بىر ئومۇمىي چۈشەنچە
توپلاشتۇرۇلغان توك يولى ياساش جەريانىدا ، فوتوگرافىيە توپلاشتۇرۇلغان توك يولىنىڭ بىرىكىش دەرىجىسىنى بەلگىلەيدىغان يادرولۇق جەريان. بۇ جەرياننىڭ رولى توك يولى گرافىك ئۇچۇرلىرىنى ماسكا (ماسكا دەپمۇ ئاتىلىدۇ) دىن يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ماتېرىيال ئاستى قىسمىغا سادىقلىق بىلەن يەتكۈزۈش ۋە يەتكۈزۈش.
فوتوگرافلىق جەرياننىڭ ئاساسلىق پرىنسىپى يەر ئاستى يۈزىگە سىرلانغان فوتوگرافنىڭ فوتو-خىمىيىلىك رېئاكسىيەسىدىن پايدىلىنىپ ، ماسكا ئۈستىدىكى توك يولى ئەندىزىسىنى خاتىرىلەش ، شۇ ئارقىلىق توپلاشتۇرۇلغان توك يولى ئەندىزىسىنى لايىھىلەشتىن ئاستىغا يۆتكەش مەقسىتىگە يېتىدۇ.
فوتوگرافنىڭ ئاساسىي جەريانى:
بىرىنچىسى ، فوتوگراف ئۇستىسى ئاستى قەۋەت يۈزىگە سىرلاش ماشىنىسى ئىشلىتىلىدۇ.
ئاندىن ، فوتوگرافلىق ماشىنا فوتوگراف بىلەن سىرلانغان يەر ئاستى سۈيىنى ئاشكارىلاشقا ئىشلىتىلىدۇ ، فوتوئاكتىپلىق رېئاكسىيە مېخانىزمى فوتوگرافىيە ماشىنىسى ئارقىلىق يەتكۈزۈلگەن ماسكا ئەندىزىسىنىڭ ئۇچۇرلىرىنى خاتىرىلەشكە ئىشلىتىلىدۇ ، ماسكا ئەندىزىسىنىڭ ساداقەتمەنلىكىنى يەتكۈزۈش ، يۆتكەش ۋە كۆپەيتىشنى تاماملايدۇ.
ئاخىرىدا ، بىر پروگرامما ئاچقۇچى ئاشكارلانغان ئاستىرتتىن ياسالغان بولۇپ ، ئاشكارلانغاندىن كېيىن فوتو-خىمىيىلىك رېئاكسىيەنى باشتىن كەچۈرگەن فوتوگرافنى ئېلىۋېتىدۇ (ياكى ساقلاپ قالىدۇ).
ئىككىنچى فوتوگرافىيە جەريانى
ماسكا ئۈستىدىكى لايىھىلەنگەن توك يولى ئەندىزىسىنى كرېمنىيلىق ۋافېرغا يۆتكەش ئۈچۈن ، ئالدى بىلەن ئاشكارىلاش جەريانى ئارقىلىق ئەمەلگە ئاشۇرۇش ، ئاندىن كرېمنىي ئەندىزىسىنى چوقۇم قىرىش جەريانى ئارقىلىق قولغا كەلتۈرۈش كېرەك.
فوتوگرافىيە جەريانىنىڭ يورۇتۇلۇشى سېرىق نۇر مەنبەسىنى ئىشلىتىپ ، سەزگۈر ماتېرىياللار سەزگۈر بولمىغانلىقتىن ، ئۇ يەنە سېرىق نۇر رايونى دەپمۇ ئاتىلىدۇ.
Photolithography تۇنجى قېتىم مەتبەئەچىلىك كەسپىدە ئىشلىتىلگەن بولۇپ ، دەسلەپكى PCB ياساشتىكى ئاساسلىق تېخنىكا ئىدى. 20-ئەسىرنىڭ 50-يىللىرىدىن باشلاپ ، فوتوگرافىيە ئاستا-ئاستا IC ياسىمىچىلىقىدىكى ئەندىزە يۆتكەشنىڭ ئاساسلىق ئېقىمىغا ئايلاندى.
تاش مەتبەئە جەريانىدىكى ئاساسلىق كۆرسەتكۈچلەر ئېنىقلىق ، سەزگۈرلۈك ، قاپلاش توغرىلىقى ، كەمتۈكلۈك نىسبىتى قاتارلىقلارنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ.
فوتوگرافىيە جەريانىدىكى ئەڭ ھالقىلىق ماتېرىيال فوتوگراف بولۇپ ، ئۇ سەزگۈر ماتېرىيال. فوتوگرافنىڭ سەزگۈرلۈكى نۇر مەنبەسىنىڭ دولقۇن ئۇزۇنلۇقىغا باغلىق بولغاچقا ، g / i لىنىيىسى ، 248nm KrF ۋە 193nm ArF قاتارلىق فوتوگرافلىق جەريانلارغا ئوخشىمىغان فوتوگراف ماتېرىياللىرى تەلەپ قىلىنىدۇ.
تىپىك فوتوگرافىيە جەريانىنىڭ ئاساسلىق جەريانى بەش باسقۇچنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ:
- ئاساسى فىلىم تەييارلاش
- فوتوگراف ۋە يۇمشاق بولكا ئىشلىتىش.
- ماسلاشتۇرۇش ، ئاشكارىلاش ۋە ئاشكارلانغاندىن كېيىنكى پىشۇرۇش
- قاتتىق فىلىمنى تەرەققىي قىلدۇرۇش
- تەرەققىياتنى بايقاش.
(1)ئاساسى فىلىم تەييارلىقى: ئاساسلىقى تازىلاش ۋە سۇسىزلىنىش. ھەر قانداق بۇلغانمىلار فوتوگراف بىلەن ۋافېر ئوتتۇرىسىدىكى يېپىشقاقلىقنى ئاجىزلاشتۇرۇۋېتىدۇ ، ئەتراپلىق تازىلاش ۋافېر بىلەن فوتوگرافنىڭ يېپىشقاقلىقىنى ياخشىلايدۇ.
(2)فوتوگرافلىق سىر: بۇ كرېمنىي ۋافېرنى ئايلاندۇرۇش ئارقىلىق ئەمەلگە ئاشىدۇ. ئوخشىمىغان فوتوگرافلار ئايلىنىش سۈرئىتى ، فوتوگرافنىڭ قېلىنلىقى ۋە تېمپېراتۇرىسىنى ئۆز ئىچىگە ئالغان ئوخشىمىغان سىرلاش جەريانى پارامېتىرلىرىنى تەلەپ قىلىدۇ.
