يېرىم ئۆتكۈزگۈچنىڭ ئۆلۈش باغلىنىش جەريانى ۋە ئۈسكۈنىلىرى تەتقىقاتى

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ تەتقىقاتى ئۆلىدۇباغلىنىش جەريانىيېپىشقاق باغلاش جەريانى ، ئېلېكترونلۇق باغلىنىش جەريانى ، يۇمشاق ساتقۇچىلارنى باغلاش جەريانى ، كۈمۈشتىن ياسالغان باغلاش جەريانى ، قىزىق بېسىملىق باغلىنىش جەريانى ، ئۆزەك باغلاش جەريانى قاتارلىقلارنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۆلۈك باغلاش ئۈسكۈنىلىرىنىڭ تۈرى ۋە مۇھىم تېخنىكىلىق كۆرسەتكۈچلىرى تونۇشتۇرۇلدى ، تەرەققىيات ئەھۋالى ئانالىز قىلىندى ، تەرەققىيات يۈزلىنىشى مۆلچەرلەندى.

 

1 يېرىم ئۆتكۈزگۈچ كەسپى ۋە ئوراپ قاچىلاش ئەھۋالى

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ كەسپى يۇقىرى ئېقىمدىكى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ماتېرىيال ۋە ئۈسكۈنىلەر ، ئوتتۇرا يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساش ۋە تۆۋەن ئېقىندىكى قوللىنىشچان پروگراممىلارنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ. دۆلىتىمنىڭ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ كەسپى كېچىكىپ باشلاندى ، ئەمما ئون يىلغا يېقىن تېز تەرەققىياتتىن كېيىن ، ۋەتىنىم دۇنيادىكى ئەڭ چوڭ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ مەھسۇلات ئىستېمال بازىرى ۋە دۇنيادىكى ئەڭ چوڭ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلەر بازىرىغا ئايلاندى. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتى بىر ئەۋلاد ئۈسكۈنىلەر ، بىر ئەۋلاد جەريان ۋە بىر ئەۋلاد مەھسۇلات شەكلىدە تېز تەرەققىي قىلدى. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ جەريانى ۋە ئۈسكۈنىلىرى تەتقىقاتى سانائەتنىڭ ئۇدا ئالغا ئىلگىرىلىشىدىكى يادرولۇق ھەرىكەتلەندۈرگۈچ كۈچ ۋە يېرىم ئۆتكۈزگۈچ مەھسۇلاتلىرىنى سانائەتلەشتۈرۈش ۋە تۈركۈملەپ ئىشلەپچىقىرىشنىڭ كاپالىتى.

 

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئوراپ قاچىلاش تېخنىكىسىنىڭ تەرەققىيات تارىخى ئۆزەكنىڭ ئىقتىدارىنى ئۈزلۈكسىز ياخشىلاش ۋە سىستېمىنىڭ ئۈزلۈكسىز كىچىكلىتىش تارىخى. ئورالما تېخنىكىسىنىڭ ئىچكى ھەرىكەتلەندۈرگۈچ كۈچى ئالىي دەرىجىلىك ئەقلىي ئىقتىدارلىق تېلېفون ساھەسىدىن يۇقىرى ئىقتىدارلىق ھېسابلاش ۋە سۈنئىي ئىدراك قاتارلىق ساھەلەرگە تەرەققىي قىلدى. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئورالما تېخنىكىسىنى تەرەققىي قىلدۇرۇشنىڭ تۆت باسقۇچى 1-جەدۋەلدە كۆرسىتىلدى.

