1. توپلاشتۇرۇلغان توك يولى ھەققىدە
1.1 توپلاشتۇرۇلغان توك يولى ئۇقۇمى ۋە تۇغۇلۇشى
توپلاشتۇرۇلغان توك يولى (IC): بىر يۈرۈش ئالاھىدە پىششىقلاپ ئىشلەش تېخنىكىسى ئارقىلىق تىرانسىستور ۋە دىئود قاتارلىق ئاكتىپ ئۈسكۈنىلەرنى قارشىلىق كۆرسەتكۈچى ۋە كوندېنساتور قاتارلىق پاسسىپ زاپچاسلار بىلەن بىرلەشتۈرگەن ئۈسكۈنىنى كۆرسىتىدۇ.
يېرىم ئۆتكۈزگۈچتە «بىرىكتۈرۈلگەن» توك يولى ياكى سىستېما (كرېمنىي ياكى گاللىي ئارسېنغا ئوخشاش بىرىكمىلەرگە ئوخشاش) ۋافېر مەلۇم توك يولى ئۆز-ئارا ئۇلىنىشىغا ئاساسەن ۋافېردىن كېيىن ئاندىن قېپىغا ئوراپ ئالاھىدە ئىقتىدارلارنى ئىجرا قىلىدۇ.
1958-يىلى ، تېكساس ئەسۋابلىرى (TI) دىكى ئېلېكترونلۇق ئۈسكۈنىلەرنى كىچىكلىتىشكە مەسئۇل بولغان جەك كىلبى توپلاشتۇرۇلغان توك يولى ئىدىيىسىنى ئوتتۇرىغا قويدى:
«كوندېنساتور ، قارشىلىق كۆرسەتكۈچى ، ترانسېنىستور قاتارلىق بارلىق زاپچاسلار بىر ماتېرىيالدىن ياسالغان بولغاچقا ، ئۇلارنى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ماتېرىيالدا ياساپ ئاندىن ئۆز-ئارا ئۇلاپ تولۇق توك ھاسىل قىلغىلى بولىدۇ دەپ ئويلىدىم».
1958-يىلى 9-ئاينىڭ 12-كۈنى ۋە 9-ئاينىڭ 19-كۈنى ، كىلبى ئايرىم-ئايرىم ھالدا باسقۇچلۇق يۆتكىلىشچان تەۋرىنىش ۋە قوزغاتقۇچنى ئىشلەپچىقىرىش ۋە كۆرسىتىشنى تاماملاپ ، توپلاشتۇرۇلغان توك يولىنىڭ بارلىققا كەلگەنلىكىدىن دېرەك بېرىدۇ.
2000-يىلى كىلبى نوبېل فىزىكا مۇكاپاتىغا ئېرىشكەن. نوبېل مۇكاپات كومىتېتى بىر قېتىم كىلبىنىڭ «زامانىۋى ئۇچۇر تېخنىكىسىغا ئاساس سالغانلىقى» نى شەرھلىدى.
تۆۋەندىكى رەسىمدە Kilby ۋە ئۇنىڭ توپلاشتۇرۇلغان توك يولى پاتېنتى كۆرسىتىلدى:
1.2 يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساش تېخنىكىسىنى تەرەققىي قىلدۇرۇش
تۆۋەندىكى رەسىمدە يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساش تېخنىكىسىنىڭ تەرەققىيات باسقۇچلىرى كۆرسىتىلدى: 
1.3 توپلاشتۇرۇلغان توك يولى كەسپى زەنجىرى
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ كەسپى زەنجىرىنىڭ تەركىبى (ئاساسلىقى توپلاشتۇرۇلغان توك يولى ، جۈملىدىن دىسكا ئۈسكۈنىلىرىنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ) يۇقىرىدىكى رەسىمدە كۆرسىتىلدى:
- Fabless: ئىشلەپچىقىرىش لىنىيىسى بولمىغان مەھسۇلاتلارنى لايىھىلەيدىغان شىركەت.
- IDM: توپلاشتۇرۇلغان ئۈسكۈنە ئىشلەپچىقارغۇچى ، توپلاشتۇرۇلغان ئۈسكۈنە ئىشلەپچىقارغۇچى;
- IP: توك يولى مودۇلى ئىشلەپچىقارغۇچى
- EDA: ئېلېكترونلۇق لايىھىلەش ئاپتوماتىك ، ئېلېكترونلۇق لايىھىلەش ئاپتوماتلاشتۇرۇش ، شىركەت ئاساسلىقى لايىھىلەش قوراللىرى بىلەن تەمىنلەيدۇ.