يۇمشاق پىشۇرۇش: پىشۇرۇش فوتوگراف بىلەن كرېمنىي ۋافېرنىڭ يېپىشقاقلىقىنى ، شۇنداقلا فوتوئورېست قېلىنلىقىنىڭ بىردەكلىكىنى ياخشىلايدۇ ، بۇ كېيىنكى قىرىش جەريانىدىكى گېئومېتىرىيەلىك ئۆلچەمنى كونترول قىلىشقا پايدىلىق.
(3)توغرىلاش ۋە ئاشكارىلاش: توغرىلاش ۋە ئاشكارىلاش فوتوگرافىيە جەريانىدىكى ئەڭ مۇھىم باسقۇچلار. ئۇلار ماسكا ئەندىزىسىنى ۋافېر (ياكى ئالدى قەۋەت ئەندىزىسى) دىكى مەۋجۇت ئەندىزە بىلەن توغرىلاپ ، ئاندىن ئۇنى ئالاھىدە نۇر بىلەن نۇرلاندۇرۇشنى كۆرسىتىدۇ. يورۇقلۇق ئېنىرگىيىسى فوتوسۈرەتتىكى فوتوسىنتېز زاپچاسلىرىنى قوزغىتىدۇ ، بۇ ئارقىلىق ماسكا ئەندىزىسىنى فوتوگرافقا يۆتكەيدۇ.
توغرىلاش ۋە ئاشكارىلاشقا ئىشلىتىلىدىغان ئۈسكۈنىلەر فوتوگرافلىق ماشىنا بولۇپ ، پۈتكۈل توپلاشتۇرۇلغان توك يولى ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدىكى ئەڭ قىممەت يەككە جەريان ئۈسكۈنىسى. فوتوگرافىيە ماشىنىسىنىڭ تېخنىكىلىق دەرىجىسى پۈتكۈل ئىشلەپچىقىرىش لىنىيىسىنىڭ ئىلگىرىلەش دەرىجىسىگە ۋەكىللىك قىلىدۇ.
ئاشكارلانغاندىن كېيىنكى پىشۇرۇش: ئاشكارلانغاندىن كېيىن قىسقا پىشۇرۇش جەريانىنى كۆرسىتىدۇ ، بۇ چوڭقۇر ئۇلترا بىنەپشە نۇر فوتوگراف ۋە ئادەتتىكى i لىنىيىلىك فوتوگرافلارغا ئوخشىمايدۇ.
چوڭقۇر ئۇلترا بىنەپشە نۇر فوتوگرافقا نىسبەتەن ، ئاشكارلانغاندىن كېيىن پىشۇرۇش فوتوگرافنىڭ قوغداش تەركىبلىرىنى چىقىرىپ تاشلاپ ، فوتوگرافنىڭ پروگرامما ئاچقۇچىدا ئېرىپ كېتىشىگە شارائىت ھازىرلايدۇ ، شۇڭا ئاشكارلانغاندىن كېيىن پىشۇرۇش كېرەك.
ئادەتتىكى i لىنىيىلىك فوتوگرافلارغا نىسبەتەن ، ئاشكارلانغاندىن كېيىنكى پىشۇرۇش فوتوگرافنىڭ يېپىشقاقلىقىنى ياخشىلاپ ، تۇرغان دولقۇننى ئازايتالايدۇ (تۇرغان دولقۇن فوتوگرافنىڭ قىر مورفولوگىيىسىگە پايدىسىز تەسىر كۆرسىتىدۇ).
(4)قاتتىق فىلىمنى تەرەققىي قىلدۇرۇش: پروگرامما ئاچقۇچىدىن پايدىلىنىپ فوتوگرافنىڭ ئېرىيدىغان قىسمىنى (مۇسبەت فوتوگراف) ئېرىگەندىن كېيىن ئېرىتىپ ، ماسكا ئەندىزىسىنى فوتوگراف شەكلى بىلەن توغرا كۆرسىتىدۇ.
تەرەققىيات جەريانىدىكى ئاچقۇچلۇق پارامېتىرلار تەرەققىيات تېمپېراتۇرىسى ۋە ۋاقتى ، ئاچقۇچىلارنىڭ مىقدارى ۋە قويۇقلۇقى ، تازىلاش قاتارلىقلارنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ. تەرەققىياتتىكى مۇناسىۋەتلىك پارامېتىرلارنى تەڭشەش ئارقىلىق ، فوتوگرافنىڭ ئاشكارلانغان ۋە ئاشكارىلانمىغان قىسىملىرىنىڭ ئېرىتىش نىسبىتىنىڭ پەرقىنى ئاشۇرغىلى بولىدۇ ، شۇ ئارقىلىق كۆزلىگەن تەرەققىيات ئۈنۈمىگە ئېرىشىش.
قاتتىقلاشتۇرۇش يەنە قاتتىق پىشۇرۇش دەپمۇ ئاتىلىدۇ ، بۇ تەرەققىي قىلغان فوتوگرافنىڭ قالغان ئېرىتكۈچى ، ئاچقۇچى ، سۇ ۋە باشقا كېرەكسىز قالدۇق زاپچاسلىرىنى قىزىتىش ۋە پارغا ئايلاندۇرۇش ئارقىلىق چىقىرىۋېتىش جەريانى بولۇپ ، فوتوگرافنىڭ كرېمنىينىڭ ئاستى قىسمىغا چاپلىشىشىنى ياخشىلايدۇ. فوتوگرافنىڭ قىچىشىشقا قارشى تۇرۇش كۈچى.
ئوخشىمىغان فوتوگرافلار ۋە قاتتىقلاشتۇرۇش ئۇسۇللىرىغا ئاساسەن ، قاتتىقلاشتۇرۇش جەريانىنىڭ تېمپېراتۇرىسى ئوخشىمايدۇ. ئالدىنقى شەرت شۇكى ، فوتوگرافنىڭ شەكلى شەكىللەنمەيدۇ ، فوتوگرافنى يېتەرلىك جاپالىق قىلىش كېرەك.
(5)تەرەققىيات تەكشۈرۈشى: بۇ تەرەققىياتتىن كېيىن فوتوگراف ئەندىزىسىدىكى نۇقسانلارنى تەكشۈرۈش. ئادەتتە ، رەسىم تونۇش تېخنىكىسى تەرەققىي قىلغاندىن كېيىن ئۆزەك ئەندىزىسىنى ئاپتوماتىك سايىلەپ ، ئالدىن ساقلانغان نۇقسانسىز ئۆلچەملىك ئەندىزە بىلەن سېلىشتۇرۇشقا ئىشلىتىلىدۇ. ئەگەر پەرق بايقالسا ، ئۇ كەمتۈك دەپ قارىلىدۇ.
ئەگەر نۇقسان سانى مەلۇم قىممەتتىن ئېشىپ كەتسە ، كرېمنىيلىق ۋافېر تەرەققىيات سىنىقىدىن ئۆتەلمىگەن دەپ قارىلىدۇ ھەمدە مۇۋاپىق ھالدا ئەمەلدىن قالدۇرۇلۇشى ياكى قايتا ئىشلىنىشى مۇمكىن.
