پلازما قېتىش ئۈسكۈنىسىدىكى فوكۇس ھالقىسىنىڭ كۆڭۈلدىكىدەك ماتېرىيالى: كرېمنىي كاربون (SiC)

پلازما ئېتىش ئۈسكۈنىلىرىدە ساپال زاپچاسلار ئۆز ئىچىگە ئالغان ھەل قىلغۇچ رول ئوينايدۇفوكۇس ھالقىسى.The فوكۇس ھالقىسى، ۋافېرنىڭ ئەتراپىغا قويۇلغان ۋە ئۇنىڭ بىلەن بىۋاسىتە ئالاقىلاشقاندا ، ئۈزۈككە توك بېسىمى ئىشلىتىپ پلازماسنى ۋافېرغا مەركەزلەشتۈرۈشتە ئىنتايىن مۇھىم. بۇ قىچىشىش جەريانىنىڭ بىردەكلىكىنى ئاشۇرىدۇ.

Etching ماشىنىلىرىدا SiC فوكۇس ھالقىسىنى قوللىنىش

SiC CVD زاپچاسلىرىقاتارلىق ماشىنىلاردافوكۇس ھالقىسى, گاز مۇنچا، پىلاتىنا ۋە گىرۋەك ھالقىسى ، SiC نىڭ خلور ۋە فتورنى ئاساس قىلغان يېپىشقاق گازىنىڭ ئاكتىپچانلىقى تۆۋەن ۋە ئۇنىڭ ئۆتكۈزۈشچانلىقى تۆۋەن بولغاچقا ، ئۇنى پلازما يېيىش ئۈسكۈنىلىرىنىڭ كۆڭۈلدىكىدەك ماتېرىيالى قىلىدۇ.

فوكۇس ھالقىسىمان ماتېرىيال سۈپىتىدە SiC نىڭ ئەۋزەللىكى

ۋاكۇئۇم رېئاكسىيە ئۆيىدىكى پلازما بىلەن بىۋاسىتە ئۇچراشقانلىقتىن ، پلازماسقا چىداملىق ماتېرىياللاردىن فوكۇس ھالقىسى ياساش كېرەك. كرېمنىي ياكى كۋارتسدىن ياسالغان ئەنئەنىۋى فوكۇس ھالقىسى فتورنى ئاساس قىلغان پلازماستا چىرىشنىڭ ياخشى بولماسلىقىغا گىرىپتار بولۇپ ، تېز چىرىتىش ۋە ئۈنۈمنى تۆۋەنلىتىدۇ.

Si بىلەن CVD SiC فوكۇس ھالقىسىنىڭ سېلىشتۇرمىسى:

1. يۇقىرى زىچلىق:قىچىشىش ئاۋازىنى تۆۋەنلىتىدۇ.

2. كەڭ بەلۋاغ: ئېسىل ئىزولياتور بىلەن تەمىنلەيدۇ.

    3. يۇقىرى ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى ۋە تۆۋەن كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى: ئىسسىقلىق سوقۇشىغا چىداملىق.

    4. يۇقىرى ئېلاستىكىلىقى:مېخانىكىلىق تەسىرگە ياخشى قارشىلىق.

    5. قاتتىقلىق دەرىجىسى: كىيىش ۋە چىرىشكە چىداملىق.

SiC كرېمنىينىڭ ئېلېكتر ئۆتكۈزۈشچانلىقىنى ئورتاقلاشتۇرىدۇ ، شۇنىڭ بىلەن بىر ۋاقىتتا ئىئون قېتىشىشقا قارشىلىق كۈچى بىلەن تەمىنلەيدۇ. توپلاشتۇرۇلغان توك يولى كىچىكلىتىشنىڭ ئىلگىرى سۈرۈلۈشىگە ئەگىشىپ ، تېخىمۇ ئۈنۈملۈك قىرىش جەريانىغا بولغان ئېھتىياج ئاشىدۇ. پلازما قىرىش ئۈسكۈنىلىرى ، بولۇپمۇ سىغىمچان تۇتاشما پلازما (CCP) ئىشلىتىدىغانلار يۇقىرى پلازما ئېنېرگىيىسىنى تەلەپ قىلىدۇSiC فوكۇس ھالقىسىبارغانسىرى ئالقىشقا ئېرىشتى.