- Foundry; Wafer زاۋۇتى ، ئۆزەك ئىشلەپچىقىرىش مۇلازىمىتى بىلەن تەمىنلەيدۇ
- ئوراپ قاچىلاش ۋە سىناق زاۋۇتى: ئاساسلىقى Fabless ۋە IDM غا مۇلازىمەت قىلىدۇ.
- ماتېرىيال ۋە ئالاھىدە ئۈسكۈنىلەر شىركىتى: ئاساسلىقى ئۆزەك ئىشلەپچىقىرىش شىركەتلىرىنى زۆرۈر ماتېرىيال ۋە ئۈسكۈنىلەر بىلەن تەمىنلەيدۇ.
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ تېخنىكىسىدىن پايدىلىنىپ ئىشلەپچىقىرىلغان ئاساسلىق مەھسۇلاتلار توپلاشتۇرۇلغان توك يولى ۋە يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىسى.
توپلاشتۇرۇلغان توك يولىنىڭ ئاساسلىق مەھسۇلاتلىرى:
- قوللىنىشچان كونكرېت ئۆلچەملىك زاپچاسلار (ASSP);
- مىكرو بىر تەرەپ قىلغۇچ بىرلىكى (MPU);
- ئەستە ساقلاش
- قوللىنىشچان كونكرېت توپلاشتۇرۇلغان توك يولى (ASIC);
- ئوخشىتىش توك يولى
- ئادەتتىكى لوگىكىلىق توك يولى (لوگىكىلىق توك يولى).
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ دىسكا ئۈسكۈنىلىرىنىڭ ئاساسلىق مەھسۇلاتلىرى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ:
- Diode;
- ترانسفورماتور;
- توك ئۈسكۈنىسى;
- يۇقىرى بېسىملىق ئۈسكۈنە;
- مىكرو دولقۇنلۇق ئۈسكۈنە;
- ئوپتىكىلىق ئېلېكترون مەھسۇلاتلىرى
- سېنزور ئۈسكۈنىسى (سېنزور).
2. توپلاشتۇرۇلغان توك يولى ئىشلەپچىقىرىش جەريانى
2.1 ئۆزەك ياساش
كرېمنىيلىق ۋافېردا ئون نەچچە ، ھەتتا ئونمىڭلىغان ئالاھىدە ئۆزەك بىرلا ۋاقىتتا ياسىلىدۇ. كرېمنىيلىق ۋافېردىكى ئۆزەكنىڭ سانى مەھسۇلاتنىڭ تۈرى ۋە ھەر بىر ئۆزەكنىڭ چوڭ-كىچىكلىكىگە باغلىق.
كرېمنىيلىق ۋافېر ئادەتتە تارماق بالا دەپ ئاتىلىدۇ. كرېمنىيلىق ۋافېرنىڭ دىئامېتىرى يىللارنىڭ ئۆتۈشىگە ئەگىشىپ كۆپىيىۋاتىدۇ ، باشتا 1 دىيۇمغىمۇ يەتمەي ، ھازىر دائىم ئىشلىتىلىدىغان 12 دىيۇم (تەخمىنەن 300 مىللىمېتىر) غىچە بولۇپ ، 14 دىيۇم ياكى 15 دىيۇمغا ئۆتتى.
ئۆزەك ياساش ئادەتتە كرېمنىيلىق ۋافېر تەييارلاش ، كرېمنىيلىق ۋافېر ياساش ، ئۆزەك سىناش / يىغىش ، قۇراشتۇرۇش ۋە ئوراش ۋە ئاخىرقى سىناقتىن ئىبارەت بەش باسقۇچقا بۆلىنىدۇ.
(1)كرېمنىيلىق ۋافېر تەييارلىقى:
خام ئەشيا ياساش ئۈچۈن كرېمنىي قۇمدىن چىقىرىلىپ ساپلاشتۇرۇلىدۇ. ئالاھىدە جەريان مۇۋاپىق دىئامېتىرى كرېمنىيدىن ياسالغان. ئاندىن كېيىن مىكرو ئۆزەك ياساش ئۈچۈن ئىنچىكە كرېمنىيلىق ۋافېرغا كېسىلىدۇ.
ۋافېرلار تىزىمغا ئالدۇرۇش تەلىپى ۋە بۇلغىنىش دەرىجىسى قاتارلىق كونكرېت ئۆلچەملەرگە تەييارلانغان.
(2)كرېمنىيلىق ۋافېر ياساش:
ئۆزەك ياساش دەپمۇ ئاتىلىدۇ ، يالىڭاچ كرېمنىيلىق ۋافېر كرېمنىيلىق ۋافېر ئىشلەپچىقىرىش زاۋۇتىغا يېتىپ كېلىدۇ ، ئاندىن ھەرخىل تازىلاش ، فىلىم ھاسىل قىلىش ، فوتوگرافىيە ، كاۋاپچىلىق ۋە دوپپا باسقۇچلىرىنى باشتىن كەچۈرىدۇ. پىششىقلاپ ئىشلەنگەن كرېمنىي ۋافېرنىڭ كرېمنىيلىق ۋافېرغا مەڭگۈلۈك ئورنىتىلغان بىر يۈرۈش توك يولى بار.