توپلاشتۇرۇلغان توك يولى ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدا ، كۆپىنچە جەريانلارنى ئەسلىگە كەلتۈرگىلى بولمايدۇ ، فوتوگرافىيە قايتا ئىشلەشكە بولىدىغان ناھايىتى ئاز جەريانلارنىڭ بىرى.
ئۈچ فوتوگراف ۋە فوتوگراف ماتېرىيالى
3.1 Photomask
فوتوگراف ، فوتوگرافىيە نىقابى دەپمۇ ئاتىلىدۇ ، ئۇ توپلاشتۇرۇلغان توك يولى ۋافېر ياساشنىڭ فوتوگرافىيە جەريانىدا ئىشلىتىلگەن ئۇستاز.
فوتوماسكا ياساش جەريانى توپلاشتۇرۇلغان توك يولى لايىھىلەش ئىنژېنېرلىرى لايىھەلەپ چىققان ۋافېر ياساشقا كېرەكلىك ئەسلى ئورۇنلاشتۇرۇش سانلىق مەلۇماتلىرىنى ماسكا سانلىق مەلۇماتلىرىنى بىر تەرەپ قىلىش ئارقىلىق لازېر مودېل گېنېراتورى ياكى ئېلېكترونلۇق نۇر دەستىسى ئارقىلىق تونۇغىلى بولىدىغان سانلىق مەلۇمات فورماتىغا ئايلاندۇرۇش. يۇقارقى ئۈسكۈنىلەر فوتوئاكتىپلىق ماتېرىيالغا چاپلانغان ماتېرىياللار ئاندىن ئۇ تەرەققىيات ۋە قىچىشىش قاتارلىق بىر قاتار جەريانلار ئارقىلىق بىر تەرەپ قىلىنىپ ، تارماق ماتېرىيالنىڭ ئەندىزىسىنى ئوڭشايدۇ. ئاخىرىدا ، ئۇ تەكشۈرۈلۈپ ، رېمونت قىلىنىپ ، تازىلىنىپ ۋە پەردازلىنىپ ، ماسكا مەھسۇلاتى شەكىللەندۈرۈلۈپ ، توپلاشتۇرۇلغان توك يولى ئىشلەپچىقارغۇچىغا ئىشلىتىلىدۇ.
3.2 فوتوگراف
فوتوگراف ، فوتوگراف دەپمۇ ئاتىلىدۇ ، ئۇ بىر خىل سەزگۈر ماتېرىيال. ئۇنىڭدىكى سەزگۈر زاپچاسلار نۇرنىڭ نۇرلىنىشى ئاستىدا خىمىيىلىك ئۆزگىرىشلەرنى باشتىن كەچۈرۈپ ، شۇ ئارقىلىق ئېرىتىش نىسبىتىدە ئۆزگىرىش پەيدا قىلىدۇ. ئۇنىڭ ئاساسلىق ئىقتىدارى ماسكادىكى ئەندىزىنى ۋافېر قاتارلىق تارماق ئېلېمېنتقا يۆتكەش.
فوتوگرافنىڭ خىزمەت پرىنسىپى: بىرىنچى ، فوتوگرافنىڭ ئاستى قىسمىغا سىرلىنىپ ، ئالدىن پىشۇرۇپ ئېرىتمىنى ئېلىۋېتىش.
ئىككىنچىدىن ، نىقاب نۇرنىڭ تەسىرىگە ئۇچراپ ، ئاشكارلانغان قىسمىدىكى سەزگۈرلۈك تەركىبلىرىنىڭ خىمىيىلىك رېئاكسىيەنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ.
ئاندىن ، ئاشكارلانغاندىن كېيىن پىشۇرۇش ئېلىپ بېرىلىدۇ
ئاخىرىدا ، فوتوگراف ئۇستىسى تەرەققىيات ئارقىلىق قىسمەن ئېرىپ كېتىدۇ (مۇسبەت فوتوگراف ئۈچۈن ، ئاشكارلانغان رايون ئېرىپ كېتىدۇ ؛ سەلبىي فوتوگرافقا نىسبەتەن ، ئويلىمىغان رايون ئېرىپ كېتىدۇ) ، بۇ ئارقىلىق ماسلاشتۇرۇلغان توك يولى ئەندىزىسىنىڭ ماسكا ئاستىدىن ئاستىغا يۆتكىلىشىنى ئەمەلگە ئاشۇرىدۇ.
فوتوگرافنىڭ تەركىبلىرى ئاساسلىقى فىلىم ھاسىل قىلىدىغان رېشاتكا ، سەزگۈرلۈك تەركىبلىرى ، ئىز خۇرۇچى ۋە ئېرىتكۈچىنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ.
بۇنىڭ ئىچىدە ، فىلىم ھاسىل قىلىدىغان رېشاتكا مېخانىكىلىق خۇسۇسىيەت ۋە قىچىشىشقا قارشى تۇرۇش ئۈچۈن ئىشلىتىلىدۇ. نۇر سەزگۈر تەركىب نۇر ئاستىدا خىمىيىلىك ئۆزگىرىشلەرنى باشتىن كەچۈرۈپ ، ئېرىتىش سۈرئىتىنىڭ ئۆزگىرىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ.
ئىز خۇرۇچى بوياق ، يېپىشقاقلىقنى كۈچەيتكۈچ قاتارلىقلارنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ ، بۇلار فوتوگرافنىڭ ئىقتىدارىنى ياخشىلاشقا ئىشلىتىلىدۇ. ئېرىتكۈچى زاپچاسلارنى ئېرىتىش ۋە تەكشى ئارىلاشتۇرۇشقا ئىشلىتىلىدۇ.
ھازىر كەڭ كۆلەمدە ئىشلىتىلىۋاتقان فوتوگرافلارنى فوتو-خىمىيىلىك رېئاكسىيە مېخانىزىمىغا ئاساسەن ئەنئەنىۋى فوتوگرافلار ۋە خىمىيىلىك كۈچەيتىلگەن فوتوگرافلارغا ئايرىشقا بولىدۇ ، شۇنداقلا ئۇلترا بىنەپشە ، چوڭقۇر ئۇلترا بىنەپشە ، ھەددىدىن زىيادە ئۇلترا بىنەپشە ، ئېلېكترونلۇق نۇر ، ئىئون نۇرى ۋە رېنتىگېن نۇرى فوتوگرافلىرىغا بۆلۈشكە بولىدۇ. سەزگۈرلۈكنىڭ دولقۇن ئۇزۇنلۇقى.
