Epitaxial Wafer بىر تەرەپ قىلىشتىكى ھالقىلىق رولى ئۈستىدە ئىزدىنىش
Epi توشۇغۇچىلارنىڭ ئىلغار يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشتىكى مۇھىملىقىنى چۈشىنىش
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ كەسپىدە ، يۇقىرى سۈپەتلىك ئېپىتاكسىيىلىك (epi) ئىشلەپچىقىرىشwafersترانسېنىستور ، دىئود ۋە باشقا ئېلېكترونلۇق زاپچاسلار قاتارلىق ئىشلەپچىقىرىش ئۈسكۈنىلىرىدىكى ھالقىلىق قەدەم. بۇ جەرياننىڭ مەركىزىepi توشۇغۇچى، تۇتقاقلىق چۆكۈش جەريانىدا ۋافېرنى بىخەتەر ساقلاش ئۈچۈن لايىھەلەنگەن ئالاھىدە قورال. ئەمما ئېپى توشۇغۇچى زادى نېمە ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساشتا نېمە ئۈچۈن ئىنتايىن مۇھىم؟
تۇتقاقلىق ئۆسۈشى: يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساشتىكى ئاچقۇچلۇق جەريان
تۇتقاقلىق ئۆسۈشى ياكى تۇتقاقلىق كېسىلى نېپىز بىر قەۋەت كىرىستال ماتېرىيالنى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋافېرغا قويۇش جەريانىنى كۆرسىتىدۇ. Epitaxial قەۋىتى دەپ ئاتالغان بۇ قەۋەت ئاستى ئاستى ئاستىغا ئوخشاش خرۇستال يۆنىلىشكە ئىگە بولۇپ ، ۋافېرنىڭ ئېلېكتر خۇسۇسىيىتىنى ئاشۇرۇشقا ئىشلىتىلىدۇ. Epitaxy ماتېرىيال تەركىبى ۋە قۇرۇلمىسىنى ئېنىق كونترول قىلىشنى تەلەپ قىلىدىغان يۇقىرى ئىقتىدارلىق ئۈسكۈنىلەرنى بارلىققا كەلتۈرۈشتە ئىنتايىن مۇھىم.
تۇتقاقلىق قەۋىتىدىكى كۆزلىگەن سۈپەت ۋە بىردەكلىكنى قولغا كەلتۈرۈش ئۈچۈن ، چۆكۈش جەريانىدا چوقۇم ۋافېرلار ئېنىق ۋە مۇقىم بولۇشى كېرەك. بۇ يەردەepi توشۇغۇچىمەيدانغا كېلىدۇ.
The Role of anEpi Carrier
An epi توشۇغۇچىئالاھىدە لايىھەلەنگەن قۇرۇلما بولۇپ ، تۇتقاقلىق چۆكۈش جەريانىدا ۋافېر ساقلايدۇ. ئۇ ئادەتتە يۇقىرى ساپلىقتىكى ماتېرىياللاردىن ياسالغان بولۇپ ، يۇقىرى تېمپېراتۇرىغا ۋە تۇتقاقلىق كېسىلىگە گىرىپتار بولغان ئاكتىپ مۇھىتقا بەرداشلىق بېرەلەيدۇ. توشۇغۇچىنىڭ لايىھىسى ۋافېرلارنىڭ بىخەتەر ئورنىتىلىشى ۋە چۆكمە ماتېرىياللار بىلەن تەكشى ئۇچرىشىشىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ ، نەتىجىدە پۈتكۈل ۋافېر يۈزىدە بىر تۇتاش يەر تەۋرەش قەۋىتى ھاسىل بولىدۇ.
Epi توشۇغۇچىنىڭ ئاساسلىق ئىقتىدارلىرىنىڭ بىرىwafer'sچۆكۈش جەريانىدا مۇقىملىق ۋە ماسلىشىش. ھەر قانداق ھەرىكەت ياكى ماسلاشماسلىق تۇتقاقلىق قەۋىتىدىكى نۇقسانلارنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ ، بۇ ئاخىرقى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىنىڭ ئىقتىدارىغا كۆرۈنەرلىك تەسىر كۆرسىتىدۇ. توشۇغۇچى يەنە بۇلغىنىشنىڭ ئالدىنى ئېلىپ ، پىششىقلاپ ئىشلەش جەريانىدا ۋافېرلارنىڭ زەررىچە ياكى بۇلغانمىلاردىن خالىي بولۇشىغا كاپالەتلىك قىلىشى كېرەك.