(3)كرېمنىيلىق ۋافېرنى سىناش ۋە تاللاش:
كرېمنىيلىق ۋافېر ئىشلەپچىقىرىش تاماملانغاندىن كېيىن ، كرېمنىيلىق ۋافېرلار سىناق / رەتلەش رايونىغا ئەۋەتىلىدۇ ، بۇ يەردە يەككە ئۆزەكلەر تەكشۈرۈلۈپ ئېلېكترونلۇق سىناق قىلىنىدۇ. ئاندىن قوبۇل قىلغىلى بولىدىغان ۋە قوبۇل قىلغىلى بولمايدىغان ئۆزەكلەر رەتلىنىپ ، كەمتۈك ئۆزەكلەرگە بەلگە قويۇلغان.
(4)قۇراشتۇرۇش ۋە ئوراش:
ۋافېرنى سىناش / رەتلەشتىن كېيىن ، ۋافېرلار قۇراشتۇرۇش ۋە ئوراپ قاچىلاش باسقۇچىغا كىرىپ ، ئايرىم ئۆزەكلەرنى قوغداش تۇرۇبىسىغا قاچىلايدۇ. ۋافېرنىڭ ئارقا تەرىپى يەر ئاستى سۈيىنىڭ قېلىنلىقىنى تۆۋەنلىتىدۇ.
ھەر بىر ۋافېرنىڭ كەينىگە قېلىن سۇلياۋ يوپۇق ئورنىتىلغان ، ئاندىن ئالماس ئۇلانغان تىغلىق ئەسۋاب ھەر بىر ۋافېردىكى ئۆزەكلەرنى ئالدى تەرەپتىكى پۈتۈك سىزىقلىرىنى بويلاپ ئايرىشقا ئىشلىتىلىدۇ.
كرېمنىيلىق ۋافېرنىڭ ئارقىسىدىكى سۇلياۋ يوپۇق كرېمنىي ئۆزىكىنىڭ چۈشۈپ كېتىشىدىن ساقلايدۇ. قۇراشتۇرۇش زاۋۇتىدا ياخشى ئۆزەكلەر بېسىلىپ ياكى تارقاقلاشتۇرۇلۇپ قۇراشتۇرۇش بولىقى شەكىللىنىدۇ. كېيىن ، ئۆزەك سۇلياۋ ياكى ساپال قاپقا پېچەتلەنگەن.
(5)ئاخىرقى سىناق:
ئۆزەكنىڭ ئىقتىدارىغا كاپالەتلىك قىلىش ئۈچۈن ، ھەر بىر ئورالما توپلاشتۇرۇلغان توك يولى ئىشلەپچىقارغۇچىنىڭ ئېلېكتر ۋە مۇھىت ئالاھىدىلىكى پارامېتىر تەلىپىگە ماس كېلىدۇ. ئاخىرقى سىناقتىن كېيىن ، ئۆزەك مەخسۇس ئورۇنغا قۇراشتۇرۇش ئۈچۈن خېرىدارغا ئەۋەتىلىدۇ.
2.2 جەريان بۆلۈمى
توپلاشتۇرۇلغان توك يولى ئىشلەپچىقىرىش جەريانى ئادەتتە:
ئالدى-ئاخىرى: ئالدى يۈز جەريانى ئادەتتە ترانسېنىستور قاتارلىق ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئىشلەپچىقىرىش جەريانىنى كۆرسىتىدۇ ، ئاساسلىقى ئايرىلىشنىڭ شەكىللىنىش جەريانى ، دەرۋازا قۇرۇلمىسى ، مەنبە ۋە سۇ چىقىرىش ، ئالاقىلىشىش تۆشۈكى قاتارلىقلارنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ.
ئارقا-ئارقى: ئارقا باسقۇچ جەريانى ئاساسلىقى ئۆز-ئارا ئۇلىنىش لىنىيىسىنىڭ شەكىللىنىشىنى كۆرسىتىدۇ ، ئۇ ئۆزەكتىكى ھەر خىل ئۈسكۈنىلەرگە ئېلېكتر سىگنالى تارقىتالايدۇ ، بۇ ئاساسلىقى ئۆز-ئارا ئۇلىنىش لىنىيىسى ئارىسىدىكى دىئېلېكترىك چۆكۈش ، مېتال سىزىق شەكىللەندۈرۈش ۋە قوغۇشۇن تاختىسىنىڭ شەكىللىنىشى قاتارلىق جەريانلارنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ.
