ئادەتتىكى TaC قاپلانغان گرافت زاپچاسلىرىنى تەييارلاش ئۇسۇلى

PART / 1
CVD (خىمىيىلىك ھور چۆكۈش) ئۇسۇلى:
900-2300 At دە ، TaCl نى ئىشلىتىپ₅CnHm بولسا تانتال ۋە كاربون مەنبەسى ، H₂ ئاتموسفېرانى ئازايتىش ، ئاراس توشۇغۇچى گازى ، رېئاكسىيە چۆكۈش پىلاستىنكىسى. تەييارلانغان سىر ئىخچام ، تەكشى ۋە ساپلىقى يۇقىرى. قانداقلا بولمىسۇن ، مۇرەككەپ جەريان ، قىممەت تەننەرخ ، ھاۋا ئېقىمىنى كونترول قىلىش ۋە تۆۋەن چۆكۈش ئۈنۈمى قاتارلىق بىر قىسىم مەسىلىلەر بار.
PART / 2
ئاستا-ئاستا گۇناھ ئۆتكۈزۈش ئۇسۇلى:
تەركىبىدە كاربون مەنبەسى ، تانتال مەنبەسى ، تارقاقلاشتۇرغۇچ ۋە باغلىغۇچ بار لاي پاتقاق گرافىكقا سىرلانغاندىن كېيىن ، يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا قۇرۇتۇلغان. تەييارلانغان سىر دائىملىق يۆنىلىشسىز ئۆسىدۇ ، تەننەرخى تۆۋەن ، كەڭ كۆلەمدە ئىشلەپچىقىرىشقا ماس كېلىدۇ. چوڭ گرافتتا بىر تۇتاش ۋە تولۇق قاپلاشنى قولغا كەلتۈرۈش ، تىرەك كەمتۈكلۈكنى تۈگىتىش ۋە سىرنىڭ باغلىنىش كۈچىنى ئاشۇرۇش ئۈستىدە ئىزدىنىشكە توغرا كېلىدۇ.
PART / 3
پلازما پۈركۈش ئۇسۇلى:
TaC پاراشوكى يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا پلازما ئەگمىسى ئارقىلىق ئېرىپ ، يۇقىرى سۈرئەتلىك رېئاكتىپ ئايروپىلان ئارقىلىق يۇقىرى تېمپېراتۇرا تامچىلىرىغا ئايلىنىدۇ ۋە گرافت ماتېرىيالىنىڭ يۈزىگە پۈركۈلىدۇ. ۋاكۇئۇمسىز ھالەتتە ئوكسىد قەۋىتىنى ھاسىل قىلىش ئاسان ، ئېنېرگىيە سەرپىياتى كۆپ.

 

رەسىم. GaN epitaxial ئۆسكەن MOCVD ئۈسكۈنىسى (Veeco P75) دا ئىشلىتىلگەندىن كېيىن Wafer تەخسىسى. سول تەرەپتىكىسى TaC بىلەن ، ئوڭ تەرىپىگە SiC بىلەن سىرلانغان.

