Semicera's10x10mm قۇتۇپسىز M تىپلىق ئايروپىلان ئاليۇمىن ئاستى ئاستىئىلغار ئوپتىكىلىق ئېلېكترونلۇق قوللىنىشچان پروگراممىلارنىڭ تەلەپ تەلىپىگە ماس ھالدا لايىھەلەنگەن. بۇ ئاستى قىسمىغا قۇتۇپسىز M- ئايروپىلان يۆنىلىشى قوللىنىلغان بولۇپ ، LED ۋە لازېر دىئودى قاتارلىق ئۈسكۈنىلەردە قۇتۇپلىشىش ئۈنۈمىنى تۆۋەنلىتىشتە ئىنتايىن مۇھىم بولۇپ ، ئىقتىدار ۋە ئۈنۈمنىڭ يۇقىرى كۆتۈرۈلۈشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ.
The10x10mm قۇتۇپسىز M تىپلىق ئايروپىلان ئاليۇمىن ئاستى ئاستىئالاھىدە خرۇستال سۈپەت بىلەن ياسالغان بولۇپ ، كەمتۈك زىچلىقى ۋە قۇرۇلمىنىڭ مۇكەممەللىكىگە كاپالەتلىك قىلىدۇ. بۇ ئۇنى كېيىنكى ئەۋلاد ئوپتىكىلىق ئېلېكتر ئۈسكۈنىلىرىنىڭ تەرەققىي قىلىشىدا ئىنتايىن مۇھىم بولغان يۇقىرى سۈپەتلىك III نىترىدلىق كىنولارنىڭ كۆپىيىشىدىكى كۆڭۈلدىكىدەك تاللاش قىلىدۇ.
Semicera نىڭ ئىنچىكە قۇرۇلۇشلىرى ھەر بىرسىگە كاپالەتلىك قىلىدۇ10x10mm قۇتۇپسىز M تىپلىق ئايروپىلان ئاليۇمىن ئاستى ئاستىئىزچىل قېلىنلىق ۋە يەر يۈزى تەكشىلىكى بىلەن تەمىنلەيدۇ ، بۇ بىر تۇتاش پىلاستىنكا قويۇش ۋە ئۈسكۈنىلەرنى ياساشتا ئىنتايىن مۇھىم. بۇنىڭدىن باشقا ، تارماق ئېلېمېنتنىڭ ئىخچام چوڭلۇقى ئۇنى تەتقىقات ۋە ئىشلەپچىقىرىش مۇھىتىغا ماسلاشتۇرىدۇ ، ھەر خىل قوللىنىشچان پروگراممىلاردا جانلىق ئىشلىتىشكە بولىدۇ. ئېسىل ئىسسىقلىق ۋە خىمىيىلىك مۇقىملىقى بىلەن بۇ تارماق بالا ئالدىنقى قاتاردىكى ئېلېكترون تېخنىكىسىنى تەرەققىي قىلدۇرۇشقا ئىشەنچلىك ئاساس بىلەن تەمىنلەيدۇ.
| تۈرلەر | ئىشلەپچىقىرىش | تەتقىقات | Dummy |
| خىرۇستال پارامېتىرلار | |||
| Polytype | 4H | ||
| Surface يۆنىلىش خاتالىقى | <11-20> 4 ± 0.15 ° | ||
| ئېلېكتر پارامېتىرلىرى | |||
| Dopant | n تىپلىق ئازوت | ||
| قارشىلىق | 0.015-0.025ohm · cm | ||
| مېخانىكىلىق پارامېتىرلار | |||
| دىئامېتىرى | 150.0 ± 0.2mm | ||
| قېلىنلىق | 350 ± 25 mm | ||
| دەسلەپكى تەكشى يۆنىلىش | [1-100] ± 5 ° | ||
| دەسلەپكى تەكشى ئۇزۇنلۇق | 47.5 ± 1.5mm | ||
| ئىككىلەمچى تەكشى | ياق | ||
| TTV | ≤5 mm | ≤10 mm | ≤15 mm |
| LTV | ≤3 μm (5mm * 5mm) | ≤5 mm (5mm * 5mm) | ≤10 mm (5mm * 5mm) |
| Bow | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 mm | ≤55 mm |
| ئالدى (Si-face) يىرىكلىكى (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm * 5μm) | ||
| قۇرۇلمىسى | |||
| مىكروپنىڭ زىچلىقى | <1 ea / cm2 | <10 ea / cm2 | <15 ea / cm2 |
| مېتال بۇلغانمىلار | ≤5E10atoms / cm2 | NA | |
| BPD | 001500 ea / cm2 | 0003000 ea / cm2 | NA |
| TSD | 00500 ea / cm2 | 0001000 ea / cm2 | NA |
| ئالدى سۈپەت | |||
| ئالدى | Si | ||
| Surface تامام | Si-face CMP | ||
| Particles | ≤60ea / wafer (size≥0.3μm) | NA | |
| سىزىلغان | ≤5ea / mm. جۇغلانما ئۇزۇنلۇقى ≤ دىئامېتىرى | جۇغلانما ئۇزۇنلۇقى≤2 * دىئامېتىرى | NA |
| ئاپېلسىن پوستى / ئورەك / داغ / داغ / يېرىق / بۇلغىنىش | ياق | NA | |
| قىرلىق ئۆزەك / كۆرسەتكۈچ / سۇنۇق / ئالتە تەرەپلىك تەخسە | ياق | ||
| كۆپ قۇتۇپلۇق رايونلار | ياق | جۇغلانما رايونى% 20 | جۇغلانما رايونى% 30 |
| ئالدى لازېر بەلگىسى | ياق | ||
| ئارقا سۈپەت | |||
| قايتىش | C-face CMP | ||
| سىزىلغان | ≤5ea / mm ، جۇغلانما ئۇزۇنلۇقى ≤2 * دىئامېتىرى | NA | |
| ئارقا كەمتۈكلۈك (قىرلىق ئۆزەك / كۆرسەتكۈچ) | ياق | ||
| ئارقا قوپاللىق | Ra≤0.2nm (5μm * 5μm) | ||
| ئارقا لازېر بەلگىسى | 1 مىللىمېتىر (ئۈستى قىردىن) | ||
| Edge | |||
| Edge | Chamfer | ||
| ئورالما | |||
| ئورالما | ۋاكۇئۇم ئورالمىسى بىلەن Epi تەييار كۆپ ۋافېرلىق قەغەز ئورالمىسى | ||
| * ئىزاھات NA «NA» تەلەپ قىلىنمىغان تۈرلەرنىڭ SEMI-STD نى كۆرسىتىدۇ. | |||