ئوتتۇرا باسقۇچ: ترانسېنىستورنىڭ ئىقتىدارىنى يۇقىرى كۆتۈرۈش ئۈچۈن ، 45nm / 28nm دىن كېيىنكى ئىلغار تېخنىكا تۈگۈنلىرى يۇقىرى k دەرۋازا دىئېلېكترىك ۋە مېتال دەرۋازا جەريانلىرىنى ئىشلىتىدۇ ، ترانسېنىستور مەنبەسى ۋە سۇ چىقىرىش قۇرۇلمىسى تەييارلانغاندىن كېيىن ئالماشتۇرۇش دەرۋازىسى ۋە يەرلىك ئۆز-ئارا ئۇلىنىش جەريانىنى قوشىدۇ. بۇ جەريانلار ئالدى-كەينى جەريان بىلەن ئارقا-ئاخىرقى جەريان ئارىسىدا بولۇپ ، ئەنئەنىۋى جەريانلاردا ئىشلىتىلمەيدۇ ، شۇڭا ئۇلار ئوتتۇرا باسقۇچلۇق جەريان دەپ ئاتىلىدۇ.
ئادەتتە ، ئالاقىلىشىش تۆشۈكى تەييارلاش جەريانى ئالدى-كەينى جەريان بىلەن كەينى-كەينى جەريانىنى ئايرىش لىنىيىسى.
ئالاقىلىشىش تۆشۈكى: كرېمنىيلىق ۋافېرغا تىك ئورالغان تۆشۈك بىرىنچى قەۋەتتىكى مېتال ئۆز-ئارا ئۇلىنىش لىنىيىسى ۋە تارماق ئۈسكۈنىنى تۇتاشتۇرىدۇ. ئۇ تۇڭگېن قاتارلىق مېتاللار بىلەن تولغان بولۇپ ، ئۈسكۈنىنىڭ ئېلېكترودنى مېتال ئۆز-ئارا ئۇلىنىش قەۋىتىگە يېتەكلەشكە ئىشلىتىلىدۇ.
Hole ئارقىلىق: ئۇ ئىككى يانداش مېتال ئۆز-ئارا ئۇلىنىش لىنىيىسىنىڭ ئۇلىنىش يولى بولۇپ ، ئىككى مېتال قەۋەت ئوتتۇرىسىدىكى دىئېلېكترىك قەۋەتكە جايلاشقان ، ئادەتتە مىس قاتارلىق مېتاللار بىلەن تولغان.
كەڭ مەنىدە:
ئالدىنقى باسقۇچ: كەڭ مەنىدىن ئېيتقاندا ، توپلاشتۇرۇلغان توك يولى ياساش يەنە سىناق ، ئوراپ قاچىلاش ۋە باشقا باسقۇچلارنى ئۆز ئىچىگە ئېلىشى كېرەك. سىناق ۋە ئوراپ قاچىلاشقا سېلىشتۇرغاندا ، زاپچاس ۋە ئۆز-ئارا ئۇلىنىش ياساش بىر گەۋدىلەشتۈرۈلگەن توك يولى ئىشلەپچىقىرىشنىڭ بىرىنچى قىسمى بولۇپ ، ئورتاق ھالدا ئالدىنقى باسقۇچلۇق جەريان دەپ ئاتىلىدۇ.
ئارقا جەريان: سىناق ۋە ئوراپ قاچىلاش ئاخىرقى باسقۇچ دەپ ئاتىلىدۇ.
3. قوشۇمچە
SMIF ： ئۆلچەملىك مېخانىكىلىق كۆرۈنمە يۈزى
AMHS ： ئاپتوماتىك ماتېرىيال بىر تەرەپ قىلىش سىستېمىسى
OHT ： ئۈستىنى كۆتۈرۈش
FOUP ： ئالدى ئېچىش بىرلىككە كەلگەن Pod 12 دىيۇم （300mm） ۋافېرنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ
تېخىمۇ مۇھىمى ،Semicera تەمىنلەيدۇگرافىك زاپچاسلىرى، يۇمشاق / قاتتىق ھېس قىلدى ،كرېمنىي كاربون زاپچاسلىرى, CVD كرېمنىي كاربون زاپچاسلىرى, andSiC / TaC قاپلانغان زاپچاسلار30 كۈن ئىچىدە تولۇق يېرىم ئۆتكۈزگۈچ جەريان بىلەن.بىز سىزنىڭ جۇڭگودىكى ئۇزۇن مۇددەتلىك ھەمراھىڭىزغا ئايلىنىشىنى چىن دىلىمىزدىن ئۈمىد قىلىمىز.
يوللانغان ۋاقتى: 15-ئاۋغۇستتىن 2024-يىلغىچە