پاكلىقwafer يۈزىكېيىنكى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ جەريان ۋە مەھسۇلاتلارنىڭ لاياقەتلىك بولۇش نىسبىتىگە زور تەسىر كۆرسىتىدۇ. بارلىق مەھسۇلات زىيىنىنىڭ% 50 گە يېتىدۇwafer يۈزىبۇلغىنىش.
ئۈسكۈنىنىڭ ئېلېكتر ئىقتىدارى ياكى ئۈسكۈنىنىڭ ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدىكى كونترولسىز ئۆزگىرىشلەرنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدىغان جىسىملار ئورتاق ھالدا بۇلغىما دەپ ئاتىلىدۇ. بۇلغانمىلار ۋافېرنىڭ ئۆزى ، پاكىز ئۆي ، پىششىقلاپ ئىشلەش قوراللىرى ، خىمىيىلىك ماددىلار ياكى سۇدىن كېلىشى مۇمكىن.Waferبۇلغىنىشنى ئادەتتە كۆزىتىش ، جەرياننى تەكشۈرۈش ياكى ئاخىرقى ئۈسكۈنىنىڭ سىنىقىدا مۇرەككەپ ئانالىز ئۈسكۈنىلىرىنى ئىشلىتىش ئارقىلىق بايقىغىلى بولىدۇ.
Sil كرېمنىي ۋافېر يۈزىدىكى بۇلغىمىلار | رەسىم مەنبەسى تورى
بۇلغىنىش ئانالىزىنىڭ نەتىجىسى ئارقىلىق ئۇچرىغان بۇلغىنىش دەرىجىسى ۋە تۈرىنى ئەكس ئەتتۈرگىلى بولىدۇwaferمەلۇم جەرياندا ، مەلۇم ماشىنا ياكى ئومۇمىي جەرياندا. بايقاش ئۇسۇللىرىنى تۈرگە ئايرىش بويىچە ،wafer يۈزىبۇلغىنىشنى تۆۋەندىكى تۈرلەرگە ئايرىشقا بولىدۇ.
مېتال بۇلغىنىش
مېتال كەلتۈرۈپ چىقارغان بۇلغىنىش يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىنىڭ ئوخشىمىغان دەرىجىدە كەمتۈكلىكىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ.
ئىشقار مېتاللىرى ياكى ئىشقارلىق يەر مېتاللىرى (لى ، نا ، K ، Ca ، Mg ، Ba قاتارلىقلار) pn قۇرۇلمىسىدا ئېقىپ كېتىش ئېقىمىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ ، بۇ ئوكسىدنىڭ پارچىلىنىش بېسىمىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ. ئۆتكۈنچى مېتال ۋە ئېغىر مېتال (Fe, Cr, Ni, Cu, Au, Mn, Pb قاتارلىقلار) بۇلغىنىش توشۇغۇچىنىڭ ھايات دەۋرىنى تۆۋەنلىتىدۇ ، زاپچاسنىڭ خىزمەت ۋاقتىنى قىسقارتالايدۇ ياكى زاپچاس ئىشلىگەندە قاراڭغۇ توكنى ئاشۇرۇۋېتىدۇ.
مېتالنىڭ بۇلغىنىشىنى بايقاشنىڭ كۆپ قوللىنىلىدىغان ئۇسۇللىرى بولسا نۇر قايتۇرۇش فتور فېرمېنسىيىسى ، ئاتومنىڭ سۈمۈرۈلۈش سپېكتروسكوپى ۋە ئىندۇكسىيەلىك تۇتاشتۇرۇلغان پلازما ماسسىسى سپېكترى (ICP-MS).
يەر يۈزىنىڭ بۇلغىنىشى | ResearchGate
مېتالنىڭ بۇلغىنىشى تازىلاش ، قىرىش ، تاش مەتبەئە ، چۆكۈش قاتارلىقلاردا ئىشلىتىلىدىغان رېئاكتوردىن ياكى بۇ جەرياندا ئىشلىتىلىدىغان ماشىنىلاردىن ، مەسىلەن ، ئوچاق ، رېئاكتور ، ئىئون كۆچۈرۈش قاتارلىقلاردىن بولۇشى مۇمكىن ، ياكى ئېھتىياتسىزلىقتىن ۋافېر بىر تەرەپ قىلىش سەۋەبىدىن كېلىپ چىققان بولۇشى مۇمكىن.
زەررىچە بۇلغىنىش
ئەمەلىي ماتېرىيال زاپىسى ئادەتتە يەر يۈزىدىكى نۇقسانلاردىن تارقالغان نۇرنى بايقاش ئارقىلىق كۆزىتىلىدۇ. شۇڭلاشقا ، زەررىچە بۇلغىنىشنىڭ تېخىمۇ توغرا ئىلمىي ئىسمى يورۇقلۇق نۇقتىسى كەمتۈك. زەررىچە بۇلغىنىش قىچىشىش ۋە تاش مەتبەئە جەريانىدا توسۇلۇش ياكى نىقابلاش ئۈنۈمىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ.
كىنولارنىڭ ئۆسۈشى ياكى چۆكۈپ كېتىشىدە پىنخول ۋە مىكرو ۋىرۇس پەيدا بولىدۇ ، ئەگەر زەررىچىلەر چوڭ ھەم ئۆتكۈزگۈچ بولسا ، ھەتتا قىسقا توك يولىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ.
