Semicera 3C-SiC Wafer Substrates كېيىنكى ئەۋلاد ئېلېكترون مەھسۇلاتلىرى ۋە يۇقىرى چاستوتىلىق ئۈسكۈنىلەرنى پۇختا سەھنە بىلەن تەمىنلەش ئۈچۈن لايىھەلەنگەن. ئەۋزەل ئىسسىقلىق خۇسۇسىيىتى ۋە ئېلېكتر ئالاھىدىلىكى بىلەن بۇ تارماق زاپچاسلار زامانىۋى تېخنىكىنىڭ تەلەپ تەلىپىگە ماس ھالدا لايىھەلەنگەن.
Semicera Wafer Substrates نىڭ 3C-SiC (Cubic Silicon Carbide) قۇرۇلمىسى ئۆزگىچە ئەۋزەللىك بىلەن تەمىنلەيدۇ ، باشقا يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ماتېرىياللارغا سېلىشتۇرغاندا تېخىمۇ يۇقىرى ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى ۋە تۆۋەن ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى قاتارلىقلار. بۇ ئۇلارنى ئىنتايىن يۇقىرى تېمپېراتۇرا ۋە يۇقىرى قۇۋۋەتلىك شارائىتتا مەشغۇلات قىلىدىغان ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئەڭ ياخشى تاللىشىغا ئايلاندۇرىدۇ.
يۇقىرى ئېلېكتر پارچىلىنىش بېسىمى ۋە ئەۋزەل خىمىيىلىك مۇقىملىق بىلەن Semicera 3C-SiC Wafer Substrates ئۇزۇن مۇددەتلىك ئىقتىدار ۋە ئىشەنچلىك بولۇشقا كاپالەتلىك قىلىدۇ. بۇ خۇسۇسىيەتلەر يۇقىرى چاستوتىلىق رادار ، قاتتىق ھالەتتىكى يورۇتۇش ۋە ھەرىكەتلەندۈرگۈچ كۈچ قاتارلىق قوللىنىشچان پروگراممىلاردا ئىنتايىن مۇھىم ، بۇ يەردە ئۈنۈم ۋە چىداملىق ھەممىدىن مۇھىم.
Semicera نىڭ سۈپەتكە بولغان ۋەدىسى ئۇلارنىڭ 3C-SiC Wafer Substrates نىڭ ئىنچىكە ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدا ئەكىس ئەتتۈرۈلۈپ ، ھەر بىر تۈركۈمدە بىردەكلىك ۋە بىردەكلىككە كاپالەتلىك قىلىدۇ. بۇ ئېنىقلىق ئۇلارنىڭ ئۈستىگە ياسالغان ئېلېكترونلۇق ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئومۇمىي ئىقتىدارى ۋە ئۇزۇن ئۆمۈر كۆرۈشىگە تۆھپە قوشىدۇ.
Semicera 3C-SiC Wafer Substrates نى تاللاش ئارقىلىق ، ئىشلەپچىقارغۇچىلار تېخىمۇ كىچىك ، تېخىمۇ تېز ۋە تېخىمۇ ئۈنۈملۈك ئېلېكترونلۇق زاپچاسلارنىڭ تەرەققىياتىغا شارائىت ھازىرلاپ ، ئالدىنقى قاتاردىكى ماتېرىياللارغا ئېرىشەلەيدۇ. Semicera يېرىم ئۆتكۈزگۈچ كەسپىنىڭ تەرەققىي قىلىۋاتقان تەلىپىگە ماس كېلىدىغان ئىشەنچلىك ھەل قىلىش چارىسى بىلەن تەمىنلەش ئارقىلىق تېخنىكىدا يېڭىلىق يارىتىشنى داۋاملىق قوللايدۇ.
| تۈرلەر | ئىشلەپچىقىرىش | تەتقىقات | Dummy |
| خىرۇستال پارامېتىرلار | |||
| Polytype | 4H | ||
| Surface يۆنىلىش خاتالىقى | <11-20> 4 ± 0.15 ° | ||
| ئېلېكتر پارامېتىرلىرى | |||
| Dopant | n تىپلىق ئازوت | ||
| قارشىلىق | 0.015-0.025ohm · cm | ||
| مېخانىكىلىق پارامېتىرلار | |||
| دىئامېتىرى | 150.0 ± 0.2mm | ||
| قېلىنلىق | 350 ± 25 mm | ||
| دەسلەپكى تەكشى يۆنىلىش | [1-100] ± 5 ° | ||
| دەسلەپكى تەكشى ئۇزۇنلۇق | 47.5 ± 1.5mm | ||
| ئىككىلەمچى تەكشى | ياق | ||
| TTV | ≤5 mm | ≤10 mm | ≤15 mm |
| LTV | ≤3 μm (5mm * 5mm) | ≤5 mm (5mm * 5mm) | ≤10 mm (5mm * 5mm) |
| Bow | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 mm | ≤55 mm |
| ئالدى (Si-face) يىرىكلىكى (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm * 5μm) | ||
| قۇرۇلمىسى | |||
| مىكروپنىڭ زىچلىقى | <1 ea / cm2 | <10 ea / cm2 | <15 ea / cm2 |
| مېتال بۇلغانمىلار | ≤5E10atoms / cm2 | NA | |
| BPD | 001500 ea / cm2 | 0003000 ea / cm2 | NA |
| TSD | 00500 ea / cm2 | 0001000 ea / cm2 | NA |
| ئالدى سۈپەت | |||
| ئالدى | Si | ||
| Surface تامام | Si-face CMP | ||
| Particles | ≤60ea / wafer (size≥0.3μm) | NA | |
| سىزىلغان | ≤5ea / mm. جۇغلانما ئۇزۇنلۇقى ≤ دىئامېتىرى | جۇغلانما ئۇزۇنلۇقى≤2 * دىئامېتىرى | NA |
| ئاپېلسىن پوستى / ئورەك / داغ / داغ / يېرىق / بۇلغىنىش | ياق | NA | |
| قىرلىق ئۆزەك / كۆرسەتكۈچ / سۇنۇق / ئالتە تەرەپلىك تەخسە | ياق | ||
| كۆپ قۇتۇپلۇق رايونلار | ياق | جۇغلانما رايونى% 20 | جۇغلانما رايونى% 30 |
| ئالدى لازېر بەلگىسى | ياق | ||
| ئارقا سۈپەت | |||
| قايتىش | C-face CMP | ||
| سىزىلغان | ≤5ea / mm ، جۇغلانما ئۇزۇنلۇقى ≤2 * دىئامېتىرى | NA | |
| ئارقا كەمتۈكلۈك (قىرلىق ئۆزەك / كۆرسەتكۈچ) | ياق | ||
| ئارقا قوپاللىق | Ra≤0.2nm (5μm * 5μm) | ||
| ئارقا لازېر بەلگىسى | 1 مىللىمېتىر (ئۈستى قىردىن) | ||
| Edge | |||
| Edge | Chamfer | ||
| ئورالما | |||
| ئورالما | ۋاكۇئۇم ئورالمىسى بىلەن Epi تەييار كۆپ ۋافېرلىق قەغەز ئورالمىسى | ||
| * ئىزاھات NA «NA» تەلەپ قىلىنمىغان تۈرلەرنىڭ SEMI-STD نى كۆرسىتىدۇ. | |||
