قاتتىق CVD SILICON CARBIDE زاپچاسلىرى RTP / EPI ھالقىسى ۋە ئاساسى ۋە پلازما يوچۇق كاۋاك زاپچاسلىرىنىڭ ئاساسلىق تاللىشى دەپ ئېتىراپ قىلىنغان بولۇپ ، مەشغۇلات سىستېمىسى يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا تەلەپ قىلىدۇ (> 1500 ℃) ، ساپلىققا بولغان تەلەپ ئالاھىدە يۇقىرى (> 99.9995%) ۋە خىمىيىلىك ماددىلارغا قارشى تۇرۇش كۈچى يۇقىرى بولغاندا ئىپادىسى ئالاھىدە ياخشى بولىدۇ. بۇ ماتېرىياللار دان گىرۋىكىدە ئىككىنچى باسقۇچنى ئۆز ئىچىگە ئالمايدۇ ، شۇڭا ئۇلارنىڭ زاپچاسلىرى باشقا ماتېرىياللارغا قارىغاندا ئاز زەررىچە ھاسىل قىلىدۇ. بۇنىڭدىن باشقا ، بۇ زاپچاسلارنى ئىسسىق HF / HCl ئارقىلىق ئازراق تۆۋەنلىتىش ئارقىلىق تازىلىغىلى بولىدۇ ، نەتىجىدە زەررىچىلەر ئاز ۋە خىزمەت ئۆمرى ئۇزۇن بولىدۇ.