Si ۋە CVD SiC فوكۇس ھالقىسى پارامېتىرلىرى:

پارامېتىر	كىرىمنىي (Si)	CVD كىرىمنىي كاربون (SiC)
زىچلىقى (g / cm³)	2.33	3.21
Band Gap (eV)	1.12	2.3
ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى (W / cm ° C)	1.5	5
ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى (x10⁻⁶ / ° C)	2.6	4
ئېلاستىك مودۇل (GPa)	150	440
قاتتىقلىق	تۆۋەن	تېخىمۇ يۇقىرى

 

SiC فوكۇس ھالقىسىنىڭ ئىشلەپچىقىرىش جەريانى

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرىدە CVD (خىمىيىلىك ھور چۆكمىسى) ئادەتتە SiC زاپچاسلىرىنى ئىشلەپچىقىرىشقا ئىشلىتىلىدۇ. فوكۇس ھالقىسى پارنى چۆكۈش ئارقىلىق SiC نى ئالاھىدە شەكىلگە قويۇش ئارقىلىق ئىشلەپچىقىرىلىدۇ ، ئاندىن مېخانىكىلىق پىششىقلاپ ئىشلەش ئارقىلىق ئاخىرقى مەھسۇلات شەكىللىنىدۇ. ھور چۆكۈشنىڭ ماتېرىيال نىسبىتى كەڭ كۆلەمدە سىناقتىن كېيىن مۇقىم بولۇپ ، قارشىلىق كۆرسىتىشكە ئوخشاش پارامېتىرلار بىردەك بولىدۇ. قانداقلا بولمىسۇن ، ئوخشىمىغان قىرىش ئۈسكۈنىلىرى ئوخشىمىغان قارشىلىق كۈچىگە ئىگە فوكۇس ھالقىسىنى تەلەپ قىلىشى مۇمكىن ، ھەر بىر ئۆلچەم ئۈچۈن يېڭى ماتېرىيال نىسبىتى تەجرىبىسى لازىم بولىدۇ ، بۇ ۋاقىت ئىسراپچىلىقى ۋە قىممەت.

تاللاش ئارقىلىقSiC فوكۇس ھالقىسىfromيېرىم ئۆتكۈزگۈچ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ، خېرىدارلار تەننەرخنى ماھىيەتلىك ئۆستۈرمەي تۇرۇپ ، ئۇزۇن ئالماشتۇرۇش دەۋرىيلىكى ۋە ئەۋزەل ئىقتىدارنىڭ پايدىسىنى قولغا كەلتۈرەلەيدۇ.

تېز ئىسسىقلىق بىر تەرەپ قىلىش (RTP) زاپچاسلىرى

CVD SiC نىڭ ئالاھىدە ئىسسىقلىق خۇسۇسىيىتى RTP قوللىنىشچان پروگراممىلىرىغا ماس كېلىدۇ. RTP زاپچاسلىرى ، ئۈزۈك ئۈزۈك ۋە پىلاستىنكىلارنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ ، CVD SiC دىن پايدىلىنىدۇ. RTP مەزگىلىدە ، كۈچلۈك ئىسسىقلىق تومۇرلىرى ئايرىم ۋافېرغا قىسقا مۇددەت ئىشلىتىلىدۇ ، ئاندىن تېز سوۋۇتۇش كېرەك. CVD SiC گىرۋەك ھالقىسى ، نېپىز ھەم ئىسسىقلىق ماسسىسى تۆۋەن بولغاچقا ، كۆرۈنەرلىك ئىسسىقلىقنى ساقلاپ قالمايدۇ ، بۇ ئۇلارنى تېز قىزىتىش ۋە سوۋۇتۇش جەريانىنىڭ تەسىرىگە ئۇچرىمايدۇ.