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ تاش مەتبەئە تۈگۈنى 10 nm ، 7 nm ، 5 nm ، 3 nm ۋە 2 nm غا قاراپ ئىلگىرىلىسە ، تەتقىق قىلىپ ئېچىش ۋە ئىشلەپچىقىرىش تەننەرخى داۋاملىق ئۆرلەيدۇ ، مەھسۇلات نىسبىتى تۆۋەنلەيدۇ ، مور قانۇنى ئاستىلايدۇ. سانائەت تەرەققىيات يۈزلىنىشى نۇقتىسىدىن ئېيتقاندا ، نۆۋەتتە ترانسېنىستور زىچلىقىنىڭ فىزىكىلىق چەكلىمىسى ۋە ئىشلەپچىقىرىش تەننەرخىنىڭ زور دەرىجىدە ئېشىشىنىڭ چەكلىمىسى ئاستىدا ، ئورالما كىچىكلىتىش ، يۇقىرى زىچلىق ، يۇقىرى ئىقتىدار ، يۇقىرى سۈرئەتلىك ، يۇقىرى چاستوتىلىق ۋە يۇقىرى بىر گەۋدىلىشىش يۆنىلىشىدە تەرەققىي قىلماقتا. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتى موردىن كېيىنكى دەۋرگە قەدەم قويدى ، ئىلغار جەريانلار پەقەت ۋافېر ياساش تېخنىكىسى تۈگۈنىنىڭ تەرەققىياتىغا ئەھمىيەت بېرىپلا قالماستىن ، ئاستا-ئاستا ئىلغار ئوراپ قاچىلاش تېخنىكىسىغا يۈزلەندى. ئىلغار ئورالما تېخنىكىسى ئىقتىدارنى ئۆستۈرۈپ ، مەھسۇلات قىممىتىنى ئۆستۈرۈپلا قالماي ، ئىشلەپچىقىرىش تەننەرخىنى ئۈنۈملۈك تۆۋەنلىتىپ ، مور قانۇنىنى داۋاملاشتۇرۇشنىڭ مۇھىم يولىغا ئايلىنىدۇ. بىر تەرەپتىن ، يادرولۇق زەررىچە تېخنىكىسى مۇرەككەپ سىستېمىلارنى ئوخشىمىغان ۋە ئوخشىمىغان ئورالمىلارغا ئوراپ قاچىلاشقا بولىدىغان بىر نەچچە ئوراپ قاچىلاش تېخنىكىسىغا بۆلۈشكە ئىشلىتىلىدۇ. يەنە بىر جەھەتتىن ، توپلاشتۇرۇلغان سىستېما تېخنىكىسى ئوخشىمىغان ماتېرىيال ئەۋزەللىكى بار ئوخشىمىغان ماتېرىيال ۋە قۇرۇلمىلارنىڭ ئۈسكۈنىلىرىنى بىرلەشتۈرۈشكە ئىشلىتىلىدۇ. ئوخشىمىغان ماتېرىياللارنىڭ كۆپ خىل ئىقتىدار ۋە ئۈسكۈنىلىرىنىڭ بىرىكىشى مىكرو ئېلېكترون تېخنىكىسى ئارقىلىق ئەمەلگە ئاشىدۇ ، توپلاشتۇرۇلغان توك يولىدىن توپلاشتۇرۇلغان سىستېمىغا تەرەققىي قىلىش ئەمەلگە ئاشىدۇ.

 

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئورالمىسى ئۆزەك ئىشلەپچىقىرىشنىڭ باشلىنىش نۇقتىسى ۋە ئۆزەكنىڭ ئىچكى دۇنياسى بىلەن تاشقى سىستېما ئوتتۇرىسىدىكى كۆۋرۈك. ھازىر ئەنئەنىۋى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئوراپ قاچىلاش ۋە سىناق شىركەتلىرىدىن باشقا ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچwaferزاۋۇت ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ لايىھىلەش شىركىتى ۋە توپلاشتۇرۇلغان زاپچاس شىركەتلىرى ئىلغار ئورالما ياكى مۇناسىۋەتلىك ئاچقۇچلۇق ئوراپ قاچىلاش تېخنىكىسىنى ئاكتىپ تەرەققىي قىلدۇرماقتا.

