭىلىق يارىتىش ۋەدىسىSemicera دا ، بىز ئەڭ يۇقىرى كەسىپ ئۆلچىمىگە ماس كېلىدىغان مەھسۇلات بىلەن تەمىنلەشكە ۋەدە بېرىمىز. ThePFA Cassetteبۇ ۋەدىڭىزنى مىسال قىلىپ ، سىزنىڭ ئىشلەپچىقىرىش جەريانىڭىزغا مۇكەممەل بىرلەشتۈرۈلگەن ئىشەنچلىك ھەل قىلىش چارىسى بىلەن تەمىنلەيدۇ. ھەر بىر قەغەز قاتتىق سۈپەت كونتروللۇقىدىن ئۆتۈپ ، بىزنىڭ قاتتىق ئىقتىدار ئۆلچىمىمىزگە يېتىشىگە كاپالەتلىك قىلىدۇ ، Semicera دىن كۈتكەن ئەۋزەللىكىڭىزنى يەتكۈزىدۇ.
| تۈرلەر | ئىشلەپچىقىرىش | تەتقىقات | Dummy |
| خىرۇستال پارامېتىرلار | |||
| Polytype | 4H | ||
| Surface يۆنىلىش خاتالىقى | <11-20> 4 ± 0.15 ° | ||
| ئېلېكتر پارامېتىرلىرى | |||
| Dopant | n تىپلىق ئازوت | ||
| قارشىلىق | 0.015-0.025ohm · cm | ||
| مېخانىكىلىق پارامېتىرلار | |||
| دىئامېتىرى | 150.0 ± 0.2mm | ||
| قېلىنلىق | 350 ± 25 mm | ||
| دەسلەپكى تەكشى يۆنىلىش | [1-100] ± 5 ° | ||
| دەسلەپكى تەكشى ئۇزۇنلۇق | 47.5 ± 1.5mm | ||
| ئىككىلەمچى تەكشى | ياق | ||
| TTV | ≤5 mm | ≤10 mm | ≤15 mm |
| LTV | ≤3 μm (5mm * 5mm) | ≤5 mm (5mm * 5mm) | ≤10 mm (5mm * 5mm) |
| Bow | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 mm | ≤55 mm |
| ئالدى (Si-face) يىرىكلىكى (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm * 5μm) | ||
| قۇرۇلمىسى | |||
| مىكروپنىڭ زىچلىقى | <1 ea / cm2 | <10 ea / cm2 | <15 ea / cm2 |
| مېتال بۇلغانمىلار | ≤5E10atoms / cm2 | NA | |
| BPD | 001500 ea / cm2 | 0003000 ea / cm2 | NA |
| TSD | 00500 ea / cm2 | 0001000 ea / cm2 | NA |
| ئالدى سۈپەت | |||
| ئالدى | Si | ||
| Surface تامام | Si-face CMP | ||
| Particles | ≤60ea / wafer (size≥0.3μm) | NA | |
| سىزىلغان | ≤5ea / mm. جۇغلانما ئۇزۇنلۇقى ≤ دىئامېتىرى | جۇغلانما ئۇزۇنلۇقى≤2 * دىئامېتىرى | NA |
| ئاپېلسىن پوستى / ئورەك / داغ / داغ / يېرىق / بۇلغىنىش | ياق | NA | |
| قىرلىق ئۆزەك / كۆرسەتكۈچ / سۇنۇق / ئالتە تەرەپلىك تەخسە | ياق | ||
| كۆپ قۇتۇپلۇق رايونلار | ياق | جۇغلانما رايونى% 20 | جۇغلانما رايونى% 30 |
| ئالدى لازېر بەلگىسى | ياق | ||
| ئارقا سۈپەت | |||
| قايتىش | C-face CMP | ||
| سىزىلغان | ≤5ea / mm ، جۇغلانما ئۇزۇنلۇقى ≤2 * دىئامېتىرى | NA | |
| ئارقا كەمتۈكلۈك (قىرلىق ئۆزەك / كۆرسەتكۈچ) | ياق | ||
| ئارقا قوپاللىق | Ra≤0.2nm (5μm * 5μm) | ||
| ئارقا لازېر بەلگىسى | 1 مىللىمېتىر (ئۈستى قىردىن) | ||
| Edge | |||
| Edge | Chamfer | ||
| ئورالما | |||
| ئورالما | ۋاكۇئۇم ئورالمىسى بىلەن Epi تەييار كۆپ ۋافېرلىق قەغەز ئورالمىسى | ||
| * ئىزاھات NA «NA» تەلەپ قىلىنمىغان تۈرلەرنىڭ SEMI-STD نى كۆرسىتىدۇ. | |||