TaC قاپلانغانگرافت زاپچاسلىرىنى ھەل قىلىش كېرەك

PART / 1
باغلاش كۈچى:
TaC بىلەن كاربون ماتېرىياللىرى ئارىسىدىكى ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى ۋە باشقا فىزىكىلىق خۇسۇسىيەتلىرى ئوخشىمايدۇ ، سىرنىڭ باغلىنىشچانلىقى تۆۋەن ، يېرىلىش ، تەر تۆشۈكچىلىرى ۋە ئىسسىقلىق بېسىمىدىن ساقلىنىش تەس ، سىرنى ئۆز ئىچىگە ئالغان ئەمەلىي ئاتموسفېرا قاتلىمىدا ئاسانلا سويغىلى بولىدۇ. قايتا-قايتا ئۆرلەش ۋە سوۋۇتۇش جەريانى.
PART / 2
ساپلىقى:
TaC سىريۇقىرى تېمپېراتۇرا شارائىتىدا بۇلغىنىش ۋە بۇلغىنىشتىن ساقلىنىش ئۈچۈن دەرىجىدىن تاشقىرى يۇقىرى ساپلىق بولۇشى كېرەك ، يەر يۈزى ۋە ئىچىنىڭ سىرتىدىكى ئەركىن كاربون ۋە ئىچكى بۇلغانمىلارنىڭ ئۈنۈملۈك مەزمۇن ئۆلچىمى ۋە ئالاھىدىلىك ئۆلچىمىگە قوشۇلۇشى كېرەك.
PART / 3
مۇقىملىق:
يۇقىرى تېمپېراتۇراغا قارشى تۇرۇش ۋە خىمىيىلىك ئاتموسفېراغا قارشى تۇرۇش كۈچى 2300 above دىن يۇقىرى بولۇپ ، سىرنىڭ مۇقىملىقىنى سىنايدىغان ئەڭ مۇھىم كۆرسەتكۈچ. پىنخول ، يېرىق ، بۇلۇڭ-پۇچقاقلار ۋە يەككە يۆنىلىشلىك دان چېگراسى ئاسان چىرىتكۈچى گازلارنىڭ گرافتقا سىڭىپ كىرىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ ، نەتىجىدە سىرنى قوغداش مەغلۇب بولىدۇ.
PART / 4
ئوكسىدلىنىشقا قارشى تۇرۇش:
TaC 500 تىن يۇقىرى بولغاندا Ta2O5 غا ئوكسىدلىنىشقا باشلايدۇ ، تېمپېراتۇرا ۋە ئوكسىگېن قويۇقلۇقىنىڭ ئېشىشىغا ئەگىشىپ ئوكسىدلىنىش نىسبىتى تېز ئۆسىدۇ. يەر يۈزىنىڭ ئوكسىدلىنىشى دان چېگرىسى ۋە كىچىك دانلاردىن باشلىنىپ ، ئاستا-ئاستا تۈۋرۈك كىرىستال ۋە سۇنۇق كىرىستال ھاسىل قىلىدۇ ، نەتىجىدە نۇرغۇن بوشلۇق ۋە تۆشۈكلەر پەيدا بولىدۇ ، ئوكسىگېننىڭ سىڭىپ كىرىشى تاكى تاكى تاكى يىرتىلىپ بولغۇچە كۈچىيىدۇ. ھاسىل بولغان ئوكسىد قەۋىتىنىڭ ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى ناچار ، تاشقى كۆرۈنۈشى ھەر خىل رەڭلەرگە ئىگە.
PART / 5
بىردەكلىك ۋە قوپاللىق:
سىر يۈزىنىڭ تەكشى تارقىلىشى يەرلىك ئىسسىقلىق بېسىمىنىڭ قويۇقلۇقىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىپ ، يېرىلىش ۋە يىمىرىلىش خەۋپىنى ئاشۇرۇۋېتىدۇ. ئۇنىڭدىن باشقا ، يەر يۈزىنىڭ يىرىكلىكى سىر بىلەن سىرتقى مۇھىتنىڭ ئۆز-ئارا تەسىر كۆرسىتىشىگە بىۋاسىتە تەسىر كۆرسىتىدۇ ، بەك قوپاللىق ئاسانلا ۋافېر ۋە تەكشى بولمىغان ئىسسىقلىق مەيدانى بىلەن سۈركىلىشنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ.
PART / 6
دانلىق زىرائەت:
تەكشى داننىڭ چوڭلۇقى سىرنىڭ مۇقىملىقىغا ياردەم بېرىدۇ. ئەگەر داننىڭ كۆلىمى كىچىك بولسا ، زايوم چىڭ بولمايدۇ ، ئوكسىدلىنىش ۋە چىرىش ئاسان بولىدۇ ، نەتىجىدە داننىڭ چېتىدە نۇرغۇن يېرىق ۋە تۆشۈك پەيدا بولىدۇ ، بۇ سىرنىڭ قوغداش ئىقتىدارىنى تۆۋەنلىتىدۇ. ئەگەر داننىڭ ھەجىمى بەك چوڭ بولسا ، ئۇ بىر قەدەر قوپال بولۇپ ، ئىسسىقلىق بېسىمى ئاستىدا سىرنى يوقىتىش ئاسان.