 

ئەنئەنىۋى ئورالما تېخنىكىسىنىڭ ئاساسلىق جەريانلىرىwaferشالاڭلىتىش ، كېسىش ، ئۆلۈشنى باغلاش ، سىم باغلاش ، سۇلياۋ پېچەتلەش ، ئېلېكتروپراتسىيە قىلىش ، قوۋۇرغا كېسىش ۋە قېلىپلاشتۇرۇش قاتارلىقلار بۇنىڭ ئىچىدە ، ئۆلۈشنى باغلاش جەريانى ئەڭ مۇرەككەپ ۋە ھالقىلىق ئوراپ قاچىلاش جەريانىنىڭ بىرى ، ئۆلۈشنى باغلاش ئۈسكۈنىلىرىمۇ بىرى. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئورالمىسىدىكى ئەڭ ھالقىلىق يادرولۇق ئۈسكۈنىلەر بولۇپ ، بازار قىممىتى ئەڭ يۇقىرى ئورالما ئۈسكۈنىلىرىنىڭ بىرى. گەرچە ئىلغار ئوراپ قاچىلاش تېخنىكىسى تاش مەتبەئە ، قىرىش ، مېتاللاشتۇرۇش ۋە پىلانلاش قاتارلىق ئالدىنقى باسقۇچلۇق جەريانلارنى ئىشلەتكەن بولسىمۇ ، ئەمما ئەڭ مۇھىم ئوراپ قاچىلاش جەريانى يەنىلا ئۆلۈشنى باغلاش جەريانى.

 

2 يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۆلۈش باغلىنىش جەريانى

2.1 ئومۇمىي كۆرۈنۈش

ئۆلۈش باغلاش جەريانى يەنە ئۆزەك قاچىلاش ، يادرولۇق قاچىلاش ، ئۆلۈشنى باغلاش ، ئۆزەك باغلاش جەريانى دەپمۇ ئاتىلىدۇ. ئۆلۈش باغلاش جەريانى 1-رەسىمدە كۆرسىتىلدى. ۋاكۇئۇم ئارقىلىق سۈمۈرگۈچنى سۈمۈرۈڭ ھەمدە ئۇنى قوغۇشۇن رامكىسى ياكى ئورالما ئاستى قىسمىنىڭ بەلگىلەنگەن تاختاي رايونىغا قويۇپ ، كۆرۈنۈش يېتەكچىلىكىدە قويۇڭ ، بۇنداق بولغاندا ئۆزەك بىلەن تاختاي باغلىنىپ مۇقىملاشتۇرۇلىدۇ. ئۆلۈش باغلاش جەريانىنىڭ سۈپىتى ۋە ئۈنۈمى كېيىنكى سىم باغلاشنىڭ سۈپىتىگە ۋە ئۈنۈمىگە بىۋاسىتە تەسىر كۆرسىتىدۇ ، شۇڭا ئۆلۈشنى باغلاش يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئارقا ئارقا جەرياندىكى مۇھىم تېخنىكىلارنىڭ بىرى.

 

ئوخشىمىغان يېرىم ئۆتكۈزگۈچ مەھسۇلات ئوراپ قاچىلاش جەريانىغا نىسبەتەن ، نۆۋەتتە يېپىشتۇرۇش ، ئېلېكترونلۇق باغلىنىش ، يۇمشاق ساتقۇچى باغلاش ، كۈمۈشتىن ياسالغان باغلاش ، قىزىق بېسىش ۋە ئۆزەك باغلاشتىن ئىبارەت ئالتە ئاساسلىق ئۆلۈش باغلاش تېخنىكىسى تېخنىكىسى بار. ياخشى ئۆزەك باغلاشنى ئەمەلگە ئاشۇرۇش ئۈچۈن ، ئۆلۈش باغلاش جەريانىدىكى ئاچقۇچلۇق جەريان ئېلېمېنتلىرىنى ئۆز-ئارا ماسلاشتۇرۇش كېرەك ، ئاساسلىقى ئۆلۈش باغلاش ماتېرىياللىرى ، تېمپېراتۇرا ، ۋاقىت ، بېسىم ۋە باشقا ئېلېمېنتلارنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ.