تۆت فوتوگرافلىق ئۈسكۈنىسى
فوتوگرافوگرافىيە تېخنىكىسى ئالاقىلىشىش / يېقىنلىشىش تاش مەتبەئە ، ئوپتىكىلىق تەسۋىر كۆچۈرۈش ، قەدەممۇ-قەدەم تەكرارلاش ، سىكانېرلاش تاش مەتبەئە ، چۆمۈلدۈرۈش تاش مەتبەئە ۋە EUV تاش مەتبەئەنىڭ تەرەققىيات جەريانىنى باشتىن كەچۈردى.
4.1 ئالاقىلىشىش / يېقىنلىق لىتوگرافىيە ماشىنىسى
ئالاقىلىشىش تاش مەتبەئە تېخنىكىسى 1960-يىللاردا پەيدا بولۇپ ، 70-يىللاردا كەڭ قوللىنىلغان. ئۇ كىچىك كۆلەمدىكى توپلاشتۇرۇلغان توك يولى دەۋرىدىكى ئاساسلىق تاش مەتبەئە ئۇسۇلى بولۇپ ، ئاساسلىقى ئىقتىدار چوڭلۇقى 5 مىللىمېتىردىن چوڭ بولغان توپلاشتۇرۇلغان توك يولى ئىشلەپچىقىرىشقا ئىشلىتىلگەن.
ئالاقىلىشىش / يېقىنلىشىش مەتبەئە ماشىنىسىدا ، ۋافېر ئادەتتە قولدا كونترول قىلىنىدىغان گورىزونتال ئورۇنغا ۋە ئايلانما خىزمەت جەدۋىلىگە قويۇلىدۇ. تىجارەتچى دىسكا مەيدانى مىكروسكوپ ئارقىلىق ماسكا ۋە ۋافېرنىڭ ئورنىنى بىرلا ۋاقىتتا كۆزىتىدۇ ھەمدە ماسكا ۋە ۋافېرنى توغرىلاش ئۈچۈن خىزمەت جەدۋىلىنىڭ ئورنىنى قولدا كونترول قىلىدۇ. ۋافېر بىلەن ماسكا ماسلاشتۇرۇلغاندىن كېيىن ، ئىككىسى بىللە بېسىلىدۇ ، بۇنداق بولغاندا ماسكا ۋافېر يۈزىدىكى فوتوگراف بىلەن بىۋاسىتە ئۇچرىشىدۇ.
مىكروسكوپ ئوبيېكتىنى ئېلىۋەتكەندىن كېيىن ، بېسىلغان ۋافېر ۋە ماسكا ئاشكارلىنىش جەدۋىلىگە يۆتكىلىپ ئاشكارلىنىدۇ. سىماب چىرىغى تارقاتقان نۇر لىنزا ئارقىلىق ماسكا بىلەن پاراللېل بولىدۇ. ماسكا ۋافېردىكى فوتوگراف قەۋىتى بىلەن بىۋاسىتە ئالاقىلاشقانلىقتىن ، ماسكا ئەندىزىسى ئاشكارلانغاندىن كېيىن 1: 1 نىسبەتتە فوتوگراف قەۋىتىگە يۆتكىلىدۇ.
ئالاقىلىشىش تاش مەتبەئە ئۈسكۈنىلىرى ئەڭ ئاددىي ۋە تېجەشلىك ئوپتىكىلىق تاش مەتبەئە ئۈسكۈنىسى بولۇپ ، مىكرو مىكرو ئىقتىدارنىڭ چوڭ-كىچىكلىكى گرافىكلىرىنىڭ ئاشكارىلىنىشىنى ئەمەلگە ئاشۇرالايدۇ ، شۇڭا ئۇ يەنىلا كىچىك تۈركۈمدىكى مەھسۇلات ئىشلەپچىقىرىش ۋە تەجرىبىخانا تەتقىقاتىدا ئىشلىتىلىدۇ. كەڭ كۆلەمدە توپلاشتۇرۇلغان توك يولى ئىشلەپچىقىرىشتا ، يېقىنلىق تاش مەتبەئە تېخنىكىسى قوللىنىلىپ ، ماسكا بىلەن ۋافېر ئوتتۇرىسىدا بىۋاسىتە ئۇچرىشىش كەلتۈرۈپ چىقارغان تاش مەتبەئە تەننەرخىنىڭ ئېشىشىنىڭ ئالدىنى ئېلىش كېرەك.
يېقىن ئەتراپتىكى تاش مەتبەئە ئالدىنقى ئەسىرنىڭ 70-يىللىرىدا كىچىك تىپتىكى توپلاشتۇرۇلغان توك يولى ۋە ئوتتۇرا تىپتىكى توپلاشتۇرۇلغان توك يولىنىڭ دەسلەپكى دەۋرىدە كەڭ قوللىنىلغان. ئالاقىلىشىش تاش مەتبەئەگە ئوخشىمايدىغىنى ، يېقىن تاش مەتبەئەدىكى ماسكا ۋافېردىكى فوتوگراف بىلەن بىۋاسىتە ئالاقىلاشمايدۇ ، ئەمما ئازوت بىلەن تولغان بوشلۇق قالدى. ماسكا ئازوت ئۈستىدە لەيلەيدۇ ، ماسكا بىلەن ۋافېر ئوتتۇرىسىدىكى پەرقنىڭ چوڭ-كىچىكلىكى ئازوت بېسىمى تەرىپىدىن بەلگىلىنىدۇ.
يېقىن ئەتراپتىكى تاش مەتبەئەدە ۋافېر بىلەن ماسكا ئوتتۇرىسىدا بىۋاسىتە ئالاقە بولمىغاچقا ، تاش مەتبەئە جەريانىدا تونۇشتۇرۇلغان كەمتۈكلۈكلەر ئازىيىدۇ ، بۇنىڭ بىلەن ماسكا يوقىتىلىدۇ ۋە ۋافېرنىڭ ھوسۇلى ياخشىلىنىدۇ. يېقىن ئەتراپتىكى تاش مەتبەئەدە ، ۋافېر بىلەن ماسكا ئوتتۇرىسىدىكى بوشلۇق ۋافېرنى فرېسنېل دىففراكسىيە رايونىغا قويىدۇ. دىففراكسىيەنىڭ مەۋجۇتلۇقى يېقىن ئەتراپتىكى تاش مەتبەئە ئۈسكۈنىلىرىنىڭ ئېنىقلىق دەرىجىسىنى تېخىمۇ يۇقىرى كۆتۈرۈشنى چەكلەيدۇ ، شۇڭا بۇ تېخنىكا ئاساسلىقى 3 مىللىمېتىردىن يۇقىرى ئىقتىدار چوڭلۇقىدىكى توپلاشتۇرۇلغان توك يولى ئىشلەپچىقىرىشقا ماس كېلىدۇ.