پلازما كېسىش تەركىبلىرى

CVD SiC نىڭ يۇقىرى خىمىيىلىك قارشىلىق كۈچى ئۇنى ئىشلىتىشكە ماس كېلىدۇ. نۇرغۇن كارىۋات ئۆيلىرى CVD SiC تەبىئىي گاز تارقىتىش تاختىسى ئىشلىتىپ ، پلازما تارقىتىش ئۈچۈن نەچچە مىڭ كىچىك تۆشۈك بار. باشقا ماتېرىياللارغا سېلىشتۇرغاندا ، CVD SiC نىڭ خلور ۋە فتور گازى بىلەن بولغان ئاكتىپچانلىقى تۆۋەنرەك. قۇرۇتۇشتا ، فوكۇس ھالقىسى ، ICP پىلاستىنكىسى ، چېگرا ھالقىسى ۋە مۇنچا قاتارلىق CVD SiC زاپچاسلىرى كۆپ ئىشلىتىلىدۇ.

SiC فوكۇس ھالقىسى ، ئۇلارنىڭ پلازما فوكۇس توغرىلاشتىكى ئېلېكتر بېسىمى بىلەن يېتەرلىك ئۆتكۈزۈشچانلىقى بولۇشى كېرەك. ئادەتتە كرېمنىيدىن ياسالغان ، فوكۇس ھالقىسى تەركىبىدە فتور ۋە خىلور بار رېئاكتىپ گازلار ئۇچرايدۇ ، بۇ مۇقەررەر چىرىشنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ. SiC فوكۇس ھالقىسى ، ئۇلارنىڭ چىرىتىشكە قارشى تۇرۇش ئىقتىدارى يۇقىرى بولۇپ ، كرېمنىي ئۈزۈككە سېلىشتۇرغاندا ئۇزۇن ئۆمۈر تەمىنلەيدۇ.

ھايات مۇساپىسىنى سېلىشتۇرۇش:

· SiC فوكۇس ھالقىسى:ھەر 15 كۈندىن 20 كۈنگىچە ئالماشتۇرۇلىدۇ.
كىرىمنىي فوكۇس ھالقىسى:ھەر 10 كۈندىن 12 كۈنگىچە ئالماشتۇرۇلىدۇ.

گەرچە SiC ھالقىسى كىرىمنىي ھالقىدىن 2 ~ 3 ھەسسە قىممەت بولسىمۇ ، ئەمما ئۇزارتىلغان ئالماشتۇرۇش دەۋرىيلىكى زاپچاس ئالماشتۇرۇشنىڭ ئومۇمىي تەننەرخىنى تۆۋەنلىتىدۇ ، چۈنكى كامېرا فوكۇس ھالقىسىنى ئالماشتۇرۇش ئۈچۈن كامېر ئېچىلغاندا كامېردىكى بارلىق كىيىم زاپچاسلىرى بىرلا ۋاقىتتا ئالماشتۇرۇلىدۇ.

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ يېرىم ئۆتكۈزگۈچنىڭ SiC فوكۇس ھالقىسى

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ SiC فوكۇس ھالقىسىنى كرېمنىي ھالقا بىلەن يېقىن باھادا تەمىنلەيدۇ ، يېتەكلەش ۋاقتى تەخمىنەن 30 كۈن. Semicera نىڭ SiC فوكۇس ھالقىسىنى پلازما يېيىش ئۈسكۈنىلىرىگە بىرلەشتۈرۈش ئارقىلىق ، ئۈنۈم ۋە ئۇزۇن ئۆمۈر كۆرۈنەرلىك ياخشىلاندى ، ئومۇمىي ئاسراش تەننەرخى تۆۋەنلەپ ، ئىشلەپچىقىرىش ئۈنۈمى يۇقىرى كۆتۈرۈلدى. بۇنىڭدىن باشقا ، Semicera فوكۇس ھالقىسىنىڭ قارشىلىق دەرىجىسىنى خاس خېرىدارلارنىڭ تەلىپىگە ماسلىشالايدۇ.

Semicera يېرىم ئۆتكۈزگۈچتىن SiC فوكۇس ھالقىسىنى تاللاش ئارقىلىق ، خېرىدارلار تەننەرخنى زور دەرىجىدە ئاشۇرماي تۇرۇپ ، ئۇزۇن ئالماشتۇرۇش دەۋرىيلىكى ۋە ئەۋزەل ئىقتىدارنىڭ پايدىسىنى قولغا كەلتۈرەلەيدۇ.