 

2. 2 چاپلاشما باغلىنىش جەريانى

چاپلاشتۇرغۇچ باغلاش جەريانىدا ، ئۆزەكنى قويۇشتىن بۇرۇن قوغۇشۇن رامكىسى ياكى ئورالما ئاستى قىسمىغا بەلگىلىك مىقداردا چاپلاش كېرەك ، ئاندىن ئۆلۈش باغلاش بېشى ئۆزەكنى ئالىدۇ ، ماشىنا كۆرۈش يېتەكچىلىكى ئارقىلىق ئۆزەكنى باغلىنىشقا توغرا قويىدۇ. قوغۇشۇن رامكىسى ياكى ئورالما ئاستى قىسمىنىڭ ئورنى يېپىشتۇرۇلغان بولۇپ ، ئۆلۈش باغلاش ماشىنىسى بېشى ئارقىلىق ئۆزەككە مەلۇم ئۆلۈش باغلىنىش كۈچى قوللىنىلىپ ، ئۆزەك بىلەن قوغۇشۇن رامكىسى ياكى ئورالما ئاستى قىسمىنىڭ ئوتتۇرىسىدا يېپىشتۇرۇش قەۋىتى ھاسىل بولىدۇ. ئۆزەكنى باغلاش ، ئورنىتىش ۋە ئوڭشاش مەقسىتىگە يېتىڭ. بۇ ئۆلۈشنى باغلاش جەريانى يەنە يېلىمنى باغلاش جەريانى دەپمۇ ئاتىلىدۇ ، چۈنكى ئۆلۈش باغلاش ماشىنىسىنىڭ ئالدىدا يېپىشتۇرۇش كېرەك.

 

كۆپ ئىشلىتىلىدىغان چاپلاق ئېپوسسىمان رېلىن ۋە ئۆتكۈزگۈچ كۈمۈش چاپلاق قاتارلىق يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ماتېرىياللارنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ. چاپلاشتۇرغۇچ باغلاش ئەڭ كۆپ ئىشلىتىلىدىغان يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۆزەكنىڭ ئۆلۈش باغلىنىش جەريانى ، چۈنكى بۇ جەريان بىر قەدەر ئاددىي ، تەننەرخى تۆۋەن ، ھەر خىل ماتېرىياللارنى ئىشلىتىشكە بولىدۇ.

 

2.3 ئېلېكترونلۇق باغلىنىش جەريانى

ئېلېكترونلۇق باغلىنىش جەريانىدا ، ئۆزەكنىڭ ئاستى ياكى قوغۇشۇن رامكىنىڭ ئاستىغا ئېلېكترونلۇق باغلىنىش ماتېرىيالى ئالدىن قوللىنىلىدۇ. ئېلېكترونلۇق باغلىنىش ئۈسكۈنىسى ئۆزەكنى ئېلىپ ماشىنا كۆرۈش سىستېمىسىنىڭ يېتەكچىلىكىدە ئۆزەكنى قوغۇشۇن رامكىنىڭ مۇناسىپ باغلىنىش ئورنىغا توغرا قويىدۇ. ئۆزەك بىلەن قوغۇشۇن رامكىسى ئۆزەك بىلەن ئورالما ئاستى قىسمىنىڭ ئىسسىقلىق بىلەن بېسىمنىڭ بىرلەشمە ھەرىكىتىدە ئېلېكترونلۇق باغلىنىش كۆرۈنۈشىنى شەكىللەندۈرىدۇ. ئېلىكترونلۇق باغلىنىش جەريانى كۆپىنچە قوغۇشۇن رامكىسى ۋە فارفۇر بۇيۇملار ئورالمىسىدا ئىشلىتىلىدۇ.