4.2 Stepper and Repeater
بۇ پەلەمپەيسىمان ۋاگون تاش مەتبەئە تارىخىدىكى ئەڭ مۇھىم ئۈسكۈنىلەرنىڭ بىرى بولۇپ ، ئۇ مىكرو مىكرو تاش مەتبەئە جەريانىنى تۈركۈملەپ ئىشلەپچىقىرىشقا ئىلگىرى سۈردى. پەلەمپەيسىمان تىپىك تۇراقلىق ئاشكارلىنىش مەيدانى 22mm × 22mm ۋە ئوپتىكىلىق تەسۋىر لىنزىسى ئىشلىتىش نىسبىتى 5: 1 ياكى 4: 1 بولۇپ ، ماسكا ئۈستىدىكى ئەندىزىنى ۋافېرغا يۆتكەيدۇ.
باسقۇچلۇق ۋە تەكرارلانغان تاش مەتبەئە ماشىنىسى ئادەتتە ئاشكارىلاش تارماق سىستېمىسى ، خىزمەت باسقۇچى باسقۇچى تارماق سىستېمىسى ، ماسكا باسقۇچى تارماق سىستېمىسى ، فوكۇس توغرىلاش / تۈزلەش تارماق سىستېمىسى ، توغرىلاش تارماق سىستېمىسى ، ئاساسلىق رامكا تارماق سىستېمىسى ، ۋافېر يۆتكەش تارماق سىستېمىسى ، ماسكا يۆتكەش تارماق سىستېمىسىدىن تەركىب تاپىدۇ. ، ئېلېكترونلۇق تارماق سىستېما ۋە يۇمشاق دېتال تارماق سىستېمىسى.
باسقۇچلۇق ۋە تەكرارلانغان تاش مەتبەئە ماشىنىسىنىڭ تىپىك خىزمەت جەريانى تۆۋەندىكىچە:
بىرىنچىدىن ، فوتوگراف بىلەن سىرلانغان ۋافېر ۋافېر يۆتكەش تارماق سىستېمىسىنى ئىشلىتىپ خىزمەت جەدۋىلىگە يۆتكىلىدۇ ، ئاشكارلىنىدىغان ماسكا ماسكا يۆتكەش تارماق سىستېمىسىنى ئىشلىتىپ ماسكا جەدۋىلىگە يۆتكىلىدۇ.
ئاندىن ، بۇ سىستېما فوكۇس توغرىلاش / تۈزلەش تارماق سىستېمىسىدىن پايدىلىنىپ ، خىزمەت باسقۇچىدىكى ۋافېردا كۆپ نۇقتىنى بويلاپ ئۆلچەش ئېلىپ بېرىپ ، ئاشكارلىنىدىغان ۋافېر يۈزىنىڭ ئېگىزلىكى ۋە يانتۇ بۇلۇڭى قاتارلىق ئۇچۇرلارغا ئېرىشىدۇ. ۋافېر ئاشكارلىنىش جەريانىدا ھەمىشە مۆلچەر ئوبيېكتىنىڭ فوكۇس چوڭقۇرلۇقىدا كونترول قىلىنالايدۇ.ئۇنىڭدىن كېيىن ، بۇ سىستېما ماسلاشتۇرۇش تارماق سىستېمىسىدىن پايدىلىنىپ ماسكا ۋە ۋافېرنى توغرىلايدۇ ، شۇڭا ئاشكارلىنىش جەريانىدا ماسكا رەسىمى ۋە ۋافېر ئەندىزىسىنىڭ يۆتكىلىش ئورنىنىڭ توغرىلىقى ھەمىشە قاپلاش تەلىپى ئىچىدە بولىدۇ.
ئاخىرىدا ، پۈتكۈل ۋافېر يۈزىنىڭ قەدەم-باسقۇچلۇق ھەرىكەتلىرى بەلگىلەنگەن يول بويىچە تاماملىنىپ ، ئەندىزە يۆتكەش ئىقتىدارىنى ئەمەلگە ئاشۇرىدۇ.
كېيىنكى قەدەم باسقۇچلۇق ۋە سىكانېرلاش مەتبەئە ماشىنىسى يۇقارقى ئاساسىي خىزمەت جەريانىنى ئاساس قىلىپ ، قەدەم باسقۇچلۇق → سىكانېرلاش → ئاشكارىلاشنى ياخشىلاش ۋە فوكۇس توغرىلاش / توغرىلاش → توغرىلاش → قوش باسقۇچلۇق مودېلنىڭ تەسىرىنى ئۆلچەش (فوكۇسلاش / توغرىلاش → توغرىلاش) ۋە سىكانىرلاشنى ياخشىلايدۇ. پاراللېل ھالدا ئاشكارلىنىش.
قەدەم باسقۇچلۇق سىكانىرلاش تاش مەتبەئە ماشىنىسى بىلەن سېلىشتۇرغاندا ، قەدەممۇ-قەدەم تەكرارلىنىدىغان تاش مەتبەئە ماشىنىسى ماسكا ۋە ۋافېرنىڭ ماس قەدەملىك تەتۈر سىكانىرلاشنى ئەمەلگە ئاشۇرۇشىنىڭ ھاجىتى يوق ، شۇنداقلا سىكانېرلاش ماسكىسى جەدۋىلى ۋە ماس قەدەملىك سىكانېرلاش كونترول سىستېمىسى تەلەپ قىلمايدۇ. شۇڭلاشقا ، قۇرۇلمىسى بىر قەدەر ئاددىي ، تەننەرخى بىر قەدەر تۆۋەن ، مەشغۇلات ئىشەنچلىك.
IC تېخنىكىسى 0.25 مىللىمېتىرغا كىرگەندىن كېيىن ، قەدەم-باسقۇچلۇق سىفىرلىق تاش مەتبەئەنىڭ سىكانېرلاش مەيدانىنىڭ چوڭ-كىچىكلىكى ۋە ئاشكارلىنىشنىڭ بىردەكلىكى سەۋەبىدىن ، باسقۇچلۇق ۋە تەكرارلانغان تاش مەتبەئەنىڭ قوللىنىلىشى تۆۋەنلەشكە باشلىدى. ھازىر ، نىكون تەمىنلىگەن ئەڭ يېڭى باسقۇچلۇق ۋە تەكرارلانغان تاش مەتبەئەنىڭ تۇراقلىق ئاشكارىلاش مەيدانى بار بولۇپ ، قەدەم باسقۇچلۇق سىكانېرلاش تاش مەتبەئەگە ئوخشاش چوڭ بولۇپ ، سائىتىگە 200 دىن ئارتۇق ۋافېرنى بىر تەرەپ قىلالايدۇ ، ئىشلەپچىقىرىش ئۈنۈمى ئىنتايىن يۇقىرى. بۇ خىل تاش مەتبەئە ماشىنىسى ھازىر ھالقىلىق بولمىغان IC قەۋىتىنى ياساشقا ئىشلىتىلىدۇ.
