تۇتقاقلىق دېگەن نېمە؟

كۆپىنچە ئىنژېنېرلار ناتونۇشepitaxy، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىسى ياساشتا مۇھىم رول ئوينايدۇ.Epitaxyئوخشىمىغان ئۆزەك مەھسۇلاتلىرىدا ئىشلىتىشكە بولىدۇ ، ئوخشىمىغان مەھسۇلاتلارنىڭ ئوخشىمىغان تىپلىرى بار ، بۇنىڭ ئىچىدەSi epitaxy, SiC epitaxy, GaN epitaxyقاتارلىقلار.

تۇتقاقلىق دېگەن نېمە؟
Epitaxy ئىنگلىز تىلىدا «Epitaxy» دەپ ئاتىلىدۇ. بۇ سۆز گرېتسىيەنىڭ «epi» («يۇقىرىدا» مەنىسىنى بىلدۈرىدۇ) ۋە «تاكسى» («ئورۇنلاشتۇرۇش» مەنىسىنى بىلدۈرىدۇ) دېگەن سۆزدىن كەلگەن. ئىسمىدىنلا مەلۇم بولغىنىدەك ، ئۇ جىسىمنىڭ ئۈستىگە رەتلىك تىزىشنى كۆرسىتىدۇ. تۇتقاقلىق جەريانى نېپىز يەككە خرۇستال قەۋەتنى يەككە خرۇستال ئاستىغا قويۇش. بۇ يېڭىدىن ئامانەت قويۇلغان يەككە خرۇستال قەۋەت ئېپىتاكسىيىلىك قەۋەت دەپ ئاتىلىدۇ.

تۇتقاقلىق كېسىلىنىڭ ئاساسلىق ئىككى خىل شەكلى بار: قان تومۇر ئۆسمىسى ۋە قان تومۇر ئۆسمىسى. Homoepitaxial بولسا ئوخشاش تۈردىكى تارماق ماتېرىيالدا ئوخشاش ماتېرىيالنىڭ ئۆسۈشىنى كۆرسىتىدۇ. تۇتقاقلىق قەۋىتى بىلەن ئاستى قىسمىنىڭ رېشاتكا قۇرۇلمىسى ئوخشاش. Heteroepitaxy بولسا بىر ماتېرىيالنىڭ ئاستى قىسمىدىكى باشقا ماتېرىيالنىڭ ئۆسۈشى. بۇ خىل ئەھۋالدا ، يەر يۈزىدە ئۆسكەن خرۇستال قەۋەتنىڭ رېشاتكا قۇرۇلمىسى ئوخشىماسلىقى مۇمكىن. يەككە كىرىستال ۋە پولى كرىستاللىن دېگەن نېمە؟
يېرىم ئۆتكۈزگۈچتە بىز يەككە كىرىستال كرېمنىي ۋە پولى كرىستاللىق كرېمنىي دېگەن سۆزلەرنى دائىم ئاڭلايمىز. نېمە ئۈچۈن بەزى كرېمنىي يەككە كرىستال ، يەنە بەزىلىرى كرېمنىي دەپ ئاتىلىدۇ؟