 

ئېلىكتىرونلۇق باغلىنىش ماتېرىياللىرى ئادەتتە مەلۇم ماتېرىيالدا ئىككى ماتېرىيال ئارىلاشتۇرۇلىدۇ. كۆپ ئىشلىتىلىدىغان ماتېرىياللار ئالتۇن ۋە قەلەي ، ئالتۇن ۋە كرېمنىي قاتارلىقلارنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ. ئېلېكترونلۇق باغلىنىش جەريانىنى ئىشلەتكەندە ، قوغۇشۇن رامكىسى جايلاشقان يول يەتكۈزۈش مودۇلى رامكىنى ئالدىن قىزىتىدۇ. ئېلېكترونلۇق باغلىنىش جەريانىنى ئەمەلگە ئاشۇرۇشنىڭ ئاچقۇچى شۇكى ، ئېلېكترونلۇق باغلىنىش ماتېرىيالى ئىككى تەركىبلىك ماتېرىيالنىڭ ئېرىش نۇقتىسىدىن خېلىلا تۆۋەن تېمپېراتۇرىدا ئېرىپ ، زايوم ھاسىل قىلالايدۇ. ئېلىكتىرونلۇق باغلىنىش جەريانىدا رامكىنىڭ ئوكسىدلىنىشىنىڭ ئالدىنى ئېلىش ئۈچۈن ، ئېلىكتىرونلۇق باغلىنىش جەريانى يەنە ھىدروگېن ۋە ئازوت ئارىلاشما گاز قاتارلىق قوغدىنىش گازىدىن پايدىلىنىپ قوغۇشۇن رامكىسىنى قوغدايدۇ.

 

2. 4 يۇمشاق ساتقۇچىنىڭ باغلىنىش جەريانى

يۇمشاق ساتقۇچى باغلىغاندا ، ئۆزەكنى قويۇشتىن بۇرۇن ، قوغۇشۇن رامكىسىدىكى باغلىنىش ئورنى قۇلۇپلاپ بېسىلىدۇ ياكى قوش قۇلۇپلىنىدۇ ، قوغۇشۇن رامكىسىنى ئىزدا قىزىتىش كېرەك. يۇمشاق ساتقۇچىنى باغلاش جەريانىنىڭ ئەۋزەللىكى ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى ياخشى ، كەمچىلىكى ئوكسىدلىنىش ئاسان ، جەريان بىر قەدەر مۇرەككەپ. ئۇ توك ئۈسكۈنىلىرىنىڭ قوغۇشۇن رامكا ئورالمىسىغا ماس كېلىدۇ ، مەسىلەن ترانسېنىستور لىنىيىسى ئورالمىسى.

 

2. 5 كۈمۈش سىنتلاش باغلىنىش جەريانى

ھازىرقى ئۈچىنچى ئەۋلاد ئېلېكتر يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۆزىكى ئۈچۈن ئەڭ ئۈمىدۋار باغلىنىش جەريانى مېتال زەررىچە سىنتلاش تېخنىكىسىنى ئىشلىتىش بولۇپ ، ئۇ ئۆتكۈزگۈچ يېلىمغا ئۇلىنىشقا مەسئۇل ئېپوسسىمان رېلىن قاتارلىق پولىمېرلارنى ئارىلاشتۇرىدۇ. ئۇنىڭ ئېسىل توك ئۆتكۈزۈشچانلىقى ، ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى ۋە يۇقىرى تېمپېراتۇرىلىق مۇلازىمەت ئالاھىدىلىكى بار. ئۇ يەنە يېقىنقى بىر نەچچە يىلدا ئۈچىنچى ئەۋلاد يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئورالمىسىدا بۆسۈش ھاسىل قىلىدىغان ئاچقۇچلۇق تېخنىكا.