4.3 Stepper Scanner
باسقۇچلۇق ۋە سىكانېرلاش تاش مەتبەئەنىڭ قوللىنىلىشى 1990-يىللاردا باشلانغان. ئوخشىمىغان ئاشكارلىنىش نۇر مەنبەسىنى تەڭشەش ئارقىلىق ، باسقۇچلۇق ۋە سىكانېرلاش تېخنىكىسى 365nm ، 248nm ، 193nm دىن EUV تاش مەتبەئەگە قەدەر ئوخشىمىغان جەريان تېخنىكا تۈگۈنىنى قوللايدۇ. قەدەممۇ-قەدەم تەكرارلانغان تاش مەتبەئەگە ئوخشىمايدىغىنى ، باسقۇچلۇق ۋە سىكانېرلاش تاش مەتبەئەنىڭ يەككە مەيدان تەسىرى ھەرىكەتچان سىكانىرلاشنى قوللىنىدۇ ، يەنى ماسكا تاختىسى سىفىرلاش ھەرىكىتىنى ۋافېرغا سېلىشتۇرغاندا ماس قەدەمدە تاماملايدۇ. نۆۋەتتىكى مەيدان ئاشكارىلاش تاماملانغاندىن كېيىن ، ۋافېر خىزمەت باسقۇچى تەرىپىدىن ئېلىپ بېرىلىپ ، كېيىنكى سىكانېرلاش مەيدانىغا قەدەم قويىدۇ ۋە قايتا-قايتا ئاشكارلىنىش داۋاملىشىدۇ. پۈتۈن ۋافېرنىڭ ھەممە ساھەلىرى ئاشكارىلانغۇچە قەدەم-باسقۇچلۇق تەكشۈرۈشنى كۆپ قېتىم تەكرارلاڭ.
ئوخشىمىغان تىپتىكى نۇر مەنبەلىرىنى تەڭشەش ئارقىلىق (مەسىلەن i-line ، KrF ، ArF) ، قەدەم باسقۇچلۇق سايىلىغۇچ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئالدى يۈز جەريانىدىكى بارلىق تېخنىكا تۈگۈنىنى قوللىيالايدۇ. تىپىك كرېمنىينى ئاساس قىلغان CMOS جەريانلىرى 0.18 mm تۈگۈندىن باشلاپ كۆپ مىقداردا قەدەم باسقۇچلۇق سايىلىغۇچ قوللاندى. دەرىجىدىن تاشقىرى ئۇلترا بىنەپشە (EUV) تاش مەتبەئە ماشىنىسى ھازىر 7nm دىن تۆۋەن بولغان جەريان تۈگۈنىدە ئىشلىتىلىدۇ. قىسمەن ماسلىشىشچان ئۆزگەرتىشتىن كېيىن ، قەدەم باسقۇچلۇق سايىلىغۇچ يەنە MEMS ، ئېلېكتر ئۈسكۈنىلىرى ۋە RF ئۈسكۈنىلىرى قاتارلىق كرېمنىيدىن باشقا نۇرغۇن جەريانلارنى تەتقىق قىلىش ۋە تەرەققىي قىلدۇرۇشنى قوللايدۇ.
قەدەم باسقۇچلۇق سىكانېرلاش پروگراممىسىنىڭ ئاساسلىق ئىشلەپچىقارغۇچىلىرى ASML (گوللاندىيە) ، نىكون (ياپونىيە) ، Canon (ياپونىيە) ۋە SMEE (جۇڭگو) قاتارلىقلارنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ. ASML 2001-يىلى TWINSCAN يۈرۈشلۈك قەدەم باسقۇچلۇق سىكانېرلاش تاش مەتبەئە ماشىنىسىنى چىقاردى. ئۇ قوش باسقۇچلۇق سىستېما قۇرۇلمىسىنى قوللانغان بولۇپ ، ئۈسكۈنىلەرنىڭ چىقىرىش نىسبىتىنى ئۈنۈملۈك يۇقىرى كۆتۈرەلەيدۇ ھەمدە ئەڭ كەڭ قوللىنىلغان ئالىي دەرىجىلىك تاش مەتبەئە ماشىنىسىغا ئايلاندى.
4.4 چۆمۈلدۈرۈش لىتوگرافىيىسى
Rayleigh فورمۇلاسىدىن كۆرۈۋېلىشقا بولىدۇكى ، ئاشكارلىنىش دولقۇنى ئۇزۇنلۇقى ئۆزگەرمىگەندە ، تەسۋىر ئېنىقلىقىنى تېخىمۇ ياخشىلاشنىڭ ئۈنۈملۈك ئۇسۇلى تەسۋىر سىستېمىسىنىڭ سان ئېنىقلىقىنى ئاشۇرۇش. 45nm ۋە ئۇنىڭدىن يۇقىرى تەسۋىر ھاسىل قىلىش ئېنىقلىمىسى ئۈچۈن ، ArF قۇرۇق ئاشكارىلاش ئۇسۇلى ئەمدى تەلەپكە يېتەلمەيدۇ (چۈنكى ئۇ ئەڭ چوڭ تەسۋىر ھاسىل قىلىش ئېنىقلىقى 65nm) ، شۇڭا چۆمۈلدۈرۈش تاش مەتبەئە ئۇسۇلىنى تونۇشتۇرۇش كېرەك. ئەنئەنىۋى تاش مەتبەئە تېخنىكىسىدا ، لىنزا بىلەن فوتوگرافنىڭ ئوتتۇرىسى ھاۋا ، سۇغا چۆمۈلۈش تاش مەتبەئە تېخنىكىسى بولسا ھاۋا ۋاسىتىسىنى سۇيۇقلۇق بىلەن ئالماشتۇرىدۇ (ئادەتتە ئۇلترا بىنەپشە سۇنىڭ سۇندۇرۇش كۆرسەتكۈچى 1.44).
ئەمەلىيەتتە ، چۆمۈلدۈرۈش تاش مەتبەئە تېخنىكىسى نۇرنىڭ سۇيۇقلۇق ۋاستىدىن ئۆتكەندىن كېيىن نۇر مەنبەسىنىڭ دولقۇن ئۇزۇنلۇقىنىڭ قىسقارتىلىشىنى ئىشلىتىپ ئېنىقلىق دەرىجىسىنى ئۆستۈرىدۇ ، قىسقارتىش نىسبىتى بولسا سۇيۇقلۇقنىڭ سۇندۇرۇش كۆرسەتكۈچى. گەرچە چۆمۈلدۈرۈش تاش مەتبەئە ماشىنىسى بىر قەدەم باسقۇچلۇق سىكانېرلاش تاش مەتبەئە ماشىنىسى بولۇپ ، ئۇنىڭ ئۈسكۈنىلەر سىستېمىسى ھەل قىلىش چارىسى ئۆزگەرمىگەن بولسىمۇ ، ئەمما مۇناسىۋەتلىك مۇھىم تېخنىكىلارنىڭ ئوتتۇرىغا چىقىشى سەۋەبىدىن ئۇ ArF قەدەم باسقۇچلۇق سىكانىرلاش تاش مەتبەئە ماشىنىسىنى ئۆزگەرتىش ۋە كېڭەيتىش. چۆمۈلدۈرۈش.