نېمىشقاEpi توشۇغۇچىلاريېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساشتا مۇھىم
تۇتقاقلىق قەۋىتىنىڭ سۈپىتى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئىقتىدارىغا بىۋاسىتە تەسىر كۆرسىتىدۇ. بۇنداق بولغاندا ، ئېپى توشۇغۇچىنىڭ رولى كەسىپتە تەلەپ قىلىنغان يۇقىرى ئۆلچەمگە يېتىشتە ئىنتايىن مۇھىم. ۋافېر پىششىقلاپ ئىشلەشنى مۇقىم ۋە كونتروللۇق مۇھىت بىلەن تەمىنلەش ئارقىلىق ، ئېپى توشۇغۇچى تۇتقاقلىق قەۋىتىنىڭ بىردەك ۋە نۇقسانسىز ساقلىنىشىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ.
Epi توشۇغۇچىلارمۇ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساشنىڭ چوڭ-كىچىكلىكىنى قوللاشتا ئىنتايىن مۇھىم. ئۈسكۈنىنىڭ گېئومېتىرىيىسى داۋاملىق كىچىكلەپ ، تېخىمۇ يۇقىرى ئىقتىدارغا بولغان ئېھتىياجنىڭ ئېشىشىغا ئەگىشىپ ، ئېنىق ۋە ئىشەنچلىك تۇتقاقلىق جەريانىغا بولغان ئېھتىياج تېخىمۇ ھالقىلىق بولىدۇ. ئەلا سۈپەتلىك ئېپى توشۇغۇچىلار ئىشلەپچىقارغۇچىلارنىڭ بۇ تەلەپنى قاندۇرۇشىغا ياردەم بېرىدۇ ، ھەتتا ئىشلەپچىقىرىش كۆلىمىنى كېڭەيتسىمۇ.
خۇلاسە
خۇلاسىلەپ ئېيتقاندا ، ئېپى توشۇغۇچى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدا كەم بولسا بولمايدىغان قورال ، بولۇپمۇ تۇتقاقلىق ۋافېر ئىشلەپچىقىرىشتا. ئۇنىڭ ئىلغار يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرىگە ئېھتىياجلىق يۇقىرى سۈپەتلىك تۇتقاقلىق قەۋىتىنى قولغا كەلتۈرۈشتە ئۇنىڭ تېخىمۇ تۇراقلىق بولۇش ، توغرىلاش ۋە بۇلغىنىشنى كونترول قىلىشتىكى رولى ئىنتايىن مۇھىم. بۇ كەسىپ تېخنىكىنىڭ چېگراسىنى داۋاملىق ئىلگىرى سۈرگەچكە ، ئىشەنچلىك ۋە ئۈنۈملۈك ئېپى توشۇغۇچىلارنىڭ مۇھىملىقى پەقەت ئېشىپ ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ توقۇشتىكى ئەۋزەللىكنى قوغلىشىشتىكى مۇھىم تەركىبكە ئايلىنىدۇ.
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ كەسپىدىكى كىشىلەر ئۆزلىرىنىڭ تۇتقاقلىق جەريانىنى ئەلالاشتۇرۇشنى ئويلاۋاتقانلارغا نىسبەتەن ، يۇقىرى سۈپەتلىك ئېپى توشۇغۇچىلارنى چۈشىنىش ۋە مەبلەغ سېلىش تېخىمۇ ياخشى نەتىجىگە ئېرىشىش ۋە بازاردىكى رىقابەت ئەۋزەللىكىنى ساقلاپ قېلىشتىكى ھەل قىلغۇچ قەدەم.
يوللانغان ۋاقتى: 19-ئاۋغۇستتىن 20-ئاۋغۇستقىچە