يەككە خرۇستال: رېشاتكا ئورۇنلاشتۇرۇشى ئۈزلۈكسىز ۋە ئۆزگەرمەيدۇ ، ئاشلىق چېگرىسى بولمايدۇ ، يەنى پۈتكۈل خرۇستال يەككە كرىستال يۆنىلىشتىن تەركىب تاپقان يەككە رېشاتكىدىن تۈزۈلگەن. پولى كرىستاللىن: پولى كرىستاللىن نۇرغۇنلىغان كىچىك دانلاردىن تەركىب تاپقان ، ئۇلارنىڭ ھەر بىرى يەككە خرۇستال ، ئۇلارنىڭ يۆنىلىشى بىر-بىرىگە قارىتا ئىختىيارى. بۇ دانلار ئاشلىق چېگرىسى بىلەن ئايرىلىدۇ. پولى كرىستال ماتېرىياللارنىڭ ئىشلەپچىقىرىش تەننەرخى يەككە خرۇستالنىڭكىدىن تۆۋەن ، شۇڭا ئۇلار بەزى قوللىنىشچان پروگراممىلاردا يەنىلا پايدىلىق. تۇتقاقلىق جەريانى قەيەرگە چېتىلىدۇ؟
كرېمنىينى ئاساس قىلغان توپلاشتۇرۇلغان توك يولى ياساشتا ، تۇتقاقلىق جەريانى كەڭ قوللىنىلىدۇ. مەسىلەن ، كرېمنىي ئېپتىكاسى كرېمنىينىڭ ئاستى قىسمىدا ساپ ۋە ئىنچىكە كونترول قىلىنغان كرېمنىي قەۋىتىنى يېتىشتۈرۈش ئۈچۈن ئىشلىتىلىدۇ ، بۇ ئىلغار توپلاشتۇرۇلغان توك يولى ياساشتا ئىنتايىن مۇھىم. ئۇنىڭدىن باشقا ، ئېلېكتر ئۈسكۈنىلىرىدە ، SiC ۋە GaN ئىككى خىل كەڭ بەلۋاغلىق يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ماتېرىيال بولۇپ ، ناھايىتى ياخشى توك بىر تەرەپ قىلىش ئىقتىدارىغا ئىگە. بۇ ماتېرىياللار ئادەتتە ئېپىتاكىس ئارقىلىق كرېمنىي ياكى باشقا تارماق ماددىلاردا ئۆستۈرۈلىدۇ. كىۋانت ئالاقىسىدە ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچنى ئاساس قىلغان كىۋانت بىتلىرى ئادەتتە كرېمنىي گېرمان ئېپتاكسىمان قۇرۇلمىسىنى ئىشلىتىدۇ. Etc.

تۇتقاقلىق ئۆسۈش ئۇسۇللىرى؟

كۆپ ئىشلىتىلىدىغان يېرىم ئۆتكۈزگۈچ تۇتقاقلىق ئۇسۇلى:

مولېكۇلا نۇرلۇق قاپارتما (MBE): مولېكۇلا نۇرلۇق تۇتقاقلىق) ئۇلترا يۇقىرى ۋاكۇئۇم شارائىتىدا ئېلىپ بېرىلغان يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئېپىتاكسىيىلىك ئۆسۈش تېخنىكىسى. بۇ تېخنىكىدا ، مەنبە ماتېرىيالى ئاتوم ياكى مولېكۇلا لامپىسى شەكلىدە پارغا ئايلىنىپ ، ئاندىن كىرىستال ئاستى ئاستىغا قويۇلدى. MBE ئىنتايىن ئېنىق ۋە كونترول قىلغىلى بولىدىغان يېرىم ئۆتكۈزگۈچ نېپىز پەردە ئۆسۈش تېخنىكىسى بولۇپ ، ئاتوم سەۋىيىسىدىكى ئامانەت قويۇلغان ماتېرىياللارنىڭ قېلىنلىقىنى ئېنىق كونترول قىلالايدۇ.

مېتال ئورگانىك CVD (MOCVD): MOCVD جەريانىدا ، كېرەكلىك ئېلېمېنتلارنى ئۆز ئىچىگە ئالغان ئورگانىك مېتاللار ۋە گىدرىد گازى مۇۋاپىق تېمپېراتۇرىدا يەر ئاستى سۈيىگە تەمىنلىنىدۇ ، ئېھتىياجلىق يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ماتېرىياللار خىمىيىلىك رېئاكسىيە ئارقىلىق ھاسىل بولىدۇ ۋە ئاستى قىسمىغا قويۇلىدۇ. بىرىكمە ۋە رېئاكسىيە مەھسۇلاتلىرى قويۇپ بېرىلىدۇ.

ھور باسقۇچى Epitaxy (VPE): ھور باسقۇچى Epitaxy يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرىنى ئىشلەپچىقىرىشتا كۆپ ئىشلىتىلىدىغان مۇھىم تېخنىكا. ئۇنىڭ ئاساسلىق پرىنسىپى توشۇغۇچى گازىدىكى يەككە ماددىنىڭ ياكى بىرىكمىنىڭ ھورلىرىنى توشۇش ۋە خىمىيىۋى رېئاكسىيە ئارقىلىق كىرىستالنى يەر ئاستىغا قويۇپ بېرىش.