چۆمۈلدۈرۈش تاش مەتبەئەنىڭ ئەۋزەللىكى شۇكى ، سىستېمىنىڭ سانلىق ئېنىقلىق دەرىجىسىنىڭ ئۆسۈشىگە ئەگىشىپ ، قەدەم باسقۇچلۇق سىكانېرلىق تاش مەتبەئە ماشىنىسىنىڭ تەسۋىر ھاسىل قىلىش ئىقتىدارى يۇقىرى كۆتۈرۈلۈپ ، 45nm دىن تۆۋەن بولغان تەسۋىر ئېنىقلاش جەريانىدىكى تەلەپكە ماس كېلىدۇ.
چۆمۈلدۈرۈش تاش مەتبەئە ماشىنىسى يەنىلا ArF نۇر مەنبەسىنى ئىشلىتىدىغان بولغاچقا ، جەرياننىڭ ئىزچىللىقىغا كاپالەتلىك قىلىپ ، يورۇقلۇق مەنبەسى ، ئۈسكۈنىلەر ۋە جەرياننىڭ تەتقىق قىلىپ ئېچىش تەننەرخىنى تېجەيدۇ. مۇشۇ ئاساستا ، كۆپ خىل گرافىك ۋە ھېسابلاش تاش مەتبەئە تېخنىكىسى بىلەن بىرلەشتۈرۈلۈپ ، چۆمۈلدۈرۈش تاش مەتبەئە ماشىنىسىنى 22nm ۋە ئۇنىڭدىن تۆۋەن بولغان جەريان تۈگۈنلىرىدە ئىشلىتىشكە بولىدۇ. EUV تاش مەتبەئە ماشىنىسى رەسمىي ئىشلەپچىقىرىشقا كىرىشتىن ئىلگىرى ، چۆمۈلدۈرۈش تاش مەتبەئە ماشىنىسى كەڭ كۆلەمدە ئىشلىتىلگەن بولۇپ ، 7nm تۈگۈننىڭ جەريان تەلىپىنى قاندۇرالايدۇ. قانداقلا بولمىسۇن ، چۆمۈلدۈرۈش سۇيۇقلۇقىنىڭ ئوتتۇرىغا چىقىشى سەۋەبىدىن ، ئۈسكۈنىلەرنىڭ قۇرۇلۇش قىيىنلىقى كۆرۈنەرلىك ئاشتى.
ئۇنىڭ ئاچقۇچلۇق تېخنىكىلىرى سۇغا چۆكۈش سۇيۇقلۇقى بىلەن تەمىنلەش ۋە ئەسلىگە كەلتۈرۈش تېخنىكىسى ، سۇغا چۆمۈلۈش سۇيۇقلۇقىنى ئاسراش تېخنىكىسى ، چۆمۈلدۈرۈلگەن تاش مەتبەئەنىڭ بۇلغىنىشى ۋە كەمتۈكلۈكنى كونترول قىلىش تېخنىكىسى ، دەرىجىدىن تاشقىرى چوڭ رەقەملىك نۇرغا چۆمۈلۈش مۆلچەرى لىنزىسىنى ئېچىش ۋە ئاسراش ، چۆمۈلدۈرۈش شارائىتىدا تەسۋىر ھاسىل قىلىش تېخنىكىسىنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ.
ھازىر سودا خاراكتېرلىك ArFi قەدەم باسقۇچلۇق سىكانېرلاش تاش مەتبەئە ماشىنىسىنى ئاساسلىقى گوللاندىيەنىڭ ASML ۋە ياپونىيەنىڭ نىكوندىن ئىبارەت ئىككى شىركەت تەمىنلەيدۇ. بۇنىڭ ئىچىدە يەككە ASML NXT1980 Di نىڭ باھاسى تەخمىنەن 80 مىليون ياۋرو.
4.4 دەرىجىدىن تاشقىرى ئۇلترا بىنەپشە نۇرلۇق ماشىنا
فوتوگرافنىڭ ئېنىقلىق دەرىجىسىنى يۇقىرى كۆتۈرۈش ئۈچۈن ، ھاياجانلىنىش نۇر مەنبەسى قوبۇل قىلىنغاندىن كېيىن ، تەسىر دولقۇنىنىڭ ئۇزۇنلۇقى تېخىمۇ قىسقىرايدۇ ، دولقۇن ئۇزۇنلۇقى 10 دىن 14 nm غىچە بولغان دەرىجىدىن تاشقىرى ئۇلترا بىنەپشە نۇر ئاشكارلىنىدۇ. دەرىجىدىن تاشقىرى ئۇلترا بىنەپشە نۇرنىڭ دولقۇن ئۇزۇنلۇقى ئىنتايىن قىسقا بولۇپ ، ئىشلىتىشكە بولىدىغان نۇر قايتۇرۇش ئوپتىكىلىق سىستېمىسى ئادەتتە Mo / Si ياكى Mo / Be قاتارلىق كۆپ قەۋەتلىك فىلىم نۇر قايتۇرغۇچتىن تەركىب تاپىدۇ.
بۇنىڭ ئىچىدە ، Mo / Si كۆپ قەۋەتلىك فىلىمنىڭ دولقۇن ئۇزۇنلۇقى 13.0 دىن 13.5nm ئارىلىقىدىكى نەزەرىيىۋى ئەڭ يۇقىرى ئەكس ئەتتۈرۈش نىسبىتى تەخمىنەن% 70 ، قىسقا دولقۇن ئۇزۇنلۇقى 11.1nm بولغان Mo / Be كۆپ قەۋەتلىك فىلىمنىڭ نەزەرىيىۋى ئەڭ يۇقىرى ئەكس ئەتتۈرۈش نىسبىتى% 80 ئەتراپىدا. گەرچە Mo / Be كۆپ قەۋەتلىك كىنو نۇر قايتۇرغۇچنىڭ نۇر قايتۇرۇشچانلىقى يۇقىرى بولسىمۇ ، Be ئىنتايىن زەھەرلىك ، شۇڭا EUV تاش مەتبەئە تېخنىكىسىنى تەرەققىي قىلدۇرغاندا بۇ خىل ماتېرىياللارنى تەتقىق قىلىش تاشلىۋېتىلدى.ھازىرقى EUV تاش مەتبەئە تېخنىكىسىدا Mo / Si كۆپ قەۋەتلىك فىلىم ئىشلىتىلگەن ، ئۇنىڭ ئاشكارلىنىش دولقۇن ئۇزۇنلۇقىمۇ 13.5nm دەپ بېكىتىلگەن.
