كرېمنىي كاربون (SiC) يەككە خرۇستال ماتېرىيالنىڭ كەڭ بەلۋاغ كەڭلىكى (~ Si 3 قېتىم) ، يۇقىرى ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى (~ Si 3.3 قېتىم ياكى GaAs 10 قېتىم) ، ئېلېكتروننىڭ تويۇنۇش نىسبىتى يۇقىرى (~ Si 2.5 ھەسسە) ، يۇقىرى پارچىلىنىش ئېلېكتر مەيدان (~ Si 10 قېتىم ياكى GaAs 5 قېتىم) ۋە باشقا كۆرۈنەرلىك ئالاھىدىلىكلەر.
Semicera ئېنىرگىيىسى خېرىدارلارنى ئەلا سۈپەتلىك ئۆتكۈزگۈچ (ئۆتكۈزگۈچ) ، يېرىم ئىزولياتسىيىلىك (يېرىم ئىزولياتسىيىلىك) ، HPSI (يۇقىرى ساپلىق يېرىم ئىزولياتسىيىلىك) كرېمنىي كاربون سۇبيېكتى بىلەن تەمىنلەيدۇ. ئۇنىڭدىن باشقا ، بىز خېرىدارلارنى ئوخشاش ۋە ئوخشاش بولمىغان كرېمنىيلىق كاربون ئېپىتاكسىيىلىك جەدۋەل بىلەن تەمىنلىيەلەيمىز. بىز يەنە خېرىدارلارنىڭ كونكرېت ئېھتىياجىغا ئاساسەن epitaxial جەدۋىلىنى خاسلاشتۇرالايمىز ، ئەڭ تۆۋەن زاكاز مىقدارى يوق.
| تۈرلەر | ئىشلەپچىقىرىش | تەتقىقات | Dummy |
| خىرۇستال پارامېتىرلار | |||
| Polytype | 4H | ||
| Surface يۆنىلىش خاتالىقى | <11-20> 4 ± 0.15 ° | ||
| ئېلېكتر پارامېتىرلىرى | |||
| Dopant | n تىپلىق ئازوت | ||
| قارشىلىق | 0.015-0.025ohm · cm | ||
| مېخانىكىلىق پارامېتىرلار | |||
| دىئامېتىرى | 99.5 - 100mm | ||
| قېلىنلىق | 350 ± 25 mm | ||
| دەسلەپكى تەكشى يۆنىلىش | [1-100] ± 5 ° | ||
| دەسلەپكى تەكشى ئۇزۇنلۇق | 32.5 ± 1.5mm | ||
| ئىككىلەمچى تەكشى ئورۇن | 90 ° CW دەسلەپكى تەكشى ± 5 °. كىرىمنىي يۈزىگە | ||
| ئىككىلەمچى تەكشى ئۇزۇنلۇق | 18 ± 1.5mm | ||
| TTV | ≤5 mm | ≤10 mm | ≤20 mm |
| LTV | ≤2 μm (5mm * 5mm) | ≤5 mm (5mm * 5mm) | NA |
| Bow | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤20 mm | ≤45 mm | ≤50 mm |
| ئالدى (Si-face) يىرىكلىكى (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm * 5μm) | ||
| قۇرۇلمىسى | |||
| مىكروپنىڭ زىچلىقى | ≤1 ea / cm2 | ≤5 ea / cm2 | ≤10 ea / cm2 |
| مېتال بۇلغانمىلار | ≤5E10atoms / cm2 | NA | |
| BPD | 001500 ea / cm2 | 0003000 ea / cm2 | NA |
| TSD | 00500 ea / cm2 | 0001000 ea / cm2 | NA |
| ئالدى سۈپەت | |||
| ئالدى | Si | ||
| Surface تامام | Si-face CMP | ||
| Particles | ≤60ea / wafer (size≥0.3μm) | NA | |
| سىزىلغان | ≤2ea / mm. جۇغلانما ئۇزۇنلۇقى ≤ دىئامېتىرى | جۇغلانما ئۇزۇنلۇقى≤2 * دىئامېتىرى | NA |
| ئاپېلسىن پوستى / ئورەك / داغ / داغ / يېرىق / بۇلغىنىش | ياق | NA | |
| قىرلىق ئۆزەك / كۆرسەتكۈچ / سۇنۇق / ئالتە تەرەپلىك تەخسە | ياق | NA | |
| كۆپ قۇتۇپلۇق رايونلار | ياق | جۇغلانما رايونى% 20 | جۇغلانما رايونى% 30 |
| ئالدى لازېر بەلگىسى | ياق | ||
| ئارقا سۈپەت | |||
| قايتىش | C-face CMP | ||
| سىزىلغان | ≤5ea / mm ، جۇغلانما ئۇزۇنلۇقى ≤2 * دىئامېتىرى | NA | |
| ئارقا كەمتۈكلۈك (قىرلىق ئۆزەك / كۆرسەتكۈچ) | ياق | ||
| ئارقا قوپاللىق | Ra≤0.2nm (5μm * 5μm) | ||
| ئارقا لازېر بەلگىسى | 1 مىللىمېتىر (ئۈستى قىردىن) | ||
| Edge | |||
| Edge | Chamfer | ||
| ئورالما | |||
| ئورالما | ئىچكى سومكا ئازوت بىلەن تولغان بولۇپ ، سىرتقى سومكا ۋاكۇئۇملانغان. كۆپ ۋافېرلىق قەغەز ، ئېپى تەييار. | ||
| * ئىزاھات NA «NA» تەلەپ قىلىنمىغان تۈرلەرنىڭ SEMI-STD نى كۆرسىتىدۇ. | |||
-
توڭلاتقۇ سىلىتسىي C نىڭ يېڭى مودا لايىھىسى ...
-
ODM تەمىنلىگۈچى يۇقىرى تېمپېراتۇرا ئىزولياتورلۇق سېرامى ...
-
قىزىق سېتىلىدىغان توپ سېتىش سىفىرلىق كرېمنىي / ...
-
زاۋۇت رايوننى ئاساس قىلغان يۇمشاق گرافىكىنى بىۋاسىتە تەمىنلەيدۇ ...
-
توپ سېتىش تونېلى كىلو سىك رود سىلون كاربون ئۇ ...
-
100% ئەسلىدىكى ئىزولياتورلۇق ماتېرىيال ئىسسىقلىق ساقلاش ...