زەررىچە بۇلغىنىشنىڭ شەكىللىنىشى | رەسىم مەنبەسى تورى
كىچىك زەررىچىلەرنىڭ بۇلغىنىشى يەر يۈزىدە سايە پەيدا قىلىدۇ ، مەسىلەن فوتوگرافىيە جەريانىدا. ئەگەر چوڭ زەررىچىلەر فوتوگراف بىلەن فوتوئورگانىزم قەۋىتى ئوتتۇرىسىدا بولسا ، ئۇلار ئۇچرىشىشنىڭ ئېنىقلىق دەرىجىسىنى تۆۋەنلىتىدۇ.
ئۇنىڭدىن باشقا ، ئۇلار ئىئون كۆچۈرۈش ياكى قۇرۇق قىچىشىش جەريانىدا تېزلىتىلگەن ئىئونلارنى توسىيالايدۇ. زاپچاسلار بەلكىم فىلىم تەرىپىدىن قورشالغان بولۇشى مۇمكىن ، بۇنداق بولغاندا داغ ۋە داغ بار. كېيىنكى ئامانەت قويۇلغان قەۋەتلەر بۇ ئورۇنلارنىڭ يىغىلىپ قېلىشىغا قارشى تۇرالايدۇ ياكى ئاشكارلىنىش جەريانىدا مەسىلە پەيدا قىلىدۇ.
ئورگانىك بۇلغىنىش
تەركىبىدە كاربون بولغان بۇلغانمىلار ، شۇنداقلا C بىلەن مۇناسىۋەتلىك باغلىنىش قۇرۇلمىسى ئورگانىك بۇلغىنىش دەپ ئاتىلىدۇ. ئورگانىك بۇلغانمىلار بەلكىم ئويلىمىغان يەردىن گىدروپوبىك خۇسۇسىيىتىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىشى مۇمكىنwafer يۈزى، يەر يۈزىنىڭ يىرىكلىكىنى ئاشۇرۇپ ، تۇمانلىق يۈز ھاسىل قىلىدۇ ، تۇتقاقلىق قەۋىتىنىڭ ئۆسۈشىنى قالايمىقانلاشتۇرىدۇ ، ئەگەر ئالدى بىلەن بۇلغانمىلار چىقىرىۋېتىلمىسە ، مېتال بۇلغىنىشنىڭ تازىلاش ئۈنۈمىگە تەسىر كۆرسىتىدۇ.
بۇ خىل يەر يۈزىنىڭ بۇلغىنىشى ئادەتتە ئىسسىقلىق يوقىتىش MS ، X نۇرى فوتو ئېلېكتر سپېكتروسكوپى ۋە ئاۋگېر ئېلېكترون سپېكتروسكوپى قاتارلىق ئەسۋابلار تەرىپىدىن بايقىلىدۇ.
Source رەسىم مەنبەسى تورى
گازنىڭ بۇلغىنىشى ۋە سۇنىڭ بۇلغىنىشى
ئاتموسفېرا مولېكۇلاسى ۋە مولېكۇلا چوڭلۇقىدىكى سۇنىڭ بۇلغىنىشى ئادەتتە ئادەتتىكى يۇقىرى ئۈنۈملۈك زەررىچە ھاۋا (HEPA) ياكى دەرىجىدىن تاشقىرى تۆۋەن سىڭىپ كىرىش ھاۋا سۈزگۈچ (ULPA) تەرىپىدىن چىقىرىۋېتىلمەيدۇ. بۇ خىل بۇلغىنىش ئادەتتە ئىئون ماسسىسى سپېكترى ۋە قىل قان تومۇر ئېلېكتروفورىسى تەرىپىدىن كۆزىتىلىدۇ.
بەزى بۇلغانمىلار كۆپ تۈرگە تەۋە بولۇشى مۇمكىن ، مەسىلەن ، زەررىچىلەر ئورگانىك ياكى مېتال ماتېرىياللاردىن تەركىب تاپقان بولۇشى مۇمكىن ، ياكى ھەر ئىككىسى ، شۇڭا بۇ خىل بۇلغىنىش باشقا تۈرلەرگە ئايرىلىشى مۇمكىن.
Ase گاز مولېكۇلا بۇلغىنىشى | IONICON
ئۇنىڭدىن باشقا ، ۋافېرنىڭ بۇلغىنىشىمۇ مولېكۇلانىڭ بۇلغىنىشى ، زەررىچىلەرنىڭ بۇلغىنىشى ۋە بۇلغىنىش مەنبەسىنىڭ چوڭ-كىچىكلىكىگە ئاساسەن جەرياندىن كېلىپ چىققان ئەخلەتلەرنىڭ بۇلغىنىشى دەپ ئايرىلىدۇ. بۇلغىنىش زەررىچىسى قانچە كىچىك بولسا ، چىقىرىۋېتىش شۇنچە تەس. بۈگۈنكى ئېلېكترونلۇق زاپچاس ياساشتا ، ۋافېر تازىلاش تەرتىپى پۈتكۈل ئىشلەپچىقىرىش جەريانىنىڭ% 30-% 40 نى ئىگىلەيدۇ.
Sil كرېمنىي ۋافېر يۈزىدىكى بۇلغىمىلار | رەسىم مەنبەسى تورى
يوللانغان ۋاقتى: 11-نويابىردىن 20-نويابىرغىچە