English

PECVD توشۇغۇچى

ۋافېر توشۇغۇچىنى تونۇشتۇرۇش

wafer توشۇغۇچى
wafer توشۇغۇچى
wafer توشۇغۇچى

PRODUCT CATAGORY

▶PECVD & TALOX جەريان ئۈچۈن Wafer توشۇغۇچى سىستېمىسى
• PECVD & TALOX گرافىك كېمىسى (M4 ~ M12)
• تىك SM- كېمە (M4, M6)
• كۆچۈرۈش ۋە يۇيۇش گرافىك قىسمى (M4 ~ M6)
• C / C تەخسە ۋە ساپال بويۇم
• مېتال RIE- تەخسە ۋە ساپال سىر
ۋاكۇئۇم پېچەتلەش: O ھالقا ۋە SQ ھالقىسى
 
▶تېكىست ۋە ھۆل تەمرەتكە يۆتكەش جەريانى
• LSC H- توشۇغۇچى ياكى قەغەز (M4 ~ M12)
• LSC V- توشۇغۇچى ياكى قەغەز (M4 ~ M12)
• ASC توشۇغۇچى ياكى قەغەز (M4, M6)
• W / F توشۇغۇچى ۋە ساقلاش ساندۇقى (M4 ~ M12)
• قاتناش چاقى (رول) يۈرۈشلۈكى
 
▶قۇياش ھۈجەيرىسى توشۇغۇچى ۋە مېتال توشۇغۇچى
• TRC توشۇغۇچى ياكى قەغەز (M4 ~ M12)
• ژۇرنال (BELT بىلەن)
GRAPHITE BOAT (H-Type) 19P6-216CT (WF M4 ~ M12)

GRAPHITE BOAT (H-Type)

19P6-216CT (WF M4 ~ M12)

GRAPHITE BOAT (H-Type) 21P6-240CT WF M4 ~ M12)

GRAPHITE BOAT (H-Type)

21P6-240CT WF M4 ~ M12)

GRAPHITE BOAT (H-Type) 23P7-308CT (W / F M4 ~ M12)

GRAPHITE BOAT (H-Type)

23P7-308CT (W / F M4 ~ M12)

GRAPHITE BOAT (H-Type) 22P / 7-294TP (W / F M4 ~ M12)

GRAPHITE BOAT (H-Type)

22P / 7-294TP (W / F M4 ~ M12)

GRAPHITE BOAT (H-1ype)

GRAPHITE BOAT (H-Type)

W182-22P7-294CT (W / F M12)

W182-21P6-240CT (W / F M12)

WF CARRIER & STORAGE BOX (~ M12) (1)

WF CARRIER & STORAGE BOX (~ M12)

第 12 页 -106

C / C TRAY ياكى CARRIER (M4 ~ M10)

VERTICAL BOAT (LP2) M6

C / C TRAY ياكى CARRIER (M4 ~ M10)

VERTICAL BOAT (SM) M6

VERTICAL BOAT (SM) M6

LSC-H-CARRIER (~ M12)

LSC-H-CARRIER (~ M12)

LSC-V-CARRIER (~ M12)

LSC-V-CARRIER (~ M12)

LSC-V-CARRIER (~ M12)

ASC CARRIER (~ M6)

TRC CARRIER (~ M12)

TRC CARRIER (~ M12)

TRC CARRIER (~ M12)

TRC CARRIER (~ M12)

GRAPHITE-BOAT (M12)

GRAPHITE-BOAT (M12)

PECVD بىر تەرەپ قىلىش ئۈچۈن Wafer توشۇغۇچى سىستېمىسى

Wafer توشۇغۇچى سىستېمىسى
Wafer توشۇغۇچى سىستېمىسى
Wafer توشۇغۇچى سىستېمىسى
▶ GRAPHITE BOAT (CT- لايىھەلەنگەن) M10 / M12 جەريان
• ئالاھىدە كۆز قاراش
▶ GRAPHITE BOAT (CT- لايىھەلەنگەن) M4 / M6 جەريان
BOAT قوشۇمچە زاپچاسلىرى

▶ BOAT قوشۇمچە زاپچاسلىرى

第 13 页 -130
يېتەكچى پىن: پاتېنت لايىھىلەش مەھسۇلاتى
微信截图 _20241220165538
▶ VERTICAL BOAT-161.7mm WAFER
微信截图 _20241220172323
▶ VERTICAL BOAT-166mm WAFER
微信截图 _20241220172430
▶ VERTICAL BOAT-161.7mm ، 166mm WAFER
微信截图 _20241220172217

قۇياش ھۈجەيرىسى توشۇغۇچى ۋە مېتال TRC توشۇغۇچى

TYPE: ئاپتوماتلاشتۇرۇش
 
WAFER SIZE: 6 156 × 156MM ② 156.75 × 156.75MM
③161.7x161.7MM ④166x166MM
⑤ 180 × 180mm ⑥ 210 × 210mm
 
ئىشلىتىش ئۇسۇلى: توشۇش (كاسسېت)
 
ئىقتىدارى: 100 ۋاراق
 
PITCH: 4.76MM / 5.953mm / 6.35mm
 
DIMENSION: تەخمىنەن 559 × 220 × 220MM
تەخمىنەن 712 × 260 × 260MM
 
ADVANTAGE: ئاتموسفېرا
 
ماتېريال: يالقۇن ، يان تەرەپتىكى ئاليۇمىن (ئانودلاش)
SIDE PLATE-POM (Antistatic)
ئاستىدىكى بالداق- EPDM / PU / VITON (ASE)
第 15 页 -145

TRC-METAL CARRIER (U'SER LINE)

第 15 页 -147

TRC-METAL CARRIER (U'SER LINE)

第 15 页 -146

TRC-METAL CARRIER (U'SER LINE)

第 15 页 -157
第 15 页 -156
第 15 页 -155

SHOWER PLATE & IMPLANT, CARRIER

微信截图 _20241220174434