كرېمنىي كاربون (SiC) يەككە خرۇستال ماتېرىيالنىڭ كەڭ بەلۋاغ كەڭلىكى (~ Si 3 قېتىم) ، يۇقىرى ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى (~ Si 3.3 قېتىم ياكى GaAs 10 قېتىم) ، ئېلېكتروننىڭ تويۇنۇش نىسبىتى يۇقىرى (~ Si 2.5 ھەسسە) ، يۇقىرى پارچىلىنىش ئېلېكتر مەيدان (~ Si 10 قېتىم ياكى GaAs 5 قېتىم) ۋە باشقا كۆرۈنەرلىك ئالاھىدىلىكلەر.
ئۈچىنچى ئەۋلاد يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ماتېرىياللىرى ئاساسلىقى SiC ، GaN ، ئالماس قاتارلىقلارنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ ، چۈنكى ئۇنىڭ بەلۋاغ كەڭلىكى (Eg) 2.3 ئېلېكترون ۋولت (eV) دىن چوڭ ياكى تەڭ ، ئۇ كەڭ بەلۋاغ پەرقى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ماتېرىيال دەپمۇ ئاتىلىدۇ. بىرىنچى ۋە ئىككىنچى ئەۋلاد يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ماتېرىياللىرىغا سېلىشتۇرغاندا ، ئۈچىنچى ئەۋلاد يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ماتېرىياللارنىڭ يۇقىرى ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى ، يۇقىرى پارچىلىنىش ئېلېكتر مەيدانى ، تويۇنغان ئېلېكتروننىڭ يۆتكىلىش نىسبىتى ۋە يۇقىرى باغلىنىش ئېنېرگىيىسى ئەۋزەللىكى بار ، بۇلار زامانىۋى ئېلېكترونلۇق تېخنىكىنىڭ يۇقىرى تەلىپىگە ماسلىشالايدۇ. تېمپېراتۇرا ، يۇقىرى قۇۋۋەت ، يۇقىرى بېسىم ، يۇقىرى چاستوتا ۋە رادىئاتسىيەگە قارشى تۇرۇش ۋە باشقا ناچار شارائىتلار. ئۇ دۆلەت مۇداپىئەسى ، ئاۋىئاتسىيە ، ئالەم قاتنىشى ، نېفىت قىدىرىپ تەكشۈرۈش ، ئوپتىكىلىق ساقلاش قاتارلىق ساھەلەردە مۇھىم قوللىنىش ئىستىقبالىغا ئىگە بولۇپ ، كەڭ بەلۋاغلىق ئالاقە ، قۇياش ئېنېرگىيىسى ، ماشىنا ياساش قاتارلىق نۇرغۇن ئىستراتېگىيىلىك كەسىپلەردە ئېنېرگىيە زىيىنىنى% 50 تىن كۆپرەك ئازايتالايدۇ. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ يورۇتۇش ۋە ئەقلىي ئىقتىدارلىق تور بولۇپ ، ئۈسكۈنىلەرنىڭ مىقدارىنى% 75 تىن كۆپرەك ئازايتالايدۇ ، بۇ ئىنسانلارنىڭ پەن-تېخنىكىسىنىڭ تەرەققىياتىدا ئابىدە خاراكتېرلىك ئەھمىيەتكە ئىگە.
Semicera ئېنىرگىيىسى خېرىدارلارنى ئەلا سۈپەتلىك ئۆتكۈزگۈچ (ئۆتكۈزگۈچ) ، يېرىم ئىزولياتسىيىلىك (يېرىم ئىزولياتسىيىلىك) ، HPSI (يۇقىرى ساپلىق يېرىم ئىزولياتسىيىلىك) كرېمنىي كاربون سۇبيېكتى بىلەن تەمىنلەيدۇ. ئۇنىڭدىن باشقا ، بىز خېرىدارلارنى ئوخشاش ۋە ئوخشاش بولمىغان كرېمنىيلىق كاربون ئېپىتاكسىيىلىك جەدۋەل بىلەن تەمىنلىيەلەيمىز. بىز يەنە خېرىدارلارنىڭ كونكرېت ئېھتىياجىغا ئاساسەن epitaxial جەدۋىلىنى خاسلاشتۇرالايمىز ، ئەڭ تۆۋەن زاكاز مىقدارى يوق.
WAFERING SPECIFICATIONS
* n-Pm = n تىپلىق Pm-Grade, n-Ps = n تىپلىق Ps-Grade, Sl = Semi-lnsulating
| Item | 8-Inch | 6-Inch | 4-Inch | ||
| nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
| TTV (GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
| ئوقيا (GF3YFCD) - مۇتلەق قىممەت | ≤15μm | ≤15μm | ≤25μm | ≤15μm | |
| Warp (GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
| LTV (SBIR) -10mmx10mm | <2μm | ||||
| Wafer Edge | Beveling | ||||
SURFACE FINISH
* n-Pm = n تىپلىق Pm دەرىجىسى ، n-Ps = n تىپلىق Ps دەرىجىسى ، Sl = يېرىم ئىزولياتورلۇق
| Item | 8-Inch | 6-Inch | 4-Inch | ||
| nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
| Surface Finish | قوش تەرەپ ئوپتىكىلىق پولشا ، Si- Face CMP | ||||
| SurfaceRoughness | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm C-Face Ra≤ 0.5nm | (5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm C-Face Ra≤0.5nm | |||
| Edge Chips | رۇخسەت قىلىنمايدۇ (ئۇزۇنلۇقى ۋە كەڭلىكى 0.5mm) | ||||
| كۆرسەتمە | رۇخسەت قىلىنمايدۇ | ||||
| سىزىلغان رەسىملەر (Si-Face) | Qty.≤5, جۇغلانما ئۇزۇنلۇقى 0.5.5 × wafer دىئامېتىرى | Qty.≤5, جۇغلانما ئۇزۇنلۇقى 0.5.5 × wafer دىئامېتىرى | Qty.≤5, جۇغلانما ئۇزۇنلۇقى 0.5.5 × wafer دىئامېتىرى | ||
| يېرىق | رۇخسەت قىلىنمايدۇ | ||||
| Edge Exclusion | 3mm | ||||