 

2.6 Thermocompression bonding process

يۇقىرى ئىقتىدارلىق ئۈچ ئۆلچەملىك توپلاشتۇرۇلغان توك يولىنىڭ ئورالما قوللىنىشچان پروگراممىسىدا ، ئۆزەك ئۆز-ئارا ئۇلىنىش كىرگۈزۈش / چىقىرىش مەيدانى ، سوقۇلۇش چوڭلۇقى ۋە مەيداننىڭ ئۇدا تۆۋەنلىشى سەۋەبىدىن ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ شىركىتى ئىنتېل ئىلغار كىچىك مەيدان باغلاش قوللىنىشچان پروگراممىلىرىغا ئىسسىقلىق بېسىش باغلاش جەريانىنى يولغا قويدى. سوقۇلغان ئۆزەك 40 ~ 50 مىللىمېتىر ، ھەتتا 10 مىللىمېتىر. Thermocompression باغلىنىش جەريانى ئۆزەكتىن ۋافېر ۋە ئۆزەكتىن تارماق پروگراممىلارغا ماس كېلىدۇ. تېز سۈرئەتلىك كۆپ باسقۇچلۇق جەريان بولۇش سۈپىتى بىلەن ، ئىسسىقلىق بېسىمىنى باغلاش جەريانى جەرياننى كونترول قىلىش مەسىلىسىدە خىرىسقا دۇچ كېلىدۇ ، مەسىلەن تېمپېراتۇرا تەكشى ئەمەس ، كىچىك ھەجىمدىكى ساتقۇچىلارنىڭ كونترولسىز ئېرىپ كېتىشى. ئىسسىقلىق بېسىمى باغلىنىش جەريانىدا ، تېمپېراتۇرا ، بېسىم ، ئورۇن قاتارلىقلار ئېنىق كونترول تەلىپىگە ماس كېلىشى كېرەك.

 

2.7 ئۆزەك باغلاش جەريانى

2-رەسىمدە ئۆزەكنى ئۆز-ئارا باغلاشنىڭ پرىنسىپى كۆرسىتىلدى. ساتقۇچى باش ئوق ئۆزەكنى چاقماق مېخانىزىمىدىن ئالىدۇ ، ئۆزەكنىڭ سوقۇلۇش يۆنىلىشى تۆۋەنگە. كەپشەرلەش باش ئېغىزى ئورالما ئاستى قىسمىنىڭ ئۈستىگە يۆتكەلگەندىن كېيىن ، تۆۋەنگە قاراپ باغلىنىپ ، ئۆزەكنى ئورالما ئاستى قىسمىغا توغرىلايدۇ.

 

Flip ئۆزەك ئورالمىسى ئىلغار ئۆزەك ئۆز-ئارا ئۇلىنىش تېخنىكىسى بولۇپ ، ئىلغار ئورالما تېخنىكىسىنىڭ ئاساسلىق تەرەققىيات يۆنىلىشىگە ئايلاندى. ئۇ يۇقىرى زىچلىق ، يۇقىرى ئىقتىدار ، نېپىز ۋە قىسقا بولۇش ئالاھىدىلىكىگە ئىگە بولۇپ ، ئەقلىي ئىقتىدارلىق تېلېفون ، تاختا كومپيۇتېر قاتارلىق ئىستېمالچىلارنىڭ ئېلېكترونلۇق مەھسۇلاتلىرىنىڭ تەرەققىيات تەلىپىنى قاندۇرالايدۇ. ئۆزەكنى باغلاش جەريانى ئورالمىنىڭ تەننەرخىنى تۆۋەنلىتىدۇ ھەمدە ئورالغان ئۆزەك ۋە ئۈچ ئۆلچەملىك ئورالمىنى ئەمەلگە ئاشۇرالايدۇ. ئۇ 2.5D / 3D توپلاشتۇرۇلغان ئوراپ قاچىلاش ، ۋافېر دەرىجىلىك ئورالما ۋە سىستېما دەرىجىلىك ئورالما قاتارلىق ئورالما تېخنىكا ساھەسىدە كەڭ قوللىنىلىدۇ. ئەۋرىشىم ئۆزەكنى باغلاش جەريانى ئىلغار ئورالما تېخنىكىسىدا ئەڭ كەڭ قوللىنىلغان ۋە ئەڭ كەڭ قوللىنىلغان قاتتىق ئۆلۈش باغلاش جەريانى.