ئاساسىي ئېقىندىكى ئۇلترا بىنەپشە نۇر مەنبەسىدە لازېر ئىشلەپچىقارغان پلازما (LPP) تېخنىكىسى قوللىنىلغان بولۇپ ، يۇقىرى بېسىملىق لازېر ئىشلىتىپ ئىسسىق ئېرىتىلگەن Sn پلازمىسىنى قوزغىتىپ نۇر تارقىتىدۇ. ئۇزۇندىن بۇيان ، يورۇقلۇق مەنبەسىنىڭ كۈچى ۋە مەۋجۇتلۇقى EUV تاش مەتبەئە ماشىنىلىرىنىڭ ئۈنۈمىنى چەكلەيدىغان توسالغۇ بولۇپ كەلدى. ئاساسلىق تەۋرىنىش قۇۋۋىتى كۈچەيتكۈچ ، ئالدىن پەرەز قىلىش پلازمىسى (PP) تېخنىكىسى ۋە دەل جايىدا يىغىش ئەينىكىنى تازىلاش تېخنىكىسى ئارقىلىق ، EUV نۇر مەنبەسىنىڭ كۈچى ۋە مۇقىملىقى زور دەرىجىدە ياخشىلاندى.
EUV تاش مەتبەئە ماشىنىسى ئاساسلىقى يورۇقلۇق مەنبەسى ، يورۇتۇش ، ئوبيېكتىپ لىنزا ، خىزمەت باسقۇچى ، ماسكا باسقۇچى ، ۋافېر توغرىلاش ، فوكۇس توغرىلاش / توغرىلاش ، ماسكا يەتكۈزۈش ، ۋافېر يەتكۈزۈش ۋە ۋاكۇئۇم رامكىسى قاتارلىق تارماق سىستېمىلاردىن تەركىب تاپقان. كۆپ قەۋەتلىك سىرلانغان نۇر قايتۇرغۇچتىن تەركىب تاپقان يورۇتۇش سىستېمىسىدىن ئۆتكەندىن كېيىن ، ئۇلترا بىنەپشە نۇر نۇر قايتۇرۇش ماسكىسىدا نۇرلىنىدۇ. ماسكا ئەكىس ئەتتۈرگەن نۇر بىر يۈرۈش نۇر قايتۇرغۇچتىن تەركىب تاپقان ئوپتىكىلىق ئومۇمىي نۇر قايتۇرۇش تەسۋىر سىستېمىسىغا كىرىدۇ ، ئاخىرىدا ماسكانىڭ ئەكىس ئەتتۈرۈلگەن سۈرىتى ۋاكۇئۇم مۇھىتىدا ۋافېر يۈزىدە مۆلچەرلىنىدۇ.
EUV تاش مەتبەئە ماشىنىسىنىڭ كۆرۈنۈش مەيدانى ۋە تەسۋىر ھاسىل قىلىش مەيدانى ھەر ئىككىسى ئەگمە شەكىللىك بولۇپ ، قەدەممۇ-قەدەم سىكاننېرلاش ئۇسۇلى قوللىنىلىپ ، ۋافېرنىڭ تولۇق ئاشكارلىنىشىنى ئىشقا ئاشۇرۇپ ، مەھسۇلات نىسبىتىنى ئۆستۈرىدۇ. ASML نىڭ ئەڭ ئىلغار NXE يۈرۈشلۈك EUV تاش مەتبەئە ماشىنىسىدا دولقۇن ئۇزۇنلۇقى 13.5nm بولغان نۇر قايتۇرۇش مەنبەسى ئىشلىتىلگەن ، نۇر قايتۇرۇش ماسكىسى (6 ° يانتۇ يۈز بېرىش) ، 6 ئەينەك قۇرۇلما (NA = 0.33) بولغان 4x تۆۋەنلىتىش نۇر قايتۇرۇش ئوبيېكتىپ سىستېمىسى ، a. سىكانىرلاش مەيدانى 26mm × 33mm ، ۋاكۇئۇملۇق مۇھىت.
چۆمۈلدۈرۈش تاش مەتبەئە ماشىنىسىغا سېلىشتۇرغاندا ، ياۋروپا ئۇلترا بىنەپشە نۇر مەنبەسىدىن پايدىلىنىپ ياۋروپا ئىتتىپاقى تاش مەتبەئە ماشىنىلىرىنىڭ يەككە ئاشكارلىنىش ئېنىقلىق دەرىجىسى زور دەرىجىدە يۇقىرى كۆتۈرۈلۈپ ، كۆپ خىل فوتوگرافنىڭ يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى گرافىك ھاسىل قىلىشى ئۈچۈن تەلەپ قىلىنغان مۇرەككەپ جەرياندىن ئۈنۈملۈك ساقلانغىلى بولىدۇ. ھازىر ، NXE 3400B تاش مەتبەئە ماشىنىسىنىڭ يەككە ئاشكارلىنىش ئېنىقلىق دەرىجىسى 0.33 گە يېتىدۇ ، چىقىرىش نىسبىتى 125 پارچە / سائەتكە يېتىدۇ.
مور قانۇنىنى يەنىمۇ كېڭەيتىشنىڭ ئېھتىياجىنى قاندۇرۇش ئۈچۈن ، كەلگۈسىدە ساننىڭ ئېنىقلىق دەرىجىسى 0.5 بولغان EUV تاش مەتبەئە ماشىنىسى مەركىزى يورۇقلۇقنى توسۇش ئارقىلىق مۆلچەر ئوبيېكتىپ سىستېمىسىنى قوللىنىدۇ ، سىممېترىك بولمىغان چوڭايتىش 0.25 ھەسسە / 0.125 ھەسسە بولىدۇ. سىكانىرلاشنىڭ كۆرۈش دائىرىسى 26m × 33mm دىن 26mm × 16.5mm غا قىسقارتىلىدۇ ، يەككە ئاشكارىلاش ئېنىقلىقى 8nm دىن تۆۋەن بولىدۇ.
—————————————————————————————— ————————————
Semicera تەمىنلەيدۇگرافىك زاپچاسلىرى, يۇمشاق / قاتتىق تۇيغۇ, كرېمنىي كاربون زاپچاسلىرى, CVD كرېمنىي كاربون زاپچاسلىرى, andSiC / TaC قاپلانغان زاپچاسلار30 كۈن ئىچىدە تولۇق يېرىم ئۆتكۈزگۈچ جەريان بىلەن.
ئەگەر يۇقارقى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ مەھسۇلاتلىرىغا قىزىقسىڭىز ،ئالدى بىلەن بىز بىلەن ئالاقىلىشىڭ.
تېلېفون: + 86-13373889683
WhatsAPP: + 86-15957878134
Email: sales01@semi-cera.com
يوللانغان ۋاقتى: 31-ئاۋغۇستتىن 20-ئاۋغۇستقىچە